̼���Ȼ����������xβ�V�е�ϡ��
ժҪ: ���Óu�����x����ʹβ�V�е�ϡ��Ԫ�صõ��A(y��)����,���@��ϡ��������(REO)Ʒλ��18.02%������С��74 μmϡ�����V��ϡ��������Ʒλ��9.19%,����������74 μmϡ�����V,��ϡ���������ʞ�37.26%������̼���Ȼ����ֽ�,������С��74 μm��ϡ�����V,���õ��Ȼ�ϡ������SiCl4��Ó����,��C��߀ԭ��,��Cl2���Ȼ�����750 ��r�Ȼ�����(y��ng)2 h,���Ȼ��ʸ��_(d��)91.0%,��750 ���Ȼ��a(ch��n)���������X�侀����Y(ji��)��������������Ҫ������SiO2�������]����ȫ����(y��ng)�Ī���ʯ��
�P(gu��n)�I��: β�V,��ϡ��,�����x��̼���Ȼ�,��Ó����

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
�����Ҫ�˽����Ԕ��(x��)�ă�(n��i)��,��Ո�c�����d DZY09092907.PDF
���dԓ����Ո���,�����߀���DZ��W(w��ng)���T��Ո��ע��