�pͨ������ɫ�V���^�y���״���е�CH4,��CO��N2O��SF6
ժҪ��������Agilent 6890N����ɫ�V�x���A(ch��)��,��ͨ�^�ԽM�b,�����ɼ��{(di��o)ԇ�����ຣ�����P(gu��n)ȫ���Ȿ��վ�������pͨ������ɫ�V�ھ��^�yϵ�y(t��ng),���Ԍ�(sh��)�F(xi��n)ͬ�r�߾��ȷ������״���е� CH4,��CO��N2O��SF6.ͬ�r,�����ñ����r�g����,���÷�߶���CH4��CO��SF6,���÷���e����N2O,�����w�e��?j��n)?sh��)�քe�� 2000.3×10-9��199.8×10-9,��320.04×10-9��5.9×10-12��CH4,��CO��N2O��SF6��Ϙ�(bi��o)���؏�(f��)�M(j��n)��110��,�������rÿ��3��δ֪��Ʒ�������1����(bi��o)��,���Ա��C�����Y(ji��)���Ŀɿ���.ԓվԇ�\(y��n)�����g�Ĕ�(sh��)��(j��)����,��ԓϵ�y(t��ng)����CH4��CO��SF6�ķ�(w��n)�����^��,���ܝM���坍���״��߾���,���ߜ�(zh��n)�_�ȷ���Ҫ�����Y(ji��)����������(bi��o)��(zh��n)ƫ�RSD���քe��0.04%,��0.50%,��0.08%��1.80%.
�P(gu��n)�I�~������ɫ�V�� ���״�� �ھ��^�y ���Қ��w
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
�����Ҫ�˽����Ԕ��(x��)�ă�(n��i)�ݣ�Ո�c(di��n)�����d 
DZY10012202.PDF
���dԓ����Ո���,�����߀���DZ��W(w��ng)���T,��Ո��ע��
