��x�Ӿ۱�ϩ�����z���c����Óˮ
1���۱�ϩ��������
�����۱�ϩ������Ҫ�����켈���I(y��),�����β���,��ˮ̎������Һ���x,�� ����Óˮ���wϵ����,���S���ۺϼ��g(sh��)�İl(f��)չ���۱�ϩ������������ɷۣ��z�w���l(f��)չ�ɞ�F(xi��n)�ڵĸɷ�,���z����z�����N��ʽ,����ʮ����@�ù��I(y��)�����a(ch��n)�ľ۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ����l(f��)չ�ٶ��ஔ(d��ng)��,���ښW���l(f��)�_(d��)����,�������a(ch��n)Ҏ(gu��)ģռ�Ѿ۱�ϩ����������70��80%����ʮ����l(f��)չ�ľ۱�ϩ�����z����̎��ԇ�(y��n)�A��,���S�༼�g(sh��)���}���д���Q,����������о��O����S�������A(y��)Ӌ(j��)�ڲ��õČ����۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ����(sh��)�F(xi��n)���I(y��)�����a(ch��n),��
�����҇��锵(sh��)�������I(y��)���a(ch��n)�۱�ϩ�����ɷ�,����Щ���І�λ����(j��ng)ԇ���^�z��a(ch��n)Ʒ�����a(ch��n)Ʒ��Ҫ����ָ��(bi��o)��̺����ͷ�(w��n)���Է����c�������M(j��n)ˮƽ����^��,���y���c�ɷۮa(ch��n)Ʒ����,�����z��a(ch��n)Ʒ�t̎�ڌ�(sh��)�(y��n)�о��A�Ρ�
�����S�����β���,���Uˮ̎���������켈?zh��)��ӄ����ИI(y��)�ļ��g(sh��)�M(j��n)��,�����۱�ϩ���������������������,���۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ�������a(ch��n)���g(sh��)�����Үa(ch��n)Ʒ�������ߵ����c(di��n)����ʹ���^���д������ܽ�r(sh��)�g�L�����ܔ�����н���,������䌣�T�ĸɷ��ܽ��b�õȱ�,���������a(ch��n)��ʹ���^�����a(ch��n)���ۉm�w�P(y��ng)��Σ�����������w�����͌��h(hu��n)�������Ⱦ,���z��a(ch��n)Ʒ�����ܽ��ٶȿ��ʹ�÷�������c(di��n),���ܵ����Ñ��Ěgӭ���������z��a(ch��n)Ʒϵ�۱�ϩ����С�z���Ҹ��������еğ����W(xu��)����(w��n)����ϵ,���L�ڷ����װl(f��)���ӬF(xi��n)����ʮ����l(f��)չ�����ľ۱�ϩ�����z���������������ˮ�p�B�m(x��)���wϵ,�����и߶ȷ�(w��n)����,������ϩ����������Һ���γɗl����(y��n)���z��a(ch��n)Ʒ���ڷ������^�ͺ��黯�������^�ߵ�ȱ�c(di��n),��
2����x�Ӿ۱�ϩ����
������x�Ӿ۱�ϩ�����ǽ�����l(f��)չ����Ʒ�N,���������l(f��)�_(d��)�����������L�ʞ�5��10%����ռ�۱�ϩ�������a(ch��n)����60%����,���҇�����r���^���⣬��x�Ӿ۱�ϩ����ռ���a(ch��n)����90%����,����Ҫ����ʯ���_��,����x�Ӿ۱�ϩ�����a(ch��n)����С�������a(ch��n)��I(y��)Ҏ(gu��)ģҲ��С�����]���γ�һ��Ҏ(gu��)ģ�����a(ch��n)�b��,���S��ˮ̎���ИI(y��)���w�ٰl(f��)չ,������x�Ӿ۱�ϩ��������������L�����Ň���(n��i)��x�Ӿ۱�ϩ��������(hu��)�ڽ�������һ��(g��)�^��İl(f��)չ,��
������x�Ӿ۱�ϩ������Ҫ�����������N���ͷ������۰��,����ϩ�����c��x�ӆ��w����ͷ��x�Ӿ۱�ϩ����������۰��������ϩ����,������ϩ������,����—���ȴ��s���P����M(j��n)�a(ch��n)Ʒ���@a(ch��n)Ʒ늺��ܶȸߵ���������,����Ҫ���ڹ������켈?zh��)��ӄ�,��ʯ���_�ɺͻ��yƷ���ИI(y��)��������������Óˮ,����ϩ�����c��x�ӆ��w�������x�Ӿۺ���a(ch��n)�����,����x�ӆ��w��Ҫָ��������ϩ�����һ������Ȼ��@��DMC���Ͷ�����ϩ�����Ȼ�����DMDAC��������P��AM—DMC���a(ch��n)Ʒ�������^��,����x�Ӷ�0��100%֮�g���{(di��o),���۠���x�Ӿ۱�ϩ������ȫ�����ڴ�Y(ji��)��(g��u),���҇���������Óˮ�ķ۠���x�Ӿ۱�ϩ���������ڴ���a(ch��n)Ʒ������400��600�f,����x�Ӷ�30��50%,������Ҫ���}����DMC��Ҫ�M(j��n)�ڣ��r(ji��)���F,����(d��o)�����a(ch��n)�ɱ��^��,������P��AM—DMDAC�����ԣ�����DMDAC���w���gλ���^��,���ۺϻ��Բ�,�����y�Ƃ����������x�Ӷȶ����˝M��Įa(ch��n)Ʒ��������������Óˮ�IJ���,������DMDAC��ˮ�ԘO��(qi��ng)��ԓa(ch��n)Ʒͨ����Һ��,�����x�Ӿ۱�ϩ���������������c��Nԇ������(y��ng),�������c��ȩ���װ�����(y��ng)�������尷�Y(ji��)��(g��u)�ۺ���M(j��n)һ�����������ɼ����},�����ھ۱�ϩ����ˮ��Һ��ճ�ȷdz���ͨ��600��800�f�������r(sh��)2%����Ѻ�ճ��,���@�ͽoˮ��Һ����(y��ng)�������y,������PAM��Ⱥܵ�,����(d��o)����x�Ӷ�ͨ������(hu��)���^10%�Қ����ȩ����^��,�������������ЙC(j��)�|(zh��)�������ߵĿh����ˮ̎��S����,���ͳɱ��ķ��x�Ӿ۱�ϩ����Mannich׃�Ԯa(ch��n)Ʒ���m�õ�,��
3����ϩ������Һ�ۺϼ��g(sh��)�M(j��n)չ
����ˮ���Ԇ��w�ľۺϷ֞�ˮ��Һ�ۺϡ�������Һ�ۺϺͷ�����Һ�ۺ�,��ˮ���Ԇ��w������������ϩ��������������ϩ��,����������ϩ����װ�������,����������ϩ�����һ������Ȼ��@��AMPS,��������ϩ�����Ȼ��@��,���҇���Ҫ����ˮ��Һ�ۺϼ��g(sh��)���a(ch��n)Ʒ�Ըɷ���ʽ����(y��ng)��������Һ�ۺ�����ʮ����l(f��)չ������һ�N������Һ�ۺϼ��g(sh��),����ʮ���ȡ�����^���M(j��n)չ,�����о۱�ϩ�����z��ϵ�Юa(ch��n)Ʒ�ѫ@�ô�Ҏ(gu��)ģ���I(y��)�����a(ch��n)��������Һ�ۺϵ��о�ʼ�ڰ�ʮ���,�������ƌW(xu��)��Francoise Candau��ԓ�I(l��ng)���M(j��n)�����г�Ч���о�,���҇�����W(xu��)�����A��Ҳ����Һ�ۺϵĄ�(d��ng)���W(xu��)�M(j��n)�����о���Ŀǰ��Һ�ۺϵ��о���Ҫ��������Һ�ĽY(ji��)��(g��u)�ͱ�ϩ�����ķ�����Һ�ۺϙC(j��)����,���I(y��)��ȡ�õijɹ��飺
���,���1����Һ�ĽY(ji��)��(g��u)������
����Ŀǰ����Һ�Y(ji��)��(g��u)���J(r��n)�R��Ȼ�������S�ͬ���^�c(di��n)����Candau F���p�B�m(x��)��ģ��,��Friberg�������z��ģ��,��Scriven�����S�����ԾW(w��ng)�j(lu��)ģ�͡�Lindman �Ľ�����ɢ�B(t��i)�ۼ��wģ�͵�,���S��ģ�Ͷ��ܽ����Һ��ijЩ���|(zh��),����������һ����ȱ��,���������½Y(ji��)Փ���J(r��n)ͬ��,������Һ��һ�N����ͬ�Եğ����W(xu��)��(w��n)���wϵ�����Ƿ��Ӯ����wϵ��ˮ��������ځ��^ˮƽ���Ƿ��x��,�����@ʾ�����Ե�����,����Һ��Һ��ֱ����8��80nm�� ��������������,���������M(j��n)�й⻯�W(xu��)�ۺ�,��
����������Һֻ�����^�ߵı�����Ԅ������w�������ں�խ�ı�����Ԅ���ȷ�����(n��i)�����γɲ���ͨ����Ҫʹ�����黯������������Һ�t�^���γ�,����?y��n)�O�Ԇ��w���wϵ�������䮔(d��ng)���黯������˱�ϩ�����ķ�����Һ�ۺϸ��@�ù��I(y��)�����a(ch��n),��
���,���2����ϩ�����ķ�����Һ�ۺ�
����Candau F�����Լױ������࣬�������p��2-�һ������������c���黯���Ƃ��˱�ϩ����������Һ,������AIBN���^����⛃ɷN��ͬ�����l(f��)�����l(f��)AAm�ۺ�,�� �����˷���(y��ng)��(d��ng)���W(xu��)ģ�ͣ������Beerbower-Hill����ă�(n��i)���ܱ��^�c(di��n)�ƏV��(y��ng)������Һ�wϵ���黯���x����,��ȡ�����^��Ч��,��
������Һ�ۺϾ��ИO��ľۺ����ʣ�ͨ����100min��(n��i)�D(zhu��n)���ʿ��_(d��)90������,���ڷ���(y��ng)����Ď�犃�(n��i)�ۺ����ʾ��_(d��)��һ��(g��)���ֵ,���S��ͨ���ھۺ��D(zhu��n)���ʞ�20��30���r(sh��)���ۺ������_ʼ�½�,���ڵڶ��A����,���ۺ������½���څ����ijһ�D(zhu��n)����̎׃�������@��(g��)�D(zhu��n)���ʵ�ֵ�S����(y��ng)�ضȵ����߶�����,��
������Һ�ۺϵķ������c���l(f��)����ȵ��P(gu��n)ϵ����,���ۺϺ��wϵ���Ѓ�����ӣ�һ���ֱ��С��50nm�ľۺ������z��,����һ�N��ֱ����3nm���ҵ�AOT�z��,�����z���еľۺ�����Ӕ�(sh��)���٣�1��17�l�����������ܸߣ�106��107��,��
�����۱�ϩ�����z��Č�(sh��)�úϳɼ��g(sh��)Ҫ��@�ù��I(y��)�����a(ch��n),����횽�Q���ׂ�(g��)���}��һ��ͨ���J(r��n)�鷴���z��ۺ���ķ���������(hu��)̫�ߣ���(y��ng)�о��������z��������Ć� �},���ڶ�����Һ�ۺϵ��黯�����ͨ����ܸ�,���M(j��n)һ�������黯����������ڽ������a(ch��n)�ɱ����������黯�����x����ǽ�(j��ng)�(y��n)��뽛(j��ng)�(y��n)��,����(y��ng)�о������Ŀ�ĵ��x���ϳɴ_�нY(ji��)��(g��u)���黯���Ć��},��
4�������c�����{(di��o)�|(zh��)̎��
����������ͨ�^�ЙC(j��)�߷������������Ҹ�Һ�����z�w���м�(x��)С�w������кͺ������ܘ�ʹ��Ó��(w��n)���^�̣��ЙC(j��)�߷�����������횾����^�ߵ������������;��ԽY(ji��)��(g��u)�Լ��m�ȵ�늺��ܶ�,������ӽY(ji��)��(g��u),���x���ΑB(t��i)����(qi��ng)�Ⱥͷֲ�,���������ͷֲ���֧���̶ȵȶ���(hu��)������Ч���a(ch��n)��Ӱ�,��ᘌ��o���Ҹ�Һ���c(di��n)�ϳɴ_�нY(ji��)��(g��u)����������ʹ�������a(ch��n)Ʒ�γ�ϵ�л��ǿ��й����߹�ͬ���΄�(w��),��
����������ˮ̎��S����Óˮ�{(di��o)�|(zh��)̎�����ЙC(j��)�߷�����������(y��ng)�õ���Ҫ����,������֞������ࣨ���������ʣ�����ࣩ���������࣬��(y��ng)����(j��)����ķN����|(zh��)�x���ЙC(j��)�߷���������,��������VSS/SS��SS���ЙC(j��)��������^�ߕr(sh��),����(y��ng)�M���x����x�Ӷȸߵ���������������������Ͷ����,��������SS��ȸߕr(sh��),����(y��ng)�x�ø߷���������������SS��ȵ͕r(sh��),�����x�÷������^�͵�������,������PH�ߕr(sh��)���������ࣩ����(y��ng)�x�ù��܈F(tu��n)�鼾�@�}�Y(ji��)��(g��u)��������,��pH�͕r(sh��),���尷�ͼ��@�}�Y(ji��)��(g��u)������������ʹ�á�
5���҂��Ĺ���
���������M(j��n)ʮ���һֱ����ˮ���Ծۺ�����о��������Ⱥ�Г�(d��n)�˶��(xi��ng)����“863” ,���������c(di��n)�Ƽ����P(gu��n)��ɽ�|ʡ���c(di��n)�Ƽ����P(gu��n)�(xi��ng)Ŀ,�����г��߷������۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ�������_(d��)��2500�f��ˮ�ܕr(sh��)�g��30���,��������҂�����ϩ�����ˮ���Ԇ��w������Һ�ۺϺ���Һ�ۺ��M(j��n)���������о�,�������ˮ���Ԇ��w������(zh��n)��Һ�ۺ��¹�ˇ��ԓ��ˇ������Һ�ۺϵ����c(di��n),�����a(ch��n)Ʒ�������ߺ��黯��������,��ͬ�r(sh��)������Һ�ۺϵ����c(di��n)�����ۺ��ٶȿ�ͮa(ch��n)Ʒ�߶ȷ�(w��n)��,�������ڇ��H���״Ό�(sh��)�F(xi��n)�۱�ϩ�����z�鹤�I(y��)�����a(ch��n),�����ڲ��������M(j��n)��(d��)�w�ľۺϼ��g(sh��)���z��a(ch��n)Ʒ���кܸߵķ������͘Oխ�ķ������ֲ�,���O����ܽ��ٶȺ͟o����������c(di��n),���۱�ϩ�����z��a(ch��n)Ʒ��Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)���£�
�����a(ch��n)Ʒ���^����������z�� �̺���≥30�� ��������800��1500�f
����ˮ�ܕr(sh��)�g��3��� �黯������≤12�����Ա�ϩ����Ӌ(j��)����
����ԓ�a(ch��n)Ʒ����䓏S�D(zhu��n)�t�Uˮ,���켈��ˮ,����ɳˮ�ȏUˮ̎��r(sh��)����Ч����(y��u)���M(j��n)�ڸ߷������۱�ϩ�����ɷ�,���ڑ�(y��ng)�����X,���i���,���~�Ƚ��ٵĝ�ұ���^���еĝ{Һ���x�r(sh��),����Ч�����@��(y��u)�ڸɷۮa(ch��n)Ʒ���������Һ�ij����,����K��߮a(ch��n)Ʒ���|(zh��)��,��
�����۱�ϩ�����z����M(j��n)�������Һ�еĻ��W(xu��)����(y��ng)�����Է�����M(j��n)��Mannich ����(y��ng),���Ǽ�������(y��ng)����ˮ�����Ե�,���҂��ϳ���һ�N��x�ӹ��܈F(tu��n)��ԇ�������۱�ϩ�����z���M(j��n)�к�����(y��ng)�Ƃ���һ�N��������x�Ӿ۱�ϩ�����z��,�������a(ch��n)�ɱ������F(xi��n)����x�Ӿ۱�ϩ�����ɷۮa(ch��n)Ʒ��һ�룬�a(ch��n)Ʒ��Ҫ����ָ��(bi��o)���£�
�����a(ch��n)Ʒ���^�����z�� �̺�����35��45�� ��������800��1500�f
������x�Ӷȣ�30��50�� ˮ�ܕr(sh��)�g��3���
����ԓ�a(ch��n)Ʒ�ڶ�����ˮ̎��S����Óˮ��ˇ���M(j��n)����ʹ��,���C��Ч������,�����Н�(j��)����ˮ�|(zh��)����һ�S���M(j��n)�ڎ�ʽ���V�C(j��)�������������M(j��n)������Óˮ���Y(ji��)Փ���£�“ˎ�����0.15%,��������75%,��Óˮ�����ˮ��75%���£�Ч��ʮ���@������Ʒ�|(zh��)��(y��u)��”,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”