̼���Ȼ����������xβ�V�е�ϡ��
ժҪ: ���Óu�����x��(sh��)�(y��n)����ʹβ�V�е�ϡ��Ԫ�صõ��A(y��)����,���@��ϡ��������(REO)Ʒλ��18.02%,������С��74 μmϡ�����V��ϡ��������Ʒλ��9.19%����������74 μmϡ�����V,��ϡ���������ʞ�37.26%,������̼���Ȼ����ֽ⣬����С��74 μm��ϡ�����V,���õ��Ȼ�ϡ������SiCl4��Ó����,��C��߀ԭ��,��Cl2���Ȼ�����750 ��r(sh��)�Ȼ�����(y��ng)2 h,���Ȼ��ʸ��_(d��)91.0%,��750 ���Ȼ��a(ch��n)���������X�侀����Y(ji��)��������������Ҫ������SiO2�������](m��i)����ȫ����(y��ng)�Ī�(d��)��ʯ��
�P(gu��n)�I��: β�V,��ϡ��,�����x,��̼���Ȼ���Ó����

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
�����Ҫ�˽����Ԕ��(x��)�ă�(n��i)��,��Ո(q��ng)�c(di��n)�����d DZY09092907.PDF
���dԓ����Ո(q��ng)���,�����߀���DZ��W(w��ng)��(hu��)�T��Ո(q��ng)��ע��(c��)