�y�����g(sh��)�c�x���İl(f��)չڅ��
�y�����g(sh��)�c�x���漰�����������Ĝy��,�����ڲ��ϡ����̿ƌW(xu��),����Դ�ƌW(xu��)�P(gu��n)ϵ����,��Ŀǰ�İl(f��)չڅ���������c(di��n)����
��1������Ȼ����(zh��n)��Դ�͂��f��ͬ�r(sh��)�ڲ�ͬ���̌�(sh��)�F(xi��n)���H�Ȍ�,������Լ��]�������Ȍ���Ҫ������������,����
��2���߾��ȡ�Ŀǰ�댧(d��o)�w��ˇ�ĵ��;�����0.25μm,��������0.18μm�^��,��2009����A(y��)�y������0.07μm�������λҪ��ռ������1/3,����ô��Ҫ��10nm�����ľ���,�����Ҿ�Ƭ�ߴ�߀�������_(d��)��300mm,���@����ζ���y����λϵ�y(t��ng)�ľ���Ҫ��(y��u)��3×10�ģ�8�η�,������(y��ng)�ļ��ⷀ(w��n)�l���ȑ�(y��ng)ԓ��10�ģ�9�η���(sh��)������
��3�����ٶ�,��Ŀǰ�ӹ��C(j��)е���ٶ��ѽ�(j��ng)��ߵ�1m/sec����,�������o(j��)80�����ǰ�_�l(f��)���Ƶăx���Ѳ��m��(y��ng)�Ј�������������չ�˾�ĸ���x�Ј��ֱ�Ӣ��Renishaw��ռ�I(l��ng),����ԭ���Ǻ��ߵ��ٶ��_(d��)����1m/sec,����
��4�����`�����߷ֱ�,��С�ͻ�,���猢���V�x���ɵ�һ�K�·���ϡ���
��5����(bi��o)��(zh��n)��,��ͨӍ�ӿ��^ȥ����GPIB,��RS232��Ŀǰ�п��ܳɞ������ĸ����ܘ�(bi��o)��(zh��n)��USB,��IEEE1394��VXI�,��F(xi��n)�ڣ����g(sh��)�I(l��ng)�����O(sh��)�����Ƽ��g(sh��)��(bi��o)��(zh��n),�����c��(bi��o)��(zh��n)��ӆ�ǃx���_�l(f��)�Ļ��A(ch��)�о�����֮һ,��
�҇��x���Ƽ��İl(f��)չ�F(xi��n)����
��1�������L����(x��)�T�ڷ��Ƈ���a(ch��n)Ʒ,���҇��ăx���x�����I(y��)ȱ����(chu��ng)�������������ϿƌW(xu��)�о����̽��O(sh��)����Ҫ,����
��2���҇��x���ƌW(xu��)�c���g(sh��)�о��I(l��ng)��e���˴������гɹ�,���S��ɹ�̎�ڇ��H�I(l��ng)��ˮƽ���д��Yѩ����ߺ��D(zhu��n)��,�����a(ch��n)�I(y��)���̶Ⱥܵ�,���]���γɾ��Ї��H�������������a(ch��n)�I(y��),����
δ���l(f��)չڅ��
1���l(f��)չ�����c�W(xu��)��ǰ�ة�
��1����ϔ�(sh��)���O(sh��)��ļ��g(sh��)��(chu��ng)�£������S�ٶ�,�����Ȅ�(chu��ng)�ɣ�
��(sh��)���O(sh��)�����Ҫ�`���Դ�ɷ֞���`�����21�(xi��ng)���͟��`������؏�(f��)���F(xi��n)��ϵ�y(t��ng)�`��,���ɲ���ܛ������,�������S�C(j��)�`���^�����r��Ҫ���Ì�(sh��)�r(sh��)��������,�����ڟ��`��,��һ��Ҫͨ�^�ضȜy���M(j��n)���������҇��C(j��)���ИI(y��)�Ј�ή�sͬ�r(sh��)�ִ����M(j��n)�ڇ����O(sh��)���ԭ��֮һ������?y��n)��@����ļ��g(sh��)�]�еõ��ƏV��(y��ng)��,�����,����Ҫ���ٶ�ͨ���������x����y���ٶ��_(d��)60m/min���ϣ��ɘ��ٶ��_(d��)5000��/sec����,�����m��(y��ng)���`��͎��`��y������Ҫ,���՚������ʌ�(sh��)�r(sh��)�y����(y��ng)�_(d��)��2×10�ģ�7�η�ˮƽ,����y���Y(ji��)�����L�Ȝy���Y(ji��)����ͬ��ݔ��Ӌ(j��)��C(j��),��
��2���\(y��n)�к������^�̵ıO(ji��n)�غ��ھ��z�y���g(sh��)��
�C���\(y��n)�ÈD���l�V,�����V,�����w�Լ��������c���|(zh��)�����ԭ���Ă��������зǽ��|�����`����,��������,����(y��ng)�÷����V�ă�(y��u)�c(di��n)�����@��(g��)�I(l��ng)��C�τ�(chu��ng)�µ����ʮ�֏V�,�������(d��ng),���ֲڶȡ���Ⱦ��,����ˮ��,���ӹ��ߴ缰�λ�õȵĜy������
��3�������Ϣ�a(ch��n)�I(y��)�����a(ch��n)�ƌW(xu��)�ļ��g(sh��)��(chu��ng)�©�
�������_�ŭh(hu��n)�������������g,���]��������(chu��ng)�¼��g(sh��)�Ǜ]�г�·��,����ˑ�(y��ng)ԓ����(j��)�Ќ�����(qu��n),���м��g(sh��)���������Ј���ԭ�t�x��һЩ�(xi��ng)Ŀ����֧��,������(j��)��(d��ng)ǰ�l(f��)չ�F(xi��n)��,����Ϣ�������t(y��)�W(xu��),���h(hu��n)��,���r(n��ng)�I(y��)���I(l��ng)����Ҫ�Įa(ch��n)Ʒ��(y��ng)�o�胞(y��u)��֧�֡����t(y��)�W(xu��)�н����ί��ľ��܃x���O(sh��)��,����ӹ��I(y��)�еij��ֱ��ʹ�̺��坍����,���C(j��)���о��ȡ���
2����(y��u)���I(l��ng)��
�ڻ��A(ch��)�о��ij���,�������ܷ���ͻ�����M(j��n)չ�Ǻ��y�A(y��)�y��,�����ǣ���(d��ng)�ѽ�(j��ng)ȡ��ͻ�����M(j��n)չ�r(sh��),���t��Ҫ��һ��(g��)�D(zhu��n)���C(j��)�����M(j��n)���Е�,��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
