���⾀�����a(ch��n)Ʒ����
1 �m�÷����������҃�(n��i)�՚�,�����w�����ˮ������Һ�w������,��
2 ���⾀�����������⾀������
(1) ����ʹ�õ����⾀�� �� �����⾀,���䲨�L������ 200nm��275nm�����������(qi��ng)�IJ����� 250nm��270nm,�������õ����⾀��Դ����܉�a(ch��n)��ݗ��ֵ�_(d��)�����Ҙ�(bi��o)��(zh��n)�Ě������⾀��,��
(2) �Ƃ����⾀����������(y��ng)���õȼ�Ʒ��ʯӢ������,�����ڵõ��M������⾀ݗ�Տ�(qi��ng)��,��
(3) ���⾀�������������Ì����⾀����ϵ��(sh��)�ߵIJ��ϣ��璁���X�壩�Ƴɵķ�����
(4) Ҫ���������������⾀����늉��� 220V���h(hu��n)��������Ȟ� 60%,���ضȞ� 20��r(sh��),��ݗ��� 253.7nm ���⾀��(qi��ng)��(ʹ���еď�(qi��ng)��)���õ��� 70μW/cm2 (��ͨ 30W ֱ�����⾀���ھ����� 1 m̎�y�����������⾀����ʹ�þ��x̎�y��,��ʹ�õ����⾀�y��(qi��ng)�x��횽�(j��ng)�^��(bi��o)��,��������Ч�ڃ�(n��i)��ʹ�õ����⾀��(qi��ng)�ȱO(ji��n)�yָʾ��,����(y��ng)ȡ���l(w��i)���S������,��������Ч�ڃ�(n��i)ʹ��)��
(5) ���⾀��ʹ���^������ݗ�Տ�(qi��ng)����u����,���ʑ�(y��ng)���ڜy���������⾀�ď�(qi��ng)��,��һ������Ҫ��ď�(qi��ng)�����r(sh��)����(y��ng)���r(sh��)���Q,��
(6) ���⾀��������ʹ�É���,���������ď�(qi��ng)�Ƚ��͵�70μW/cm2 �ĕr(sh��)�g(����≥30W)���͵�ԭ����(qi��ng)�ȵ� 70%������ <30�ף��ĕr(sh��)�g����(y��ng)������ 1000h,����������a(ch��n)��λ��(y��ng)�ṩ��(sh��)�Hʹ�É���,��
(7) Ŀǰ�҇�ʹ�õ����⾀�������������N ��
1) ��ֱͨ�ܟ�ꎘO�͉������⾀�����������ܲ���ʯӢ���������������⾀�^�ʸߵIJ����Ƴɣ����ʞ� 40��,��30��,��20�ס�15��,��Ҫ����S��ݗ��253.7nm���⾀�ď�(qi��ng)��(�ھ��x1m̎�y��,�����ӷ�����)�� ������ >30W ����≥90μW/cm2,������ >20W��,��≥60μW/cm2������ 15W ��,��≥20μW/cm2�� �����@�N����ݗ�� 253.7nm ���⾀��ͬ�r(sh��),��Ҳݗ��һ���� 184.9nm ���⾀,���ʿɮa(ch��n)��������
2) �ߏ�(qi��ng)�����⾀��������Ҫ��ݗ�� 253.7nm ���⾀�ď�(qi��ng)��(�ڟ������Ĵ�ֱ���x 1m̎�y��)�飺���� 30W ��,��>170μW/cm2,��11W ����>40μW/cm2,��
3) �ͳ������⾀��������Ҳ�ǟ�ꎘO�͉�����,���ɞ�ֱ���ͻ� �� �ͣ����ڲ��������ˇ�͟��ܲ���,���ʳ����a(ch��n)���ܵ�,��Ҫ������a(ch��n)�� <1mg/h��
4���߳������⾀�����������ڲ�ȡ�����ˇ,���@�N���a(ch��n)���^������IJ��L184.9nm �����⾀,���ʳ����a(ch��n)���^��
(8) ���⾀��������
1) ���⾀�՚������������õͳ������⾀����������,�����������˗l���µ��҃�(n��i)�՚�����,��
2) ���⾀���������������õͳ����ߏ�(qi��ng)�����⾀���������죬��ʹ���ܿ����_(d��)���M�������Ч��,��
3) ���⾀�����䣺���ø߳����ߏ�(qi��ng)�����⾀��������ֱ�ܸ߳������⾀������,��һ�����������⾀�ͳ����ąf(xi��)ͬ�������ã���һ�������ó��������⾀���䲻���IJ�λ�M(j��n)������,��
3 �m�÷������l��
(1) ���⾀���Ԛ�����N����,��������(x��)����ֳ�w��ѿ�ߡ���֦�U��,������,����������˴��w��֧ԭ�w��,����������������Ⱦ�ı���,��ˮ�Ϳ՚���ɲ������⾀������
(2) ���⾀ݗ��������,��������,���H�ܚ���ֱ�����䵽�������������r(sh��)���ʹ������λ��ֱ�¶�����⾀,��
(3) �����⾀��������,������ȴֲڱ���r(sh��)��Ҫ�m��(d��ng)���L����r(sh��)�g,���҃������(y��ng)�ܵ�����,��
(4) ���⾀�������m�˜ضȷ�����20�桫40�棬�ض��^���^�;���(hu��)Ӱ�����Ч��,�����m��(d��ng)���L�����r(sh��)�g,�����ڿ՚������r(sh��)�������h(hu��n)����������ȵ���80% ���,����t��(y��ng)�m��(d��ng)���L����r(sh��)�g,��
(5) �����⾀���类�ЙC(j��)�ﱣ�o(h��)������r(sh��)����(y��ng)�Ӵ����䄩��,�,��՚��ˮ�еđҸ�����Ҳ��Ӱ�����Ч����
4 ʹ�÷���
(1) ����Ʒ�����������
1) ���䷽ʽ�����ʹ�ñ�yʽ���⾀�����������x�Ƅ�(d��ng)����,��Ҳ�ɲ�ȡ������ҵ�ʽ����,����С����Ʒ�ɷ����⾀�������(n��i)���䡣
2) ���䄩���͕r(sh��)�g����ͬ�N�������⾀�������Բ�ͬ,�������⾀�����r(sh��)���ʹ�����䄩���_(d��)������Ŀ��(bi��o)������������䄩��,������һ�㼚(x��)����ֳ�w�r(sh��)����(y��ng)ʹ���䄩���_(d��)��10 000μW.s/cm2,�����缚(x��)��ѿ�ߕr(sh��)��(y��ng)�_(d��)��100 000μW.s/cm2,�����������⾀�ĵֿ������ڼ�(x��)����ֳ�w��ѿ��֮�g��������ӵĵֿ����ȼ�(x��)��ѿ�߸���(qi��ng),���Еr(sh��)��Ҫ���䵽600 000μW.s/cm2,����һ���²�����������⾀�ĵֿ����ȼ�(x��)��ѿ��������������Ŀ��(bi��o)���ﲻԔ�r(sh��),�����䄩������(y��ng)����100 000μW.s/cm2,��ݗ�Մ������������⾀����������Ʒ����̎��ݗ�Տ�(qi��ng)�Ⱥ�����r(sh��)�g�ij˷e����ˣ�����(j��)���⾀��Դ��ݗ�Տ�(qi��ng)��,������Ӌ(j��)�����Ҫ����ĕr(sh��)�g,�����磬��ݗ�Տ�(qi��ng)�Ȟ� 70μW/cm2 �����⾀���������������x������Ʒ����,���x���ݗ�Մ����� 100 000μW.s/cm2,���t������ĕr(sh��)�g�ǣ�
100 000μW.s/cm2 ÷ 70μW/cm2 = 1429 s ÷ 60s �� 24min��
��2�����҃�(n��i)�՚��������
1���g�����䷨�����x�ߏ�(qi��ng)�����⾀�՚�������,�����H����Ч���ɿ�,�����ҿ����҃�(n��i)���˻��(d��ng)�r(sh��)ʹ�ã�һ���_�C(j��)���� 30min �����_(d��)�������ϸ�,��
2) ֱ�����䷨�����҃�(n��i)�o�˗l����,���ɲ�ȡ���⾀���ҵ�ʽ���Ƅ�(d��ng)ʽֱ�����䡣�����҃�(n��i)�ҵ�ʽ���⾀�����r(sh��),���҃�(n��i)���b���⾀��������30�������,����1.0m ̎�ď�(qi��ng)�� >70μW/cm2���Ĕ�(sh��)����ƽ��ÿm3������ 1.5W������r(sh��)�g������30min,��
(3) ��ˮ������Һ�w������,���ɲ���ˮ��(n��i)�����ˮ�����䣬����ˮ��(n��i)���䷨�r(sh��),�������Դ��(y��ng)�b��ʯӢ�������o(h��)�֣��oՓ��ȡ�ηN����,��ˮ�Ӻ�Ⱦ���(y��ng)С��2cm,������(j��)�����Դ�ď�(qi��ng)�ȴ_��ˮ���ٶȡ�������ˮ����_(d��)������Ҏ(gu��)����(bi��o)��(zh��n),��
5 ע�����(xi��ng)
(1) ��ʹ���^����,����(y��ng)�������⾀��������坍��һ��ÿ�����þƾ��������һ��,���l(f��)�F(xi��n)���ܱ����л҉m,�����ەr(sh��)����(y��ng)�S�r(sh��)����,��
(2)�����⾀�������҃�(n��i)�՚�r(sh��),�����g��(n��i)��(y��ng)�����坍����p�ىm����ˮ�F,���ضȵ���20�� ����� 40��,��������ȴ��� 60% �r(sh��)��(y��ng)�m��(d��ng)���L����r(sh��)�g��
(3) �����⾀������Ʒ����r(sh��),����(y��ng)ʹ��������ܵ����⾀��ֱ������,���ґ�(y��ng)�_(d��)���������䄩����
(4) ����ʹ���⾀��Դ���䵽�ˣ���������p��,��
(5)���⾀��(qi��ng)��Ӌ(j��)����1���(bi��o)��1��,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”