��x�Ӿ۱�ϩ�����z���c����Óˮ
1���۱�ϩ��������
�����۱�ϩ������Ҫ�����켈���I(y��)�����β���,��ˮ̎��,����Һ���x�� ����Óˮ���wϵ����,���S���ۺϼ��g(sh��)�İl(f��)չ,���۱�ϩ������������ɷۣ��z�w���l(f��)չ�ɞ�F(xi��n)�ڵĸɷۡ��z����z�����N��ʽ,����ʮ����@�ù��I(y��)�����a(ch��n)�ľ۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ,����l(f��)չ�ٶ��ஔ�죬�ښW���l(f��)�_����,�������a(ch��n)Ҏ(gu��)ģռ�Ѿ۱�ϩ����������70��80%,����ʮ����l(f��)չ�ľ۱�ϩ�����z����̎��ԇ��A�Σ��S�༼�g(sh��)���}���д���Q,����������о��O����S,�������AӋ�ڲ��õČ����۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ�����F(xi��n)���I(y��)�����a(ch��n)��
�����҇��锵(sh��)�������I(y��)���a(ch��n)�۱�ϩ�����ɷ�,����Щ���І�λ����(j��ng)ԇ���^�z��a(ch��n)Ʒ,�����a(ch��n)Ʒ��Ҫ����ָ����̺����ͷ�(w��n)���Է����c�������Mˮƽ����^���y���c�ɷۮa(ch��n)Ʒ����,�����z��a(ch��n)Ʒ�t̎�ڌ���о��A��,��
�����S�����β��͡��Uˮ̎���������켈?zh��)��ӄ����ИI(y��)�ļ��g(sh��)�M��,�����۱�ϩ���������������������,���۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ�������a(ch��n)���g(sh��)�����Үa(ch��n)Ʒ�������ߵ����c����ʹ���^���д������ܽ�r�g�L�����ܔ�����н��⣬����䌣�T�ĸɷ��ܽ��b�õȱ�,���������a(ch��n)��ʹ���^�����a(ch��n)���ۉm�w�P,��Σ�����������w�����͌��h(hu��n)�������Ⱦ���z��a(ch��n)Ʒ�����ܽ��ٶȿ��ʹ�÷�������c,���ܵ����Ñ��Ěgӭ,���������z��a(ch��n)Ʒϵ�۱�ϩ����С�z���Ҹ��������еğ����W����(w��n)����ϵ���L�ڷ����װl(f��)���ӬF(xi��n)��,������ʮ����l(f��)չ�����ľ۱�ϩ�����z���������������ˮ�p�B�m(x��)���wϵ,�����и߶ȷ�(w��n)���ԣ�����ϩ����������Һ���γɗl������,���z��a(ch��n)Ʒ���ڷ������^�ͺ��黯�������^�ߵ�ȱ�c,��
2����x�Ӿ۱�ϩ����
������x�Ӿ۱�ϩ�����ǽ�����l(f��)չ����Ʒ�N���������l(f��)�_�����������L�ʞ�5��10%,����ռ�۱�ϩ�������a(ch��n)����60%����,���҇�����r���^���⣬��x�Ӿ۱�ϩ����ռ���a(ch��n)����90%����,����Ҫ����ʯ���_��,����x�Ӿ۱�ϩ�����a(ch��n)����С�������a(ch��n)��I(y��)Ҏ(gu��)ģҲ��С�����]���γ�һ��Ҏ(gu��)ģ�����a(ch��n)�b��,���S��ˮ̎���ИI(y��)���w�ٰl(f��)չ,������x�Ӿ۱�ϩ��������������L�����Ň���(n��i)��x�Ӿ۱�ϩ���������ڽ�������һ���^��İl(f��)չ,��
������x�Ӿ۱�ϩ������Ҫ�����������N���ͷ������۰��,����ϩ�����c��x�ӆ��w����ͷ��x�Ӿ۱�ϩ���������,���۰��������ϩ����,������ϩ����������—���ȴ��s���P����M�a(ch��n)Ʒ,���@a(ch��n)Ʒ늺��ܶȸߵ���������,����Ҫ���ڹ������켈?zh��)��ӄ���ʯ���_�ɺͻ��yƷ���ИI(y��),��������������Óˮ,����ϩ�����c��x�ӆ��w�������x�Ӿۺ���a(ch��n)�������x�ӆ��w��Ҫָ��������ϩ�����һ������Ȼ��@��DMC���Ͷ�����ϩ�����Ȼ�����DMDAC��,������P��AM—DMC���a(ch��n)Ʒ�������^��,����x�Ӷ�0��100%֮�g���{(di��o)���۠���x�Ӿ۱�ϩ������ȫ�����ڴ�Y(ji��)��(g��u),���҇���������Óˮ�ķ۠���x�Ӿ۱�ϩ���������ڴ��,���a(ch��n)Ʒ������400��600�f����x�Ӷ�30��50%,������Ҫ���}����DMC��Ҫ�M��,���r���F,���������a(ch��n)�ɱ��^�ߡ�����P��AM—DMDAC������,������DMDAC���w���gλ���^��,���ۺϻ��Բ���y�Ƃ����������x�Ӷȶ����˝M��Įa(ch��n)Ʒ,��������������Óˮ�IJ���,������DMDAC��ˮ�ԘO����ԓa(ch��n)Ʒͨ����Һ��,�����x�Ӿ۱�ϩ���������������c��Nԇ������(y��ng),�������c��ȩ���װ�����(y��ng)�������尷�Y(ji��)��(g��u)�ۺ���Mһ�����������ɼ����},�����ھ۱�ϩ����ˮ��Һ��ճ�ȷdz���,��ͨ��600��800�f�������r2%����Ѻ�ճ�����@�ͽoˮ��Һ����(y��ng)�������y,������PAM��Ⱥܵ�,��������x�Ӷ�ͨ���������^10%�Қ����ȩ����^�ߡ������������ЙC�|(zh��)�������ߵĿh����ˮ̎��S����,���ͳɱ��ķ��x�Ӿ۱�ϩ����Mannich׃�Ԯa(ch��n)Ʒ���m�õ�,��
3����ϩ������Һ�ۺϼ��g(sh��)�Mչ
����ˮ���Ԇ��w�ľۺϷ֞�ˮ��Һ�ۺϡ�������Һ�ۺϺͷ�����Һ�ۺ�,��ˮ���Ԇ��w������������ϩ����,����������ϩ�ᡢ��������ϩ����װ�������,����������ϩ�����һ������Ȼ��@,��AMPS��������ϩ�����Ȼ��@��,���҇���Ҫ����ˮ��Һ�ۺϼ��g(sh��),���a(ch��n)Ʒ�Ըɷ���ʽ����(y��ng)��������Һ�ۺ�����ʮ����l(f��)չ������һ�N������Һ�ۺϼ��g(sh��),����ʮ���ȡ�����^���Mչ,�����о۱�ϩ�����z��ϵ�Юa(ch��n)Ʒ�ѫ@�ô�Ҏ(gu��)ģ���I(y��)�����a(ch��n)��������Һ�ۺϵ��о�ʼ�ڰ�ʮ���,�������ƌW��Francoise Candau��ԓ�I(l��ng)���M�����г�Ч���о�,���҇�����W�����A��Ҳ����Һ�ۺϵĄ����W�M�����о���Ŀǰ��Һ�ۺϵ��о���Ҫ��������Һ�ĽY(ji��)��(g��u)�ͱ�ϩ�����ķ�����Һ�ۺϙC����,���I(y��)��ȡ�õijɹ��飺
���,���1����Һ�ĽY(ji��)��(g��u)������
����Ŀǰ����Һ�Y(ji��)��(g��u)���J�R��Ȼ�������S�ͬ���^�c����Candau F���p�B�m(x��)��ģ�͡�Friberg�������z��ģ��,��Scriven�����S�����ԾW(w��ng)�j(lu��)ģ��,��Lindman �Ľ�����ɢ�B(t��i)�ۼ��wģ�͵ȣ��S��ģ�Ͷ��ܽ����Һ��ijЩ���|(zh��),����������һ����ȱ��,���������½Y(ji��)Փ���Jͬ�ģ�����Һ��һ�N����ͬ�Եğ����W��(w��n)���wϵ�����Ƿ��Ӯ����wϵ,��ˮ��������ځ��^ˮƽ���Ƿ��x��,�����@ʾ�����Ե����ԡ���Һ��Һ��ֱ����8��80nm,�� ��������������,���������M�й⻯�W�ۺϡ�
����������Һֻ�����^�ߵı�����Ԅ������w�������ں�խ�ı�����Ԅ���ȷ�����(n��i)�����γɲ���ͨ����Ҫʹ�����黯��,����������Һ�t�^���γ�,�����O�Ԇ��w���wϵ�������䮔���黯������˱�ϩ�����ķ�����Һ�ۺϸ��@�ù��I(y��)�����a(ch��n),��
���,���2����ϩ�����ķ�����Һ�ۺ�
����Candau F�����Լױ������࣬�������p��2-�һ������������c���黯���Ƃ��˱�ϩ����������Һ,������AIBN���^����⛃ɷN��ͬ�����l(f��)�����l(f��)AAm�ۺ�,�� �����˷���(y��ng)�����Wģ�ͣ������Beerbower-Hill����ă�(n��i)���ܱ��^�c�ƏV��(y��ng)������Һ�wϵ���黯���x����,��ȡ�����^��Ч��,��
������Һ�ۺϾ��ИO��ľۺ����ʣ�ͨ����100min��(n��i)�D(zhu��n)���ʿ��_90������,���ڷ���(y��ng)����Ď�犃�(n��i)�ۺ����ʾ��_��һ�����ֵ,���S��ͨ���ھۺ��D(zhu��n)���ʞ�20��30���r,���ۺ������_ʼ�½�,���ڵڶ��A����,���ۺ������½���څ����ijһ�D(zhu��n)����̎׃��,�����@���D(zhu��n)���ʵ�ֵ�S����(y��ng)�ضȵ����߶�����
������Һ�ۺϵķ������c���l(f��)����ȵ��P(gu��n)ϵ����,���ۺϺ��wϵ���Ѓ������,��һ���ֱ��С��50nm�ľۺ������z������һ�N��ֱ����3nm���ҵ�AOT�z��,�����z���еľۺ�����Ӕ�(sh��)���٣�1��17�l��,���������ܸߣ�106��107����
�����۱�ϩ�����z��Č��úϳɼ��g(sh��)Ҫ��@�ù��I(y��)�����a(ch��n)����횽�Q���ׂ����}��һ��ͨ���J�鷴���z��ۺ���ķ���������̫��,����(y��ng)�о��������z��������Ć� �},���ڶ�����Һ�ۺϵ��黯�����ͨ����ܸߣ��Mһ�������黯����������ڽ������a(ch��n)�ɱ�,���������黯�����x����ǽ�(j��ng)��뽛(j��ng)��,����(y��ng)�о������Ŀ�ĵ��x���ϳɴ_�нY(ji��)��(g��u)���黯���Ć��}��
4�������c�����{(di��o)�|(zh��)̎��
����������ͨ�^�ЙC�߷������������Ҹ�Һ�����z�w���м�С�w������кͺ������ܘ�ʹ��Ó��(w��n)���^��,���ЙC�߷�����������횾����^�ߵ������������;��ԽY(ji��)��(g��u)�Լ��m�ȵ�늺��ܶ�,������ӽY(ji��)��(g��u)���x���ΑB(t��i),�����Ⱥͷֲ�,���������ͷֲ���֧���̶ȵȶ���������Ч���a(ch��n)��Ӱ푣�ᘌ��o���Ҹ�Һ���c�ϳɴ_�нY(ji��)��(g��u)��������,��ʹ�������a(ch��n)Ʒ�γ�ϵ�л��ǿ��й����߹�ͬ���΄�(w��),��
����������ˮ̎��S����Óˮ�{(di��o)�|(zh��)̎�����ЙC�߷�����������(y��ng)�õ���Ҫ���棬����֞������ࣨ���������ʣ�����ࣩ����������,����(y��ng)����(j��)����ķN����|(zh��)�x���ЙC�߷���������,��������VSS/SS��SS���ЙC��������^�ߕr����(y��ng)�M���x����x�Ӷȸߵ�������,��������������Ͷ����,��������SS��ȸߕr����(y��ng)�x�ø߷�������������,��SS��ȵ͕r,�����x�÷������^�͵�������������PH�ߕr���������ࣩ,����(y��ng)�x�ù��܈F�鼾�@�}�Y(ji��)��(g��u)��������,��pH�͕r���尷�ͼ��@�}�Y(ji��)��(g��u)������������ʹ��,��
5���҂��Ĺ���
���������Mʮ���һֱ����ˮ���Ծۺ�����о�����,���Ⱥ�Г��˶�헇���“863” ���������c�Ƽ����P(gu��n)��ɽ�|ʡ���c�Ƽ����P(gu��n)�Ŀ,�����г��߷������۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ�������_��2500�f,��ˮ�ܕr�g��30��犡�������҂�����ϩ�����ˮ���Ԇ��w������Һ�ۺϺ���Һ�ۺ��M���������о�,�������ˮ���Ԇ��w��������Һ�ۺ��¹�ˇ,��ԓ��ˇ������Һ�ۺϵ����c�����a(ch��n)Ʒ�������ߺ��黯��������,��ͬ�r������Һ�ۺϵ����c,�����ۺ��ٶȿ�ͮa(ch��n)Ʒ�߶ȷ�(w��n)��,�������ڇ��H���״Ό��F(xi��n)�۱�ϩ�����z�鹤�I(y��)�����a(ch��n)�����ڲ��������M���w�ľۺϼ��g(sh��),���z��a(ch��n)Ʒ���кܸߵķ������͘Oխ�ķ������ֲ�,���O����ܽ��ٶȺ͟o����������c���۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ��Ҫ���g(sh��)ָ�����£�
�����a(ch��n)Ʒ���^����������z�� �̺���≥30�� ��������800��1500�f
����ˮ�ܕr�g��3��� �黯������≤12�����Ա�ϩ����Ӌ��,��
����ԓ�a(ch��n)Ʒ����䓏S�D(zhu��n)�t�Uˮ,���켈��ˮ����ɳˮ�ȏUˮ̎��r,����Ч����(y��u)���M�ڸ߷������۱�ϩ�����ɷ�,���ڑ�(y��ng)�����X���i,���,���~�Ƚ��ٵĝ�ұ���^���еĝ{Һ���x�r����Ч�����@��(y��u)�ڸɷۮa(ch��n)Ʒ,���������Һ�ij����,����K��߮a(ch��n)Ʒ���|(zh��)����
�����۱�ϩ�����z����M�������Һ�еĻ��W����(y��ng),�����Է�����M��Mannich ����(y��ng),���Ǽ�������(y��ng)����ˮ�����Եȣ��҂��ϳ���һ�N��x�ӹ��܈F��ԇ��,�����۱�ϩ�����z���M�к�����(y��ng)�Ƃ���һ�N��������x�Ӿ۱�ϩ�����z��,�������a(ch��n)�ɱ������F(xi��n)����x�Ӿ۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ��һ�룬�a(ch��n)Ʒ��Ҫ����ָ�����£�
�����a(ch��n)Ʒ���^�����z�� �̺�����35��45�� ��������800��1500�f
������x�Ӷȣ�30��50�� ˮ�ܕr�g��3���
����ԓ�a(ch��n)Ʒ�ڶ�����ˮ̎��S����Óˮ��ˇ���M����ʹ��,���C��Ч������,�����Н�����ˮ�|(zh��)����һ�S���M�ڎ�ʽ���V�C�������������M������Óˮ���Y(ji��)Փ���£�“ˎ�����0.15%,��������75%,��Óˮ�����ˮ��75%���£�Ч��ʮ���@��,����Ʒ�|(zh��)��(y��u)��”,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”