�߷��Ӿ������^(gu��)�V���g(sh��)�ڴ������a(ch��n)�I(l��ng)��(y��ng)��
ժҪ:�߷��Ӿ������^(gu��)�V���g(sh��)��һ�N��Ч�Ĺ�Һ�����^(gu��)�V���g(sh��),���ڻ������a(ch��n)���ЏV���đ�(y��ng)��ǰ��,�������˸߷��Ӿ������^(gu��)�V���g(sh��)����Ҫ�M�ɡ����ܼ����ڴ��������칤ˇ�c��(y��ng)�ù�ˇ�е���Ҫʹ�øśr,��
�߷��Ӿ������g(sh��)��һ�N�����^(gu��)�V���g(sh��),���������^(gu��)�VЧ��������Ч��,�����^(gu��)�V������,�����W(xu��)��������(d��ng)�����ļ�Ͷ�Y�c�ɱ��ȾC�����ܾ��^��(y��u)�����ڹ��I(y��)���ѫ@�ÏV����(y��ng)��,����ԭ��(gu��)�ҿ�ί��1992���c1996���B�m(x��)�ɴ��x���(gu��)�Ҽ�(j��)�Ƽ��ɹ����c(di��n)�ƏVӋ(j��)���(xi��ng)Ŀ,��
1���߷��Ӿ������^(gu��)�V���g(sh��)
(1)Ӳ��������PG�;������^(gu��)�V�C(j��)(��(n��i)�b��PE�^(gu��)�V�ܻ���PA�^(gu��)�V��)���o���b��(�Չ��C(j��)���A����ݔ�ͱõ�),��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)�F(xi��n)��PGK,��PGR��PGF,��PGH,��PGD�cPGW�Ȳ�ͬ�Y(ji��)��(g��u)��̖(h��o)��ÿ�N��̖(h��o)�ж�NҎ(gu��)���^(gu��)�V��e,����������200 m2,����С��0.5 m2��
����
(2)ܛ�����������^(gu��)�V�����^(gu��)�V����(sh��)�y(c��)ԇ,���^(gu��)�V��ˇ�x��,�������^(gu��)�V��eӋ(j��)�㣬���^(gu��)�V��ë��(x��)����̖(h��o)�x��,��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)��̖(h��o)�cҎ(gu��)���x��,���^(gu��)�V���̰��b�O(sh��)Ӌ(j��)�����a(ch��n)�b�õIJ����c�S�o(h��)������
2����Ҫ����
���^(gu��)�VЧ�ʸߡ���(du��)��Һ�̾����^(gu��)�V,����(d��ng)�oֹ�^(gu��)�V�r(sh��),����С���^(gu��)�V0.5 μm,���DŽ�(d��ng)�B(t��i)�^(gu��)�V����С���^(gu��)�V0.3 μm,����(du��)��̾����^(gu��)�V,������0.3 μm�����^(gu��)�VЧ�ʴ���99%��
��ϴ��Ч�ʸߡ������^(gu��)�V�C(j��)��(n��i)�Ɍ�(du��)���^(gu��)�V����������γɵĞV��M(j��n)���oֹϴ��,��ϴ��Ч�ʴ���95%,��
��ж���V�(ji��n)�㡡���É��s���w��(du��)���M(j��n)�п���˲�r(sh��)�������ͿɌ��������ĞV��ٴ���,�����_(k��i)�������^(gu��)�V�C(j��)�ײ��Ě��(d��ng)��������w,���^�ɵĞV�������ų��^(gu��)�V�C(j��)��
������Ч�ʸߡ����ú�(ji��n)��Ě�ˮ��������ٷ�����,���Ɍ�(du��)���^(gu��)�V���M(j��n)�и�Ч����,�����^(gu��)�V�ܲ��ױ����������ٿ���0.5��2��,��
�����g���ܺá����^(gu��)�V������,���A���}��70 �����´��ЙC(j��)�܄�,��
�S�o(h��)�z���㡡�������^(gu��)�V�C(j��)�ĽY(ji��)��(g��u)�^��(ji��n)��,�����b���^(gu��)�V���^�p,���S�o(h��)�c�z���^���㡣
�߄�(d��ng)������С���^(gu��)�V����һ�㲻���^(gu��)0.2��0.3 MPa,��
��ռ����e�^С���־������^(gu��)�V�C(j��)����ʽ���b,����λ�^(gu��)�V��e�^(gu��)�V�C(j��)�����ռ����e�^С��
��Ͷ�Y�������ɱ��^�͡����^(gu��)�V�ܵĻ���ԭ�Ϟ�߷���,���r(ji��)���^��,���^(gu��)�V�C(j��)�ĽY(ji��)��(g��u)���^��(ji��n)�Σ����Ͷ�Y�M(f��i)���^��,���ܿ��L(zh��ng)��ʹ��,����(ji��)ʡ��(d��ng)���������^��(ji��n)��,������ܶ�����ˆT,����˲����ɱ�Ҳ�^�͡�
����
��Ҫ��ȱ�c(di��n)���͜ص�,����PE��һ�㲻���^(gu��)80 ��,����PA�ܲ����^(gu��)120 �棻��һȱ�c(di��n)�ǞVɶȲ�������ʽ�x�ęC(j��)�cƤĤ�D����V�C(j��),��
3����(y��ng)��
(1)�ڴ������칤ˇ��,��PG���NҎ(gu��)��ľ������^(gu��)�V�C(j��)�ѱ��ɹ���������������ĸ��NҺ�wԭ��(����ˮ)�ľ����^(gu��)�V��ȥ��Һ�wԭ���еđҸ��s�|(zh��),������߷���(y��ng)�a(ch��n)����|(zh��)���c����,����ijЩʯ�ʹ����S�������������X��Һ�c��(qi��ng)�A��ƫ�X���c��Һ���^(gu��)�V���@Щ�^(gu��)�V����ȫ��ȥ����Һ��δ����(y��ng)��ȫ�Ě������X�w��,��ʹ��Һ�_(d��)�����o(w��)(�o(w��)�Ҹ���,���o(w��)�s��o(w��)������)һ(��)��Ч��,���������,��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)�����ڻ��W(xu��)����(y��ng)��(x��)�w���a(ch��n)Ʒ���^(gu��)�V����ijʯ���S���������X��ǰ�w——�������X���^(gu��)�V�cϴ��,��ȡ���˂��y(t��ng)�İ�V�C(j��),���^(gu��)�V���ʿ����15%��30%��ȡ����ԭ��(l��i)5������,����{�c���V�ȷ���(f��)����,����PG�͵ľ������^(gu��)�V�C(j��)��(n��i)һ�ξ�����^(gu��)�V,��ϴ���c����,�����a(ch��n)�Ě������X���z�|(zh��)��ָ��(bi��o)���ϸ��@һ�¼��g(sh��)�c���b��,�����Hʹ�������,��߀ʡȥ�������P䓝{�����o���b�ã��ڄ�(d��ng)��(qi��ng)�ȴ���½����ɹ�(ji��)ʡ40%�ڄ�(d��ng)��,��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)߀��������������������(x��)�w�����^(gu��)�V�cϴ��,����һЩʯ�ʹ����c���ʴ����ȡ�
����
(2)�ڴ�����(y��ng)�ù�ˇ��,����(x��)�w���������c���W(xu��)����(y��ng)��,����(y��ng)���r(sh��)�������c����(y��ng)��Һ��ȫ���x����ʹ�����^�m(x��)�M(j��n)����һ������(y��ng)���M(j��n)�д�������,��������x����ȫ,�����HӰ푻��W(xu��)����(y��ng)�a(ch��n)����|(zh��)����Ҳ���ڴ����ēpʧ��ʹ�����ɱ�����,�����w�������w���ܼ�(x��),��һ��V�����y�_(d��)����ȫ���x���ÞV���ĸ��N�^(gu��)�V�C(j��),���ŞV������^�韩,��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)�ɷ��x0.5��1 μm���w�����^(gu��)�VЧ���_(d��)100%,�����Ź��w�V�������������,�����к܃�(y��u)��������A�Ȼ��W(xu��)���ܣ������ʯ�ͻ���,������(x��)�����c��ˎ���a(ch��n)�ϱ��ɹ����ڴ������^(gu��)�V���x,�����Z�������ڸ������c��ˎ���a(ch��n)�Б�(y��ng)�ú��ձ�,�������ڛ](m��i)�к�(ji��n)�οɿ����^(gu��)�V���g(sh��),�����²����ɱ��^��1981���_(k��i)ʼ,��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)�ͱ��ɹ�����ijһʯ���S���Z�����^(gu��)�V,��18���(l��i)�����ƏV���S����S�c��ˎ�S,��ȡ���@���Ľ�(j��ng)��(j��)Ч��,��PG�;����^(gu��)�V�C(j��)߀�����S�������F�ش������^(gu��)�V������~�����������F����̿�d������,��
4���Y(ji��)�Z(y��)
�߷��Ӿ������^(gu��)�V���g(sh��)���Ѓ�(y��u)���ľC������,���ڻ����c�t(y��)ˎ���a(ch��n)���������������У����@�ÏV����(y��ng)��,������ʹ��(y��ng)��һ�γɹ�,����(y��ng)��ǰ��(y��ng)�M(j��n)��С��ԇ�(y��n)�cӋ(j��)�㣬�_��������^(gu��)�V�ܵ�ë��(x��)��ֱ��,���y(c��)���^(gu��)�V���ϵ��^(gu��)�V�����c����֮�g�Ĕ�(sh��)�W(xu��)ģ��,��Ӌ(j��)������^(gu��)�V����,��Ȼ��Ӌ(j��)�������^(gu��)�V��e�c���VӺ�ȣ��x��PG�;������^(gu��)�V�C(j��)����̖(h��o)�cҎ(gu��)��,��
�����īI(xi��n)��
[1]�����@��.�߷������c�����^(gu��)�V�C(j��)��J��.�Ϻ,�������1989,��(3)��25-26.
[2]�����@��,������־.���c����(j��)Һ���c��̻�����һ�N���ͷ��x���g(sh��)��J��.�����M(j��n)չ��1993,��12(4)��25-28.

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”