�՚��^�V���x���g(sh��)���о��u(p��ng)��
�՚��^�V����V����ָ���՚��е���Ⱦ���ӽӽ���ȫ��ȥ��,�����ȿ՚�������M(j��n)һ��,���՚�����m�����S��I(y��)�^���Ќ�(du��)��Ⱦ�՚��̎��Ҫ��̫��(y��n)��Ĉ�(ch��ng)��[1]�,��՚��^�V���g(sh��)�ǽ�������S���ƌW(xu��)���g(sh��)�ͬF(xi��n)�������I(y��)�İl(f��)չ�����γɵ�һ�T�C�ϼ��g(sh��),������ָ��(y��ng)�ÿ՚�����O(sh��)����Ʒۉm������Ⱦ��ͨ�^�՚�ѭ�h(hu��n)�^�V���՚�đҸ��w���ﲶ�����Ա��o(h��)�h(hu��n)����������w����,�����ڿ��{(di��o),��ͨ�L(f��ng)���m�������I(l��ng)��õ��ˏV����(y��ng)�á�
�����,���՚��^�V���g(sh��)�ڞV�ϵ����Ƽ��_�l(f��),���^�V�C(j��)�����о����^�V�O(sh��)����_�l(f��)�c��(y��ng)�÷���ȡ�����^��İl(f��)չ��������Ҫ��B�˽�������(gu��)��(n��i)��՚��^�V���g(sh��)�İl(f��)չ?f��n)�r��ȡ�õijɹ�,������˿՚��^�V���g(sh��)���о����l(f��)չ�д���Q�Ć��},��
1 �V�ϼ��^�V�����о��c�l(f��)չ
1.1�҇�(gu��)�V�ϼ��^�V���İl(f��)չ��(y��ng)��
�V���ǿɌ���ɢ�ڏ�ɢ�����w�еĹ��w�w�Ϸ��x�����Ķ�ײ��ϣ���ɢ�����w�����ǚ��w��Һ�w,���V�ϵķN����w�S�V��,���מVĤ����Ĥ�V�ϡ��V�ϛQ�����^�V�^�̵�Ч����Ч��,�����İl(f��)չ�Q�����՚��^�V���g(sh��)�İl(f��)չ,�����V���ؑ�(y��ng)�����҃�(n��i)����՚��|(zh��)��Ʒ�|(zh��)�Ŀ���,������,���ڿ��{(di��o)�����L(f��ng)�^�V��ѭ�h(hu��n)�՚��̎�������÷����Լ��h(hu��n)�����o(h��),���C(j��)е,�������ú̿���մ�,������,���t(y��)ˎ���p��,������,���r(n��ng)ˎ���Zʳ�ӹ�,���ۿ��\(y��n)ݔ,����ͨ��·�ȸ��и��I(y��)����V��ʹ���^�V���g(sh��)�ͺ��w�V�ϡ�
�҇�(gu��)�V�����a(ch��n)�l(f��)չѸ��,��20���o(j��)50�����,���҇�(gu��)߀�]�ОV�����a(ch��n)�S���Ј�(ch��ng)��Ҳ�]�Ќ��õĞV�Ϯa(ch��n)Ʒ,��60��������w����Ʒ�����^�V���|(zh��),����(y��ng)�õ����I(y��)����(g��)�I(l��ng)���У��M�㲻ͬ�ИI(y��)����Ҫ,�������N��ͬ��;���^�V�����ƳɵĻ��w�^�V����������,���͉A���ߏ�(qi��ng)��,���w�S�❍������,��70���δ����(gu��)�a(ch��n)�V��208 ��]�q�����Q�����^�V���g(sh��)�ƏV��(y��ng)���ṩ�˵�һ1���V��,��80����ַ����ձ��a(ch��n)Ʒ�_�l(f��)��729�����C(j��)���V��,���������^�V���m����Ҫ���Ƴ�ᘴ֞̚V�ϣ�����˴�ʽ���m���ĞV�mЧ��,��90�������,���҇�(gu��)�Ƽ��ˆT�_�l(f��)�ɹ���Ĥ�V�ϣ����������ˇ,�������ķ���ϩ�ױ�Ĥ��(f��)���ڙC(j��)����,���ǿ��첼�V�ϻ����w�S�V���ϣ�ԓ�V���^�V�r(sh��)�γ�һ�ηۉm��,����(sh��)�F(xi��n)�˱����^�V,�����Ч�����(ji��)���ṩ�˃�(y��u)�|(zh��)�^�V����[2��3],��
Ŀǰ�V�ϵİl(f��)չڅ��(sh��)�ǣ�(1)�ɶ��S�Y(ji��)��(g��u)�ęC(j��)���^�V�������S�Y(ji��)��(g��u)�ķǿ����^�V���l(f��)չ,���ɶ��w�w���C(j��)���^�V�����L(zh��ng)�z�^�V���l(f��)չ���ɏ�(f��)�z�����^�V����νz�^�V���l(f��)չ,��(2)�ɳ�Ҏ(gu��)���w�^�V���������,�����,�����|(zh��)�����^�V���l(f��)չ���ɺ��w�V����Ĥ�V�ϰl(f��)չ[4],��
Ŀǰ,���҇�(gu��)����(sh��)���w�V�����a(ch��n)��I(y��)�������͏�(f��)���O(sh��)��߀�������ƣ��a(ch��n)Ʒ��Ʒ�N�������_�l(f��)�ܵ�һ������,��һЩ������;�ĞV�ϲ��ò������M(j��n)�ڡ����(y��ng)��(du��)�F(xi��n)�ОV���M(j��n)�к�����,������(y��ng)�Ï�(f��)�Ϲ�ˇ���g(sh��),�������_�l(f��)���͞V�ϣ���߇�(gu��)�a(ch��n)�V�ϵ�����,���γ�ᘌ�(du��)�Ժ��m���ԏ�(qi��ng)�Įa(ch��n)Ʒ,��
�՚��^�V���g(sh��)��ͨ�^���V���Ƴɲ�ͬ��ʽ���^�V����(sh��)�F(xi��n)�՚��^�V���������^�V����Ч��e,����(y��u)���^�V����,���՚��^�V���ĽY(ji��)��(g��u)��ʽ����ԭ��һ�Ćΰ��ΰl(f��)չ���ޠ���λ�Ͳ�Ρ��L(zh��ng)�A����,���ѯB�A�P�μ������[5],����(gu��)�a(ch��n)��Ч�^�V�������Q����1964�ꡣ20���o(j��)80�����,����(gu��)���^�V���_ʼ�M(j��n)���҇�(gu��),�������M(j��n)�ˇ�(gu��)�a(ch��n)�^�V���İl(f��)չ�������,����(gu��)��(n��i)���_ʼ�о���(gu��)�a(ch��n)�v�O�w�o늿՚��^�V��[6],�����^�v�O�w��ָ���L(zh��ng)�ڃ�(ch��)��늺ɵ�늽��|(zh��)���ϣ�������һЩ����ʹ�w�S�L(zh��ng)�ھ���늺�,�������o늲����C(j��)������^�V������Ч��,��Ŀǰ����(gu��)�a(ch��n)�^�V�������a(ch��n)�������a(ch��n)��(bi��o)��(zh��n)�͙z�y(c��)��(bi��o)��(zh��n)���y(t��ng)һ,��Ч�ʜy(c��)ԇ��������(y��n)��,���a(ch��n)ƷҎ(gu��)�ӷ��༰�ߴ粻�y(t��ng)һ�Ȇ��}��ͬ�r(sh��),������Ӽ����ܙC(j��)е�ИI(y��),����Ч�^�V���ă���Ч���џo���M��Ҫ��[7]����(gu��)�a(ch��n)����Ч,������Ч�^�V���д��_�l(f��),���@Щ���}�����Ҏ(gu��)�������������о�Ͷ����k�����M(j��n)һ���ؼ������ƽ�Q��Ŀǰ�՚��^�V������(y��ng)����סլ,���k��,���̘I(y��)�����I(y��)�����ĝ����ҡ�HVACϵ�y(t��ng)������������g(sh��)��,�����{(di��o)���Ȉ�(ch��ng)��,��
1.2��(gu��)��V�ϼ��^�V���l(f��)չ?f��n)�r
��(gu��)���^�V�����_�l(f��)����(d��ng)��?y��n)飺��ǿ��첼�^�V���ϡ���(f��)��Ĥ���g(sh��)���^�V���ϰl(f��)չ,������ø��g(sh��),�������ܵIJ����w�S�����ķ���ϩ,��������������w�S,��̼�w�S�������w�S�Ȳ����_�l(f��)��ܵ��^�V���ϰl(f��)չ[4],��
��(gu��)�⌦(du��)�^�V���ϵ��о����a(ch��n)��(y��ng)��,�����γ�һ��(g��)�^������ϵ�y(t��ng)��ÿ��(g��)�V����������,����ͨ������,����(qi��ng)�ȡ���������������,������һ�������Ĝy(c��)ԇ��ԇ�(y��n)�ֶ�,�������²����_�l(f��)�ĞV���������ӡ����˜p���������,����(gu��)���яĿ���V���_ʼ���w�S��V���^��,���w�S��V���nj��L(zh��ng)�w�S���¿v�����γ�һ�����Ėřڣ���(d��ng)һ��?x��n)ř��^�VЧ��������r(sh��),���ټ���һ��?x��n)ř�,��ֱ���_(d��)��������^�VЧ�������˜p�ٷۉmй©,������^�V����,�����ͳɱ������L(zh��ng)ʹ�É���,������(x��)ֱ���IJ����w�S�c�ߜصĺϳ��w�S��(y��u)��(sh��)���a(b��),���Ƴɏ�(f��)��ᘴ֞̚V�ϡ�
�����,���S���߿Ƽ��Ľ���,�������²��ϵİl(f��)չ����(gu��)���^�V���g(sh��)�����t(y��)��,���²�����ȡ�ȸ��¼��g(sh��)�I(l��ng)��l(f��)չ,��
�ڿ՚��^�V���l(f��)չ���棬�����,���v�O�w�o늿՚��^�V�����(gu��)�⑪(y��ng)���^��ĸ����ܿ՚��^�V��,��һЩ�l(f��)�_(d��)��(gu��)������,���յȇ�(gu��)��ǰ�������_�l(f��)���a(ch��n)������ 64MD��(j��)�e���ϰ댧(d��o)�wԪ��,���՚��^�VЧ���_(d��)99.999999%(0.12��0.17μm)���ϵij���Ч�՚��^�V��,����(gu��)��(n��i)��I(y��)���@�����c��(gu��)���кܴ��ࡣ
2 �՚��^�V��Փ���о��c�l(f��)չ
�՚��^�V���g(sh��)�İl(f��)չ�x���_�՚��^�V��Փ���о��c�l(f��)չ,���^�V��Փ�e�ǿ՚��^�V��Փ���о�����19���o(j��)�ѽ�(j��ng)�_ʼ,�����՚��^�V���������c�l(f��)չֻ��20����Ěvʷ���^�V��Փ�����ڵĽ�(j��ng)���^�V��Փ�l(f��)չ���F(xi��n)���^�V��Փ�����^�V��Փ,��
��(du��)��(x��)�w���\(y��n)��(d��ng)Ҏ(gu��)�ɵ������J(r��n)�R(sh��)����19���o(j��)����,����(d��ng)�r(sh��)ֲ��W(xu��)��Brown�^������(x��)�w���Ҹ���Һ�w�е��\(y��n)��(d��ng)(�������\(y��n)��(d��ng))��1922��,�� Freundlich�l(f��)չ�ˌ�(du��)�����z�^�VҎ(gu��)�ɵ��J(r��n)�R(sh��),�������0.1��0.2μm�돽������(n��i)�����z�w���������B��,��1931��,��Albrecht���Ȍ�(du��)����ͨ�^��һ�A���w�S�\(y��n)��(d��ng)�M(j��n)�����о�,��������Albrecht��Փ,���S��Sell��(du��)���M(j��n)���˱�Ҫ�ĸ��M(j��n)[8],��
1936��,��Kaufmann���ȰѲ����\(y��n)��(d��ng)�͑T�Գ����ĸ���һͬ��(y��ng)�õ��w�S�^�V��Փ��,���ƌ�(d��o)���^�V���õĔ�(sh��)�W(xu��)��ʽ,��1942��,��Langmuir[9]�^�m(x��)��(du��)�^�V��Փ�M(j��n)���о����J(r��n)���^�V�ǽ����͔U(ku��)ɢ�ļ��ϼ��T���������^�V�w�S�ϵij����ǿ��Ժ��Ե�,��
1952��,��Davies[10]�єU(ku��)ɢ�������͑T��3�N�C(j��)�ƽY(ji��)���������ù�ʽ��ʾ����,���Ķ��������µ��^�V��Փ——�����w�S��Փ,��1958�� Friedlander[11]��1967��Yoshioka[12]�l(f��)չ�˪�(d��)���w�S��Փ��������(du��)�^�����Z��(sh��)��r���w���đT��,���U(ku��)ɢ���e������Ч��(y��ng)���^�V�������F(xi��n)���M(j��n)�����о��Ϳ��Y(ji��),��1967�꣬Pickaar��Clarenburgԇ�D���һ��(g��)�w�S�^�V���Y(ji��)��(g��u)�Ĕ�(sh��)�W(xu��)��Փ,��1987��P(gu��n)ich�� 1993��Brown���䌣�����������^�V��Փ�����°l(f��)չ,��
���ڵĽ�(j��ng)���^�V��Փ��Ҫ�Ԇ�һ�w�Sģ�͞���A(ch��)���J(r��n)���^�VЧ����3�N�C(j��)�ƛQ�����T��Ч��(y��ng),������Ч��(y��ng),���U(ku��)ɢЧ��(y��ng)������(g��)�w���IJ���������N�����C(j��)����(li��n)������,��
�F(xi��n)���^�V��Փ�C���ˑT�Գ��������_�Ժ���������ӵĴ���,���J(r��n)���^�VЧ���ǽ���Ч��(y��ng),�����ʔU(ku��)ɢЧ��(y��ng)������Ч��(y��ng),������Ч��(y��ng)�c����Ч��(y��ng)�ļ���,���^�V�^���п��ܴ��ڵęC(j��)���Дr�ء��T����ײ,���U(ku��)ɢ,���o�Ч��(y��ng)����(k��)������һ�ų�,��ӳ����,���Ӿ��������(����)���F(xi��n)���^�V��Փ�о��д����Ե���Davies���^�V��Փ�cKuwarbara������(ch��ng)�ֲ�,��
1992��,��Payet��Gougeon��Attoui[14]���]�˚��w�چ�һ�w�S�ϵĻ���(d��ng),����(du��)��(j��ng)����Փ��������ϵ��(sh��),��ʹ����Փ�c��(sh��)�(y��n)��(sh��)��(j��)���õ��Ǻϡ�1995��,��Rosnert[12]�����ɢ�چ�һ�w�S�w������w���Բ�Ҏ(gu��)�t�ķֲ��ͳ����γɘ�֦��Y(ji��)��(g��u)������,�����������M(j��n)���Ƶ���Փ���w���چ�һ�w�S�w�ϵĿ��g�ֲ������ô���Փ��Ӌ(j��)�������A(y��)�y(c��)�w���ij��e,��
2001��,��Thomas��[14]��(du��)�^�V���ڮa(ch��n)����������r���M(j��n)���˿՚��^�V����Փ�c��(sh��)�(y��n)�о���������^�V���ڞV��ڵ���r��,���^�VЧ�ʼ������pʧ��Ӌ(j��)��ģ��,�������������(gu��)���S���W(xu��)�ߌ�(du��)�՚��^�V���ڷe�m��r�µ�Ч�����ܼ��V��γɺ͙C(j��)���M(j��n)������Փ��(sh��)�(y��n)��ģ�M�о�,��ȡ����һ���ijɹ� [15��17],��
3 �Y(ji��)�Z(y��)
�^�V��Փ���о�Ŀǰ�в����ƣ���(gu��)��(n��i)���P(gu��n)�^�V�C(j��)�����о��īI(xi��n)����,����ͬ�Y(ji��)��(g��u)�^�V���IJ���Ч�ʺ͉����pʧ����ՓӋ(j��)��,���՚⼰���ɢ�w���ֲ�����(sh��)��(du��)����Ч�ʼ������pʧ��Ӱ푣��^�V����ؓ(f��)�����Ԍ�(du��)����Ч�ʼ������pʧ��Ӱ푼��V�ϵĽY(ji��)��(g��u)���Ԍ�(du��)����Ч�ʼ������pʧ��Ӱ푵Ȇ��},�����д��о���Q,����ˣ��^�V��Փ���M(j��n)һ���о���(du��)�՚��^�V���g(sh��)�İl(f��)չ�����ش����x�͌�(sh��)�Ãr(ji��)ֵ,��
�����īI(xi��n)�����ԣ�

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”