��x�Ӿ۱�ϩ�����z���c����Óˮ
1���۱�ϩ��������
�����۱�ϩ������Ҫ�����켈���I(y��),�����β���,��ˮ̎������Һ���x,�� ����Óˮ���wϵ����,���S���ۺϼ��g�İl(f��)չ���۱�ϩ������������ɷۣ��z�w���l(f��)չ�ɞ�F(xi��n)�ڵĸɷ�,���z����z�����N��ʽ,����ʮ����@�ù��I(y��)�����a(ch��n)�ľ۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ����l(f��)չ�ٶ��ஔ��,���ښW���l(f��)�_����,�������a(ch��n)Ҏ(gu��)ģռ�Ѿ۱�ϩ����������70��80%����ʮ����l(f��)չ�ľ۱�ϩ�����z����̎��ԇ��A�Σ��S�༼�g���}���д���Q,����������о��O����S,�������AӋ�ڲ��õČ����۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ�����F(xi��n)���I(y��)�����a(ch��n)��
�����҇��锵(sh��)�������I(y��)���a(ch��n)�۱�ϩ�����ɷ�,����Щ���І�λ����(j��ng)ԇ���^�z��a(ch��n)Ʒ,�����a(ch��n)Ʒ��Ҫ����ָ����̺����ͷ�(w��n)���Է����c�������Mˮƽ����^���y���c�ɷۮa(ch��n)Ʒ����,�����z��a(ch��n)Ʒ�t̎�ڌ���о��A��,��
�����S�����β��͡��Uˮ̎���������켈?zh��)��ӄ����ИI(y��)�ļ��g�M��,�����۱�ϩ���������������������,���۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ�������a(ch��n)���g�����Үa(ch��n)Ʒ�������ߵ����c����ʹ���^���д������ܽ�r�g�L�����ܔ�����н���,������䌣�T�ĸɷ��ܽ��b�õȱ�,���������a(ch��n)��ʹ���^�����a(ch��n)���ۉm�w�P��Σ�����������w�����͌��h(hu��n)�������Ⱦ,���z��a(ch��n)Ʒ�����ܽ��ٶȿ��ʹ�÷�������c,���ܵ����Ñ��Ěgӭ���������z��a(ch��n)Ʒϵ�۱�ϩ����С�z���Ҹ��������еğ����W����(w��n)����ϵ,���L�ڷ����װl(f��)���ӬF(xi��n)��,������ʮ����l(f��)չ�����ľ۱�ϩ�����z���������������ˮ�p�B�m(x��)���wϵ�����и߶ȷ�(w��n)����,������ϩ����������Һ���γɗl������,���z��a(ch��n)Ʒ���ڷ������^�ͺ��黯�������^�ߵ�ȱ�c��
2����x�Ӿ۱�ϩ����
������x�Ӿ۱�ϩ�����ǽ�����l(f��)չ����Ʒ�N,���������l(f��)�_�����������L�ʞ�5��10%,����ռ�۱�ϩ�������a(ch��n)����60%���ϡ��҇�����r���^����,����x�Ӿ۱�ϩ����ռ���a(ch��n)����90%����,����Ҫ����ʯ���_�ɣ���x�Ӿ۱�ϩ�����a(ch��n)����С�������a(ch��n)��I(y��)Ҏ(gu��)ģҲ��С,�����]���γ�һ��Ҏ(gu��)ģ�����a(ch��n)�b��,���S��ˮ̎���ИI(y��)���w�ٰl(f��)չ������x�Ӿ۱�ϩ��������������L,�����Ň���(n��i)��x�Ӿ۱�ϩ���������ڽ�������һ���^��İl(f��)չ,��
������x�Ӿ۱�ϩ������Ҫ�����������N���ͷ������۰����ϩ�����c��x�ӆ��w����ͷ��x�Ӿ۱�ϩ���������,���۰��������ϩ����������ϩ����������—���ȴ��s���P����M�a(ch��n)Ʒ,���@a(ch��n)Ʒ늺��ܶȸߵ���������,����Ҫ���ڹ������켈?zh��)��ӄ���ʯ���_�ɺͻ��yƷ���ИI(y��),��������������Óˮ,����ϩ�����c��x�ӆ��w�������x�Ӿۺ���a(ch��n)�������x�ӆ��w��Ҫָ��������ϩ�����һ������Ȼ��@��DMC���Ͷ�����ϩ�����Ȼ�����DMDAC��,������P��AM—DMC���a(ch��n)Ʒ�������^��,����x�Ӷ�0��100%֮�g���{(di��o)���۠���x�Ӿ۱�ϩ������ȫ�����ڴ�Y(ji��)��(g��u),���҇���������Óˮ�ķ۠���x�Ӿ۱�ϩ���������ڴ��,���a(ch��n)Ʒ������400��600�f����x�Ӷ�30��50%,������Ҫ���}����DMC��Ҫ�M��,���r���F���������a(ch��n)�ɱ��^��,������P��AM—DMDAC������,������DMDAC���w���gλ���^�ۺϻ��Բ�,�����y�Ƃ����������x�Ӷȶ����˝M��Įa(ch��n)Ʒ,��������������Óˮ�IJ��࣬����DMDAC��ˮ�ԘO��,��ԓa(ch��n)Ʒͨ����Һ��,�����x�Ӿ۱�ϩ���������������c��Nԇ�������������c��ȩ���װ������������尷�Y(ji��)��(g��u)�ۺ���,���Mһ�����������ɼ����},�����ھ۱�ϩ����ˮ��Һ��ճ�ȷdz���ͨ��600��800�f�������r2%����Ѻ�ճ��,���@�ͽoˮ��Һ�����������y,������PAM��Ⱥܵͣ�������x�Ӷ�ͨ���������^10%�Қ����ȩ����^��,�������������ЙC�|(zh��)�������ߵĿh����ˮ̎��S����,���ͳɱ��ķ��x�Ӿ۱�ϩ����Mannich׃�Ԯa(ch��n)Ʒ���m�õġ�
3����ϩ������Һ�ۺϼ��g�Mչ
����ˮ���Ԇ��w�ľۺϷ֞�ˮ��Һ�ۺ�,��������Һ�ۺϺͷ�����Һ�ۺ�,��ˮ���Ԇ��w������������ϩ��������������ϩ��,����������ϩ����װ�������,����������ϩ�����һ������Ȼ��@��AMPS��������ϩ�����Ȼ��@��,���҇���Ҫ����ˮ��Һ�ۺϼ��g,���a(ch��n)Ʒ�Ըɷ���ʽ������������Һ�ۺ�����ʮ����l(f��)չ������һ�N������Һ�ۺϼ��g,����ʮ���ȡ�����^���Mչ,�����о۱�ϩ�����z��ϵ�Юa(ch��n)Ʒ�ѫ@�ô�Ҏ(gu��)ģ���I(y��)�����a(ch��n)��������Һ�ۺϵ��о�ʼ�ڰ�ʮ���,�������ƌW��Francoise Candau��ԓ�I���M�����г�Ч���о�,���҇�����W�����A��Ҳ����Һ�ۺϵĄ����W�M�����о���Ŀǰ��Һ�ۺϵ��о���Ҫ��������Һ�ĽY(ji��)��(g��u)�ͱ�ϩ�����ķ�����Һ�ۺϙC����,���I(y��)��ȡ�õijɹ��飺
���,���1����Һ�ĽY(ji��)��(g��u)������
����Ŀǰ����Һ�Y(ji��)��(g��u)���J�R��Ȼ�������S�ͬ���^�c����Candau F���p�B�m(x��)��ģ��,��Friberg�������z��ģ��,��Scriven�����S�����ԾW(w��ng)�jģ�͡�Lindman �Ľ�����ɢ�B(t��i)�ۼ��wģ�͵�,���S��ģ�Ͷ��ܽ����Һ��ijЩ���|(zh��),����������һ����ȱ�ݡ��������½Y(ji��)Փ���Jͬ��,������Һ��һ�N����ͬ�Եğ����W��(w��n)���wϵ�����Ƿ��Ӯ����wϵ,��ˮ��������ځ��^ˮƽ���Ƿ��x�ģ����@ʾ�����Ե�����,����Һ��Һ��ֱ����8��80nm,�� �������������ģ��������M�й⻯�W�ۺ�,��
����������Һֻ�����^�ߵı�����Ԅ�/���w�������ں�խ�ı�����Ԅ���ȷ�����(n��i)�����γɲ���ͨ����Ҫʹ�����黯��,����������Һ�t�^���γɣ����O�Ԇ��w���wϵ�������䮔���黯��,����˱�ϩ�����ķ�����Һ�ۺϸ��@�ù��I(y��)�����a(ch��n),��
������2����ϩ�����ķ�����Һ�ۺ�
����Candau F�����Լױ�������,���������p��2-�һ������������c���黯���Ƃ��˱�ϩ����������Һ,������AIBN���^����⛃ɷN��ͬ�����l(f��)�����l(f��)AAm�ۺϣ� �����˷��������Wģ��,�������Beerbower-Hill����ă�(n��i)���ܱ��^�c�ƏV��������Һ�wϵ���黯���x����,��ȡ�����^��Ч����
������Һ�ۺϾ��ИO��ľۺ�����,��ͨ����100min��(n��i)�D(zhu��n)���ʿ��_90������,���ڷ�������Ď�犃�(n��i)�ۺ����ʾ��_��һ�����ֵ,���S��ͨ���ھۺ��D(zhu��n)���ʞ�20��30%�r,���ۺ������_ʼ�½�,���ڵڶ��A���У��ۺ������½���څ����ijһ�D(zhu��n)����̎׃��,�����@���D(zhu��n)���ʵ�ֵ�S�����ضȵ����߶�����
������Һ�ۺϵķ������c���l(f��)����ȵ��Pϵ����,���ۺϺ��wϵ���Ѓ������,��һ���ֱ��С��50nm�ľۺ������z������һ�N��ֱ����3nm���ҵ�AOT�z��,�����z���еľۺ�����Ӕ�(sh��)���٣�1��17�l��,���������ܸߣ�106��107����
�����۱�ϩ�����z��Č��úϳɼ��gҪ��@�ù��I(y��)�����a(ch��n),����횽�Q���ׂ����}��һ��ͨ���J�鷴���z��ۺ���ķ���������̫��,�����о��������z��������Ć� �}���ڶ�����Һ�ۺϵ��黯�����ͨ����ܸ�,���Mһ�������黯����������ڽ������a(ch��n)�ɱ�,���������黯�����x����ǽ�(j��ng)��뽛(j��ng)�ģ����о������Ŀ�ĵ��x���ϳɴ_�нY(ji��)��(g��u)���黯���Ć��},��
4�������c�����{(di��o)�|(zh��)̎��
����������ͨ�^�ЙC�߷������������Ҹ�Һ�����z�w���м�С�w������кͺ������ܘ�ʹ��Ó��(w��n)���^��,���ЙC�߷�����������횾����^�ߵ������������;��ԽY(ji��)��(g��u)�Լ��m�ȵ�늺��ܶȣ�����ӽY(ji��)��(g��u),���x���ΑB(t��i),�����Ⱥͷֲ����������ͷֲ���֧���̶ȵȶ���������Ч���a(ch��n)��Ӱ�,��ᘌ��o���Ҹ�Һ���c�ϳɴ_�нY(ji��)��(g��u)��������,��ʹ�������a(ch��n)Ʒ�γ�ϵ�л��ǿ��й����߹�ͬ���΄ա�
����������ˮ̎��S����Óˮ�{(di��o)�|(zh��)̎�����ЙC�߷������������õ���Ҫ����,������֞������ࣨ���������ʣ�����ࣩ����������,��������(j��)����ķN����|(zh��)�x���ЙC�߷�����������������VSS/SS��SS���ЙC��������^�ߕr,�����M���x����x�Ӷȸߵ�������,��������������Ͷ������������SS��ȸߕr,�����x�ø߷�������������,��SS��ȵ͕r�����x�÷������^�͵�������,������PH�ߕr���������ࣩ,�����x�ù��܈F�鼾�@�}�Y(ji��)��(g��u)��������,��pH�͕r���尷�ͼ��@�}�Y(ji��)��(g��u)������������ʹ��,��
5���҂��Ĺ���
���������Mʮ���һֱ����ˮ���Ծۺ�����о�����,���Ⱥ�Г��˶�헇���“863” ���������c�Ƽ����P��ɽ�|ʡ���c�Ƽ����P�Ŀ,�����г��߷������۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ�������_��2500�f,��ˮ�ܕr�g��30��犡�������҂�����ϩ�����ˮ���Ԇ��w������Һ�ۺϺ���Һ�ۺ��M���������о�,�������ˮ���Ԇ��w��������Һ�ۺ��¹�ˇ,��ԓ��ˇ������Һ�ۺϵ����c�����a(ch��n)Ʒ�������ߺ��黯��������,��ͬ�r������Һ�ۺϵ����c,�����ۺ��ٶȿ�ͮa(ch��n)Ʒ�߶ȷ�(w��n)���������ڇ��H���״Ό��F(xi��n)�۱�ϩ�����z�鹤�I(y��)�����a(ch��n),�����ڲ��������M���w�ľۺϼ��g,���z��a(ch��n)Ʒ���кܸߵķ������͘Oխ�ķ������ֲ����O����ܽ��ٶȺ͟o����������c,���۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ��Ҫ���gָ�����£�
�����a(ch��n)Ʒ���^����������z�� �̺���≥30% ��������800��1500�f
����ˮ�ܕr�g��3��� �黯������≤12%���Ա�ϩ����Ӌ��,��
����ԓ�a(ch��n)Ʒ����䓏S�D(zhu��n)�t�Uˮ���켈��ˮ,����ɳˮ�ȏUˮ̎��r,����Ч����(y��u)���M�ڸ߷������۱�ϩ�����ɷۣ��ڑ������X,���i,����~�Ƚ��ٵĝ�ұ���^���еĝ{Һ���x�r,����Ч�����@��(y��u)�ڸɷۮa(ch��n)Ʒ,���������Һ�ij���ȣ���K��߮a(ch��n)Ʒ���|(zh��)��,��
�����۱�ϩ�����z����M�������Һ�еĻ��W����,�����Է�����M��Mannich �������Ǽ�����������ˮ�����Ե�,���҂��ϳ���һ�N��x�ӹ��܈F��ԇ��,�����۱�ϩ�����z���M�к������Ƃ���һ�N��������x�Ӿ۱�ϩ�����z�飬�����a(ch��n)�ɱ������F(xi��n)����x�Ӿ۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ��һ��,���a(ch��n)Ʒ��Ҫ����ָ�����£�
�����a(ch��n)Ʒ���^�����z�� �̺�����35��45% ��������800��1500�f
������x�Ӷȣ�30��50%ˮ�ܕr�g��3���
����ԓ�a(ch��n)Ʒ�ڶ�����ˮ̎��S����Óˮ��ˇ���M����ʹ��,���C��Ч�����á����Н�����ˮ�|(zh��)����һ�S���M�ڎ�ʽ���V�C�������������M������Óˮ,���Y(ji��)Փ���£�“ˎ�����0.15%,��������75%,��Óˮ�����ˮ��75%���£�Ч��ʮ���@��,����Ʒ�|(zh��)��(y��u)��”,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”