Ĥ���s���g(sh��)�İl(f��)չ����
Ĥ���s���g(sh��)���о�ʼ��20���o(j��)60�����������1963��������Sodell�������䌣����Ո�Ќ�Ĥ���s�ij����ɹ��M(j��n)���˽�B,��1967��1969��,��F(xi��n)indley��������Hendergcky�ښW��ͬ�r�M(j��n)����ԇ�,��Findley�Lԇ�˶�NĤ����,��Ȼ��Ĥͨ���s�dz�С�������A(y��)��ֻҪ�ҵ����m��Ĥ����,���@�N���g(sh��)�Ǻ���ǰ;��,���M(j��n)��90����Ժ�Ĥ���s���о���u���࣬������(sh��)߀��̎�ڌ���о��A��,��P. A Hogan�cSudjito���ڰĴ���������̫������������Դ�M(j��n)����ֱ�ӽ��|Ĥ���s,������C��̫���Ĥ���s�ڼ��g(sh��)���ǿ��еģ������M(j��n)�Ќ��H��(y��ng)��,���C���о�����,��1995����_˹��Agashichcv��Sivakov�����|(zh��)���͟���ƽ�ⷽ�̣����]�ضȺ͝�ȘO�����ֱ�ӽ��|ʽĤ���s�Ĕ�(sh��)�W(xu��)ģ��,���������^�ڏ�(f��)�s���]�б��V������,��1998�꣬Gryta�ȿ��]�ڜضȘO��Ӱ푵���r��ë��(x��)�ܠ���Ĥ�M���������}�M(j��n)�����о�,�����ó���һЩ��Փ����(j��),��
�҇���Ĥ���s���g(sh��)���о�ʼ��20���o(j��)80�����1988��,����ӹ�ҾC����Ĥ���s�������P(gu��n)��Ĥ�^��,���]�l(f��)�����|(zh��)ˮ��Һ��Ĥ���s����Ĥ���^���l(f��)�����l(f��)���յ�Ĥ�^�̵İl(f��)չ,���C���͑�(y��ng)�õ���r,��1991�������µ�ʹ�ñ��������о����ṩ�Ŀ�0.3μm,��Ĥ��80μm�ľ��ķ���ϩ��Ĥ��������ˮ��Һ�M(j��n)�����s��s���Y(ji��)���l(f��)�F(xi��n)�@һ�����ǿ��е�,�����ó��Y(ji��)Փ��Ĥ���s�����ڟ��������|(zh��)ˮ��Һ�ĝ�s,�����ܺܺõذl(f��)�]ԓ�^�̵͜؝�s�ă�(y��u)�ݡ��C���о�����,��1999��,����{�����M(j��n)����Ĥ���s���|(zh��)�ď����о�������˂��|(zh��)ͨ�����ӵĸ���,��
20���o(j��)80������_ʼ���P(gu��n)�ښ�϶ʽĤ���s���о����,��������Փ�͌���о����^�١��M���cֱ�ӽ��|ʽĤ���s���,����϶ʽĤ���sͨ����,�����������Ч�������߶����ܺ��٣���sˮ�c���Y(ji��)ˮ���_,���������,����������ȡ����ˮ�ͺ��]�l(f��)�����|(zh��)�r������ֱ�ӽ��|ʽĤ���s�o���ȔM�ă�(y��u)��,����˚�϶ʽĤ���sԽ��Խ�ܵ��˂�����A,��1989�꣬Gostod����PTFEĤ,�����Ҵ�ˮ��Һ�錍���ϵ,�������ד]�l(f��)���|(zh��)ˮ��Һ�Ŀ՚�϶Ĥ���s�����о�������÷��x���ӵĸ������ʾ�]�l(f��)�����|(zh��)���ἃ�̶�,������̽���˓]�l(f��)�����|(zh��)ˮ��ҺĤ���s��Ҏ(gu��)��,��2000�꣬鐽���Ȍ���϶ʽĤ���s���f�^���M(j��n)���о�,�������y��Ĥ�ɂ�(c��)���w�Ĝض�,����������Һ��Ȍ�Ĥͨ����Ӱ푣�������Փ�������˂���,�����|(zh��)�^��,�������˿����A(y��)�yĤ���sͨ���Ĕ�(sh��)�W(xu��)ģ�ͣ����Y(ji��)���cģ���A(y��)�y�Ǻ��^��,��2002�꣬���҂��Ȳ���ģ�MӋ��͌��ķ�����ֱ�ӽ��|ʽĤ���s��DCMD���͚�϶ʽĤ���s��AGMD���^���M(j��n)���˱��^�о�,��ģ�MӋ�㼰���Y(ji��)������,��AGMD�еĚ�϶��(g��u)�����^�̵���Ҫ������ʹ�ÿ�Ĥ�ز��h(yu��n)С��Ĥ�ɂ�(c��)���w���w�ز�,����AGMD���S��϶��ȵ�����Ĥͨ�����½���,���S��϶��ȵ������½��ٶ������p���������AGMD��Ĥͨ��,���p�ٚ�϶�������Ч�ֶ�֮һ,��
Ĥ���s���g(sh��)��Ҫ�ķ�չ������Ҫ�����ׂ����棺
(1)���Ʒ��x���ܺã��r�������Ĥ,��Ŀǰ֮����Ĥ���s�c�������x���g(sh��)����^����������,��һ������Ҫ��ԭ��������Ĥ���s��Ĥ�ɱ��^�ߡ�������Ҫ���Ƴ��������÷��x���ܶ��҃r�������Ĥ���m��(y��ng)Ĥ���s�İl(f��)չ,��
(2)���ƙC��ģ��,���C��ģ�����M(j��n)���^�̃�(y��u)�����O(sh��)ӋӋ�����Փָ��(d��o)���mȻ�S���о����ѽ�(j��ng)�IJ�ͬ�ǶȌ�Ĥ���s�ęC���M(j��n)�����о�,�����Դ���������ȱ��,���б�Ҫ�����M(j��n)һ�����ơ�
(3)��ߟ���������,��Ĥ���s�Ǿ�����׃��,����Ҫ���ğ������^�̣�����������������һ����Ҫ���g(sh��)��(j��ng)��(j��)ָ��(bi��o),��Ĥ���s�в��ɱ���ش�����������(d��o)��ɵğ����pʧ,����Μp���@���֟����pʧ����ֵ���о�����Ҫ�n�},��
(4)�l(f��)�]�����͜�Óˮ�ă�(y��u)��,���_չ��(y��ng)���о����о��������c��(y��ng)���ǟ��������|(zh��)ˮ��Һ�ĝ�s,������,��Ĥ���s�^�̺��κ��O(sh��)�似�g(sh��)Ҫ�ߵ����c�����m����СҎ(gu��)ģ���}ˮ����,���@��ƫ�h(yu��n)�^(q��)��Ұ�����I(y��)�ˆT��Q���ˮ���}������Ҫ���x,��
(5)�������^�̵ĽY(ji��)�ϡ�Ĥ���s���c�������x�^����Y(ji��)��,������߷��xЧ���練��(y��ng)�c���s�ļ���,���B���l(f��)�cĤ���s�ĽY(ji��)�ϡ�
(6)�ӏ����p��Ĥ���s���о�,�����ķNĤ���s��ʽ��,���p��Ĥ���s��ͨ�������^���Ҳ����^����Ĥ���דp��,������(c��)������Ҳ�^�������NС,��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”