̼���Ȼ����������xβ�V�е�ϡ��
ժҪ: ���Óu�����x��(sh��)�(y��n)����ʹβ�V�е�ϡ��Ԫ�صõ��A(y��)�������@��ϡ��������(REO)Ʒλ��18.02%,������С��74 μmϡ�����V��ϡ��������Ʒλ��9.19%����������74 μmϡ�����V,��ϡ���������ʞ�37.26%,������̼���Ȼ����ֽ⣬����С��74 μm��ϡ�����V,���õ��Ȼ�ϡ��,����SiCl4��Ó������C��߀ԭ��,��Cl2���Ȼ���,��750 ��r(sh��)�Ȼ�����(y��ng)2 h���Ȼ��ʸ��_(d��)91.0%,��750 ���Ȼ��a(ch��n)���������X�侀����Y(ji��)��������������Ҫ������SiO2�������]����ȫ����(y��ng)�Ī�(d��)��ʯ,��
�P(gu��n)�I��: β�V��ϡ��,�����x,��̼���Ȼ���Ó����
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
�����Ҫ�˽����Ԕ��(x��)�ă�(n��i)��,��Ո(q��ng)�c(di��n)�����d DZY09092907.PDF
���dԓ����Ո(q��ng)���,�����߀���DZ��W(w��ng)��(hu��)�T��Ո(q��ng)��ע��