Ĥ���g(sh��)����Ӽ�ˮ�еđ�(y��ng)��
��ˮ����ӹ��I(y��)��Ҫ�����Ԫ�������a(ch��n)�е���Ҫ��������ͻ��,����ˮˮ�|(zh��)�ѳɞ�Ӱ����Ԫ�����a(ch��n)Ʒ�|(zh��)��,�����a(ch��n)��Ʒ�ʼ����a(ch��n)�ɱ�����Ҫ����֮һ��ˮ�|(zh��)Ҫ��ҲԽ��Խ��,�������Ԫ�������a(ch��n)��,����ˮ��Ҫ������ϴ��ˮ���Á����Ƹ��N��Һ���{��,����ͬ�����Ԫ�������a(ch��n)�м�ˮ����;����(du��)ˮ�|(zh��)��Ҫ��Ҳ��ͬ,��
�������������a(ch��n)�У��X��������������ϴ���ü�ˮ,����ˮ�к������x��,��������͕�(hu��)©늡�����ӹ����a(ch��n)��,����ӹ�ꎘOͿ��̼���},�������л����s�|(zh��)���͕�(hu��)Ӱ���ӵİl(f��)��,���M(j��n)��Ӱ���ӹܵķŴ����ܼ�����,���������ҺҪʹ�ü�ˮ�����@��ܺ�ꎘO�侀�����a(ch��n)��,����ɹ�����(n��i)���Ç�Ϳ�������������һ�ӟɹ����|(zh��),�����\���������ٵ�����M�ɵğɹ���w�����ù����ճ�϶��ɣ����������ü�ˮ,���缃ˮ�к��~��8ppb����,���͕�(hu��)����l(f��)��׃ɫ�����F��50ppb���Ͼ͕�(hu��)ʹ�l(f��)��׃ɫ,��׃��,���W�����S�������ЙC(j��)���z�w,����,����(x��)���ȣ��͕�(hu��)���͟ɹ�ӏ�(qi��ng)�ȼ����c������ճ����,������(hu��)��ɚ���,���l�E��©���c(di��n)�ȏU��Ʒ,���ںڰ��@��ܟɹ������a(ch��n)��12��(g��)������,��������ϴ����������,��ϴĤ,�����i��ϴ��5��(g��)������ʹ�ü�ˮ,��ÿ���a(ch��n)һ��(g��)���w�����ü�ˮ80kg,��Һ���@ʾ�����������м�ˮ��ϴ���ü�ˮ��Һ���缃ˮ�д����������x��,������,�������s�|(zh��)���͕�(hu��)ʹҺ���@ʾ�·�l(f��)������,��Ӱ�Һ�����|(zh��)��,����(d��o)�U����Ʒ,��
��ˮ�����Б�(y��ng)�õ�Ĥ���g(sh��)��Ҫ��늝B����ED��,�����B��RO�����{�V��NF��,�����V��UF��,���V��MF����
�c���y(t��ng)��ˮ̎�����g(sh��)���,��Ĥ���g(sh��)���й�ˇ����,���������㡢�����Ԅ�(d��ng)����,���ܺ�С,���o��Ⱦ��ȥ���s�|(zh��)Ч�ʸ�,���\(y��n)�гɱ��͵ȃ�(y��u)�c(di��n),���e�ǎNĤ���g(sh��)�����ʹ�ã����o֮��(j��ng)����ˮ̎����ˇ,����ʯӢɰ,������̿������Ó��,���x�ӽ��Q,��UV�����ȣ���ȥ��ˮ�еĸ��N�s�|(zh��),���M������l(f��)չ����ӹ��I(y��)��(du��)��ˮ����Ҫ,���ṩ����Ч���ɿ����ֶΣ�����Ҳֻ�Б�(y��ng)���˶�NĤ���g(sh��),���������a(ch��n)���ϸ�,����(w��n)���ĸ�ˮ���������a(ch��n)����Ҏ(gu��)ģ������Ҏ(gu��)ģ,������Ҏ(gu��)ģ�����·��LSI,��VLSI��ULSI��,���Ķ�ʹӋ(j��)��C(j��),�����_(d��)��ͨӍ,���Ԅ�(d��ng)���ƵȬF(xi��n)����ӹ��I(y��)�İl(f��)չ�͑�(y��ng)�õ��Ԍ�(sh��)�F(xi��n),��
�Vϵ�y(t��ng)�ɷ֞������һ�ǰ��(j��)UF,��ROǰ�ı����^�V��,������֧��ˮ�еĵđҝ�����������ˮ�е�SDIֵ,���Vо��PP���۱�ϩ��Ĥߡ��ʽ�Vо,������5μm��3μm���ڶ�����x�ӽ��Q��,�����ڞV���x�ӽ��Q��֬��Ƭ,���Vо��PPĤߡ��ʽ�Vо������1μm,���������UV��������,�����ڞV������ʬ�w���Vо��N-6������6��Ĥߡ��ʽ�Vо,������0.45μm��0.2μm,�����ϞVо����˹��I(y��)���ڰ��о������a(ch��n)��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”