BEL���p�S���ʽ늳��m�����аl(f��)
1 ���g(sh��)����
Ŀǰ����(n��i)��늳��m����Ҫ���ÃɷN�����Ҽ��g(sh��),������(c��)���C(j��)е����g(sh��)��픲�늴�����g(sh��)��
픲�늴��N����g(sh��)����Ҫ���c(di��n)�飺����������N������?y��n)鴹ֱ����,������c(di��n)һ�㲼����늘O�ϲ�,������������϶��´�ֱ���f��
��(c��)���C(j��)е����g(sh��)����Ҫ���c(di��n)�飺�֞��(c��)��ײ��ϱ��N���,����(c��)����c(di��n)�ϱ��N����,������N����ˮƽ����
�����ɷN늳��m�������Ҽ��g(sh��)�������緶����(n��i)�õ��˴�Ҏ(gu��)ģ�đ�(y��ng)��,������(y��ng)�@�ɷN�����ʽ��늳��m��,��������(y��ng)�O����ʽ�����ø������c(di��n)�������c��(c��)�����������(y��ng)�IJ�����ꖘO����c픲�늴����������(y��ng)��ꎘOС��ܽY(ji��)��(g��u),����늚����ܺͽY(ji��)��(g��u)��Ҳ�քe���и��Ե����c(di��n),���S���҇����ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)�ij��_���Ј�������늳��m���O(sh��)������ܺͿɿ�������˸��ߵ�Ҫ��,��Ŀǰ����(n��i)һЩ��I(y��)�ѳɹ��_�l(f��)��һ�N픴�͂�(c��)����Y(ji��)�ϵ�BEL���p�S���ʽ늳��m���a(ch��n)Ʒ�����º��QBEL��늳��m����,��ԓ�a(ch��n)Ʒ�����������ɷN늳��m���ă�(y��u)�c(di��n)���ܵ��Ñ��ďV���gӭ,��
2 BEL��늳��m�����c(di��n)
2.1BEL��늳��m�����w��(g��u)���c늈��O����ʽBEL��늳��m�����w�Y(ji��)��(g��u),����D1��ʾ��
![]() 1—늴��N�����,��2—�^���ӱ�����,��3—���w��4—��������,��5—ꖘO����b��,��6—�p���ܷ��˿��T��7—�Ҷ�,��8—ꖘOϵ�y(t��ng),��9—���������b�á�10—�M(j��n)������,��11—ꎘOϵ�y(t��ng),��12—�߉��M(j��n)����13—픲��z���T,�� |
ͨ�^���c��(c��)�������ϵIJ��ΘO����c픲�늴��������ϵ�ꎘO�Y(ji��)��(g��u)�ЙC(j��)�ؽY(ji��)��,��ʹ�@�ɷN�Y(ji��)��(g��u)�ă�(y��u)�c(di��n)�õ����M(j��n)һ���İl(f��)�]���γ�BEL��늳��m��늘O�Y(ji��)��(g��u)��������c(di��n),��
BEL��늳��m����܈�Ƴɲ����ε�ꖘO���cᘴ���ꎘO�������,��ÿ�KꖘO�����Ãɸ�ꎘO����ÿ��ꎘO�������ڲ�����ꖘO��IJ���λ�ã���D2��ʾ��,��
![]() |
���@�N늈��O����ʽ��,��늕���ݗ�䵽�O�������c(di��n)�Ŀ��g���x����ȣ��a(ch��n)����������ֲ�����,����������ܶȷֲ�Ҳ�^�����,�������������ڈA��ʽ��늵�Ч����ʹ�������ژO���ϸ��c(di��n)�ķۉm�����һ��,���ɳ�����ØO�����Ч��e,���˷���Ҏ(gu��)C�ΰ���ڵ�늈����^(q��)����������߱����ۉm�����l(f��)�ķ�늕��F(xi��n)��Įa(ch��n)��,���_(d��)����ֲ����ۉm,����߳��mЧ�ʵ�Ŀ�ġ�
2.2������ꖘO��ă�(y��u)�c(di��n)
��1��������ꖘO���c��ͬ�L�Ⱥ߶ȵ�C�ΰ����,��������10%���Չm��e����늕�����(sh��)�Hݗ��ꖘO��ı���e����ͶӰ��e��1.1����,���Ķ���(sh��)�F(xi��n)��늳��m�����w�L�Ȳ����ӵ���r�£��_(d��)�����Ӽ��m��e,����߳��mЧ�ʵ�Ŀ��,��
��2���cC�ΰ����,������ꖘO�岻���װl(f��)�����w������C�ΰ���L(f��ng)�^�����λ�ݶȺܴ�,���a(ch��n)�����w����,����(d��o)�»�늉��½�,���������ΰ��“W”�Σ�����߅��?z��)o���L(f��ng)�^,������ꎘO��̎��ͨ���,��늈��ܾ������t���F(xi��n)��,�������\(y��n)��늉�,����Ч��߳��mЧ�ʡ�
��3��������ꖘO���cᘴ̾���ƥ��,���cC�ΰ����,������ܶȷ�ֵ�ͣ�ƽ������ܶ��^��,�������^��(qi��ng)�IJ����߱����ۉm����,������ߌ���(x��)�m���ĔU(ku��)ɢ����c����Ч�ʡ�����ꖘO������Ϸۉm�Ӄ�(n��i)��늈���(qi��ng)�Ȟ�E�m��=ρi��ρ��ۉm�ı����,��i������ܶȣ�,����ˣ�����ͬ����r�µğ��m��ρ�鶨ֵ��,��i����t�m�Ӄɂ�(c��)�λ������,���������К��w���������ɷ�늕����˕r���a(ch��n)����������ؓ(f��)�x��,���к͎�늵ķۉm����,�����w���F(xi��n)�����������늉��½�,�����mЧ�����@�½�,���ĈD3�пɿ�����C�ΰ�����늕���̎����ܶȳ��F(xi��n)��ֵ,���������l(f��)��늕��F(xi��n)��,��
![]() |
��4��ԇ�(y��n)�C��������ͬ�O��,����ͬꎘO���ėl����,���oՓ����B(t��i)���d��߀�ǟ�B(t��i)ؓ(f��)�d�l���µķ�������,��������ꖘO��ķ���������������ƽ��,�����W�j(lu��)늉����Ǹ���C�ΰ壨Ҋ�D4�����@�M(j��n)һ�������˲�����ꖘO�����Ĉ���(qi��ng)�ֲ��^����,���]�����@�ķ�ֵ,����C�ΰ����Ĉ���(qi��ng)�ֲ��������^����^����F(xi��n)��,��
![]() |
![]() |
2.3ꖘO�����ҷ�ʽ
�b�ڲ�����ꖘO�������ĽY(ji��)��(g��u)���c(di��n)����ҵ���ʽ�������ԣ�ꖘO�����ø��M(j��n)�Ă�(c��)�����w���N�������Ҽ��g(sh��),����C(j��)��(g��u)����,����ӭh(hu��n)��(ji��)�١��ɿ��Ը�,�����M(j��n)��Ă�(c��)��������ɲ�����“W”�ΘO���²�����λ�õ��pб��Ш�K�M(j��n)�Ђ��f,���������Ч��Q��Ҏ(gu��)��(c��)�����ʽꖘO�²����C(j��)��(g��u)���O��ļ����Ɖĺ�׃�Ά��}��������˂���Ч��,��
2.4ꎘO�����ҷ�ʽ
ꎘO����ꎘOС�օ^(q��)�Y(ji��)��(g��u)+픲��m��늴��N�����Ҽ��g(sh��),������С�օ^(q��)�Y(ji��)��(g��u)���g(sh��)���Ʉ���С����Ԫ,�����������Ч��,�����õĄ���Φ�UʽꎘOС��ܽY(ji��)��(g��u)���c��Ҏ(gu��)��(c��)����늳��m��ꎘO���ܽY(ji��)��(g��u)���,�������f�^(q��)�g�pС��һ��,���������˼��ٶȷֲ��ľ����ԡ��D5��ʾ����늈�늳��m��ꎘO�օ^(q��)�Y(ji��)��(g��u)�����?q��)�����r,��
![]() |
�D5�У�a����ꎘO���ó�Ҏ(gu��)��(c��)�������ܽY(ji��)��(g��u),����������c(di��n)�������ٶ��^�����(d��o)��늘O�Y(ji��)��(g��u)���F(xi��n)�����Ɖġ�׃�μ��ྀ�Ȇ��},�������ٶȷֲ��������^��,���D5�У�b����ÿ��늈��֞�ɂ�С�^(q��)��ꎘO����픲����̈́���С��ܽY(ji��)��(g��u),�������ٶȷֲ��������^��,���^С����������ɝM�����Ҫ��
��1������Φ�UʽС��ܵĽY(ji��)��(g��u)���Q,��픲����Ă���;��형�,����С�����ٶ�ֵ��,���ֲ������Ժá���15m�ߵ�ȫ�ߴ�ꎘOС������ԇ�(y��n)��,����(d��ng)픲�늴��N������߶�������300mm�r,����С�����ٶ�ֵ���_(d��)100g���ϣ�����ٶȷֲ�����������ֵ��0.2,��С��0.40���ИI(y��)��(bi��o)��(zh��n),���ɏص�Q��Ҏ(gu��)��(c��)�����ʽꎘO���������ٶȷֲ�����������ھֲ������ٶ��^�����(d��o)�µļ����Ɖ�,��׃��,���ྀ�����S���^����늵Ȇ��},��
��2������픲��m��늴��N������Ҽ��g(sh��),�����m�Л]���\(y��n)�Ӳ������\(y��n)�а�ȫ�ɿ�,�����ھS�o(h��)����,�����(qi��ng)�ȡ��l��,�������Ɍ�(sh��)�r�{(di��o)��(ji��),������픲�����������ķ����c�O�����S��������һ�£����O���S������ď�(qi��ng)�ȴ��ڏ���(qi��ng)��,����˲��הྀ,�������늳��m���\(y��n)�еĿɿ��ԣ������߀���ڲ�ͣ�C(j��)�ėl����(sh��)ʩ�z��,�,����m��(y��ng)��ͬ����l����CSϵ�в��P��â��늕��������������Ժ�,�����ٶȷֲ�����,��ԓ����߀���ж�NҎ(gu��)�ɸ���(j��)���������Ҫ�`���O(sh��)Ӌ(j��)�x��,�����m��(y��ng)���N���r�µğ��m����,������ꎘO��^�����쳯�ϲ��õķ�ʽ����ʡȥꎘO��(c��)�����C(j��)��(g��u)��늈���(n��i)����ռ�Ŀ��gλ��,�����늈���(n��i)�����g������,��ʹ�ó��m��늈��Y(ji��)��(g��u)�o�������ڲ���,����(ji��)ʡռ����e,���c��ͬҎ(gu��)��Ă��y(t��ng)��(c��)�����ʽ늳��m����ȣ�BEL��늳��m��ÿ��늈�ռ���L�ȿɿs��1m���ң����һ�_��늈�BEL��늳��m�����L���Ͽɹ�(ji��)ʡ4m,���Ķ��ɽ�QһЩ��������늳��m�������(xi��ng)Ŀ�еĹ�ˇ���Æ��},���ɹ�(ji��)�sһ���Ĺ����M(f��i)��,��
2.5 BEL��늳��m�����ߡ��͉�����O(sh��)��
BEL��늳��m�����ø�,���͉������O(sh��)��,�����и߉������������O(sh��)����ø��١�������,��������Intel CH-MOS��16λ��Ƭ�C(j��)-80C196KB������оƬ,���ڿ��ƹ����ϲ����p�ػz�y���Ƽ��g(sh��)�����г�Ҏ(gu��)�Ļ�ۙ,�����ƽ��늉�,���p�벨�gЪ�}�_��늵ȶ�N���Ʒ�ʽ���������ˆΰ벨�gЪ�}�_���,�����Ԅәz�y�ӑB(t��i)�������������壬�ɲɼ����惦늉��������,�������ڱ��o(h��)�����ϳ����ж�·,���_·���^��,��ƫ��źͳ��ؙ͜z�y���o(h��)������,��߀����������ij�늉����^�d������ʩ,��
3 BEL��늳��m�����Ј���(y��ng)��
BEL��늳��m����һ�_���I(y��)�әC(j��)��(y��ng)����ij늏S130t/hȼú偠t����늳��m�����칤��,��ԭ늳��m���O(sh��)���\(y��n)�Ў��꣬��Ҫ���}���£�
��1��ꖘO�帯�g,��׃��,���eλ��(y��n)�أ�
��2��ꎘO�ྀ�ʸ�,��ꎘO����׃��,��Ӱ�늈�����������
��3��ꖘO���ϲ��e�҇�(y��n)��,����늈�ꎘO���ʴ�,��
��4���ꖘO��(c��)���C(j��)е���C(j��)��(g��u)ĥ�p��(y��n)�أ����N�l��,��
��5���M(j��n)�����Ț����ֲ��װ屻�����_ˢĥ�p��(y��n)��,����������ԭ��ԓ늳��m��Ч�����@�½�,�����ܝM�������(y��n)��ĭh(hu��n)���ŷ�Ҫ��,��ԓ늏S������BEL��늳��m�����g(sh��)��ԓ�_�O(sh��)���M(j��n)������Ч���죬��Ҫ���췽�����£�
��1�����û�ό��g�༼�g(sh��)����һ늈�ͬ�O�g����400mm,���ڶ�,����늈�ͬ�O�g����460mm���Ա������늈�����늉�����ߌ���(x��)�ۉm�IJ�������,��
��2�����ò�����ꖘO���c�â�̾�ȡ��ԭ��늘O,��
��3��ꎘOϵ�y(t��ng)�����C(j��)���ƣ�픲��m��늴��N������ϵ�y(t��ng)ȡ��ԭ����b��,��
��4��ꖘOϵ�y(t��ng)���Â�(c��)�����w���N�������Ҽ��g(sh��)�M(j��n)���O(sh��)Ӌ(j��),��ȡ��ԭ����b�á�
��5��ꎘOϵ�y(t��ng)����С�օ^(q��)�Y(ji��)��(g��u)���g(sh��)����,������С����Ԫ,�����������Ч����
��6�����Ä��Ԇ�Φ�UʽꎘOС���ȡ��ԭꎘO����,��
��7�����Ä���Љ��^���Ӻ��F�ν^���S���QԭꎘO����ͽ^��ϵ�y(t��ng),��
��8��ꎡ�ꖘOϵ�y(t��ng)�������ϵ��´��ҵ���ʽ,��ϵ�y(t��ng)��������s,�������Û��s׃�Σ����늳��m�������r�ض�׃�����m��(y��ng)��,��
��9������ԭ늳��m�����w����,����������(n��i)���Љ��������Q픰�,�����O(sh��)�²��Љ���,����(n��i)�������弰��(c��)���ȡ�
��10������ԭ늳��m���M(j��n)������,�����O(sh��)Ӌ(j��)�M(j��n)�����Ț��������C(j��)��(g��u),�����ö�װ�ӌ�(d��o)���~Ƭ�b�ø��Qԭ���Ӛ����ֲ���,�����M(j��n)���{(di��o)������Q��ԭ늈�����Ě����ֲ������Բ�Ć��},��������������,��
��11������ԭ�еĸ߉��������b�ã����������h(hu��n)��K��ȫ��(sh��)�ֿ��Ƹ߉��{(di��o)����ȡ��ԭ�߉��{(di��o)����,����12�������е��ܷⲿλ�M(j��n)��ȫ����Q,��
��13������һ�_�C(j��)���ع���Qԭ��ӟ���ƹ�,��
ԓ�_BEL��늳��m���O(sh��)����2002������b�ꮅ��Ͷ���\(y��n)��,���\(y��n)��ǰ���O(sh��)��������B(t��i)�����ֲ��yԇ�������ٶȜyԇ����(sh��)�y�����ֲ���������ֵ��0.23%,���_(d��)��≤0.25%�ı��CҪ��,����(j��ng)�F(xi��n)���ꖘO�����ٶȜyԇ,����(sh��)�yꎘO��С���ٶ�ֵ��120g��������ܼ��ٶȷֲ�������������ֵ�H��0.26,����(sh��)�yꖘO��С���ٶ�ֵ���_(d��)383g,�����ż��ٶȷֲ�������������ֵ�H��0.31���M��С��0.40�ć���늳��m�ИI(y��)��(bi��o)��(zh��n),����B(t��i)ԇ܇���,���O(sh��)��Ͷ�������\(y��n)�D(zhu��n)������M(j��n)���˟�B(t��i)���ܜyԇ,���yԇ�Y(ji��)���飺�ڙC(j��)�M�Mؓ(f��)�ɹ��r��,����(sh��)�y���mЧ�ʞ�99.93%,���ڟ��⺬�m��Ȟ�36.45mg/Nm3�����w��������180Pa,��©�L(f��ng)�ʞ�2.0%,������(j��)�yԇ�Y(ji��)����늳��m���������(xi��ng)���ܱ��Cֵ���M���ͬ�f(xi��)�hҪ��,��
����(sh��)�H�yԇ��(sh��)��(j��)Ӌ(j��)��,�������ĘәC(j��)ÿ��ɜp�ُğ��������ŷŵķۉm�s600������(sh��)�`�C��,��BEL����늳��m���Ȃ��y(t��ng)늳��m�����и��õľC������,���e����늳��m���췽����и���ͻ���ă�(y��u)�c(di��n)��
4 �Y(ji��)
BEL��늳��m��ͻ���˂��y(t��ng)�ļ��g(sh��)����,���ƌW(xu��)�،���(d��ng)�����еăɷN늳��m������g(sh��)�M(j��n)�����ں�,�����γ�����ͬ�ĈA늈��O����ʽ,��ꎘOС�օ^(q��)�Y(ji��)��(g��u),����Φ�UʽꎘO��ܡ�ꎘO픲�늴��N�����Ҽ��g(sh��)�Ȟ鼼�g(sh��)����������늳��m��,�����܃r��ȵõ��M(j��n)һ�������,���m����늳��m����Ч�������늳��m�������죬�����^����Ј���(y��ng)��ǰ��,��
�����īI(xi��n)�����ԣ�

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”