�߷��Ӿ������^�V���g(sh��)�ڴ������a(ch��n)�I(l��ng)��(y��ng)��
ժҪ:�߷��Ӿ������^�V���g(sh��)��һ�N��Ч�Ĺ�Һ�����^�V���g(sh��)���ڻ������a(ch��n)���ЏV���đ�(y��ng)��ǰ��,�������˸߷��Ӿ������^�V���g(sh��)����Ҫ�M��,�����ܼ����ڴ��������칤ˇ�c��(y��ng)�ù�ˇ�е���Ҫʹ�øśr��
�߷��Ӿ������g(sh��)��һ�N�����^�V���g(sh��),���������^�VЧ��,������Ч�������^�V������,�����W(xu��)����,����(d��ng)�����ļ�Ͷ�Y�c�ɱ��ȾC�����ܾ��^��(y��u)�����ڹ��I(y��)���ѫ@�ÏV����(y��ng)��,����ԭ���ҿ�ί��1992���c1996���B�m(x��)�ɴ��x����Ҽ��Ƽ��ɹ����c(di��n)�ƏVӋ(j��)���(xi��ng)Ŀ,��
1���߷��Ӿ������^�V���g(sh��)
(1)Ӳ��������PG�;������^�V�C(j��)(��(n��i)�b��PE�^�V�ܻ���PA�^�V��)���o���b��(�Չ��C(j��)���A����ݔ�ͱõ�),��PG�;������^�V�C(j��)�F(xi��n)��PGK,��PGR��PGF,��PGH,��PGD�cPGW�Ȳ�ͬ�Y(ji��)��(g��u)��̖��ÿ�N��̖�ж�NҎ(gu��)���^�V��e,����������200 m2,����С��0.5 m2��
����
(2)ܛ�����������^�V�����^�V����(sh��)�yԇ,���^�V��ˇ�x��,�������^�V��eӋ(j��)�㣬���^�V��ë��(x��)����̖�x��,��PG�;������^�V�C(j��)��̖�cҎ(gu��)���x��,���^�V���̰��b�O(sh��)Ӌ(j��)�����a(ch��n)�b�õIJ����c�S�o(h��)����,��
2����Ҫ����
���^�VЧ�ʸߡ�����Һ�̾����^�V����(d��ng)�oֹ�^�V�r(sh��),����С���^�V0.5 μm,���DŽ�(d��ng)�B(t��i)�^�V,����С���^�V0.3 μm������̾����^�V,������0.3 μm�����^�VЧ�ʴ���99%,��
��ϴ��Ч�ʸߡ������^�V�C(j��)��(n��i)�Ɍ����^�V����������γɵĞV��M(j��n)���oֹϴ�죬ϴ��Ч�ʴ���95%,��
��ж���V��㡡���É��s���w�����M(j��n)�п���˲�r(sh��)����,���ͿɌ��������ĞV��ٴ��䣬���_�������^�V�C(j��)�ײ��Ě��(d��ng)��������w,���^�ɵĞV�������ų��^�V�C(j��),��
������Ч�ʸߡ����ú���Ě�ˮ��������ٷ��������Ɍ����^�V���M(j��n)�и�Ч����,�����^�V�ܲ��ױ�����,�����ٿ���0.5��2�ꡣ
�����g���ܺá����^�V������,���A,���}��70 �����´��ЙC(j��)�܄���
�S�o(h��)�z���㡡�������^�V�C(j��)�ĽY(ji��)��(g��u)�^����,�����b���^�V���^�p,���S�o(h��)�c�z���^���㡣
�߄�(d��ng)������С���^�V����һ�㲻���^0.2��0.3 MPa,��
��ռ����e�^С���־������^�V�C(j��)����ʽ���b,����λ�^�V��e�^�V�C(j��)�����ռ����e�^С��
��Ͷ�Y�������ɱ��^�͡����^�V�ܵĻ���ԭ�Ϟ�߷���,���r(ji��)���^��,���^�V�C(j��)�ĽY(ji��)��(g��u)���^���Σ����Ͷ�Y�M(f��i)���^��,���ܿ��L��ʹ��,����(ji��)ʡ��(d��ng)���������^����,������ܶ�����ˆT,����˲����ɱ�Ҳ�^�͡�
����
��Ҫ��ȱ�c(di��n)���͜ص�,����PE��һ�㲻���^80 ��,����PA�ܲ����^120 �棻��һȱ�c(di��n)�ǞVɶȲ�������ʽ�x�ęC(j��)�cƤĤ�D����V�C(j��),��
3����(y��ng)��
(1)�ڴ������칤ˇ��,��PG���NҎ(gu��)��ľ������^�V�C(j��)�ѱ��ɹ���������������ĸ��NҺ�wԭ��(����ˮ)�ľ����^�V,��ȥ��Һ�wԭ���еđҸ��s�|(zh��)������߷���(y��ng)�a(ch��n)����|(zh��)���c����,����ijЩʯ�ʹ����S�������������X��Һ�c��(qi��ng)�A��ƫ�X���c��Һ���^�V,���@Щ�^�V����ȫ��ȥ����Һ��δ����(y��ng)��ȫ�Ě������X�w��,��ʹ��Һ�_(d��)�����o(�o�Ҹ���,���o�s��o������)һ(��)��Ч��,���������,��PG�;������^�V�C(j��)�����ڻ��W(xu��)����(y��ng)��(x��)�w���a(ch��n)Ʒ���^�V����ijʯ���S���������X��ǰ�w——�������X���^�V�cϴ��,��ȡ���˂��y(t��ng)�İ�V�C(j��),���^�V���ʿ����15%��30%��ȡ����ԭ��5������,����{�c���V�ȷ���(f��)����,����PG�͵ľ������^�V�C(j��)��(n��i)һ�ξ�����^�V��ϴ���c����,�����a(ch��n)�Ě������X���z�|(zh��)��ָ��(bi��o)���ϸ�,���@һ�¼��g(sh��)�c���b�䣬���Hʹ�������,��߀ʡȥ�������P䓝{�����o���b��,���ڄ�(d��ng)��(qi��ng)�ȴ���½����ɹ�(ji��)ʡ40%�ڄ�(d��ng)��,��PG�;������^�V�C(j��)߀��������������������(x��)�w�����^�V�cϴ��,����һЩʯ�ʹ����c���ʴ����ȡ�
����
(2)�ڴ�����(y��ng)�ù�ˇ��,����(x��)�w���������c���W(xu��)����(y��ng)��,����(y��ng)���r(sh��)�������c����(y��ng)��Һ��ȫ���x����ʹ�����^�m(x��)�M(j��n)����һ������(y��ng)���M(j��n)�д�������,��������x����ȫ,�����HӰ푻��W(xu��)����(y��ng)�a(ch��n)����|(zh��)����Ҳ���ڴ����ēpʧ��ʹ�����ɱ�����,�����w�������w���ܼ�(x��),��һ��V�����y�_(d��)����ȫ���x���ÞV���ĸ��N�^�V�C(j��),���ŞV������^�韩,��PG�;������^�V�C(j��)�ɷ��x0.5��1 μm���w�����^�VЧ���_(d��)100%,�����Ź��w�V�������������,�����к܃�(y��u)��������A�Ȼ��W(xu��)����,�������ʯ�ͻ���������(x��)�����c��ˎ���a(ch��n)�ϱ��ɹ����ڴ������^�V���x,�����Z����,���ڸ������c��ˎ���a(ch��n)�Б�(y��ng)�ú��ձ飬�����ڛ]�к��οɿ����^�V���g(sh��),�����²����ɱ��^��,����1981���_ʼ��PG�;������^�V�C(j��)�ͱ��ɹ�����ijһʯ���S���Z�����^�V,��18���,�����ƏV���S����S�c��ˎ�S��ȡ���@���Ľ�(j��ng)��(j��)Ч��,��PG�;����^�V�C(j��)߀�����S�������F�ش������^�V,������~�����������F����̿�d�����ȡ�
4���Y(ji��)�Z
�߷��Ӿ������^�V���g(sh��)���Ѓ�(y��u)���ľC������,���ڻ����c�t(y��)ˎ���a(ch��n)����������������,�����@�ÏV����(y��ng)�á�����ʹ��(y��ng)��һ�γɹ�,����(y��ng)��ǰ��(y��ng)�M(j��n)��С��ԇ�(y��n)�cӋ(j��)��,���_��������^�V�ܵ�ë��(x��)��ֱ�����y���^�V���ϵ��^�V�����c����֮�g�Ĕ�(sh��)�W(xu��)ģ��,��Ӌ(j��)������^�V����,��Ȼ��Ӌ(j��)�������^�V��e�c���VӺ�ȣ��x��PG�;������^�V�C(j��)����̖�cҎ(gu��)��,��
�����īI(xi��n)��
[1]�����@��.�߷������c�����^�V�C(j��)��J��.�Ϻ,�������1989,��(3)��25-26.
[2]�����@��,������־.���c����Һ���c��̻�����һ�N���ͷ��x���g(sh��)��J��.�����M(j��n)չ��1993,��12(4)��25-28.

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”