�����·���I(y��)�ďU��̎��
1 ����
��ʮ���(l��i),�����·�a(ch��n)�I(y��)���҇�(gu��)�õ���Ѹ�ٵİl(f��)չ,�S���a(ch��n)�I(y��)Ҏ(gu��)ģ�ij��m(x��)�U(ku��)��,�S֮���a(ch��n)���ĸ��N��ȾҲ����������I(y��),����(gu��)�ҵȷ���ĸ߶���ҕ�������·�a(ch��n)������Ⱦ����Ҫ�����a(ch��n)�Uˮ,����ˇ�U��,��������ˮ����(d��ng)���O(sh��)�������w�U���,���@Щ��Ⱦ�����M(j��n)����Ч����,�����ṩ��ȫ�Ĺ����h(hu��n)�������o(h��)��߅�ĭh(hu��n)�����B(t��i),�����Č����c(di��n)��B���I(y��)�U��ķ��(l��i)��̎����ʽ,����(y��ng)�÷�������(sh��)����,��
2 �����·�Ĺ�ˇ�U����(l��i)
�����·�Ĺ�ˇ�U����Ҫ�֞�6���(l��i):
(1)���ԏU��:��(l��i)Դ�ڹ�ˇ������ʹ�ø��N��Һ��(du��)оƬ�M(j��n)�и��g����ϴ���^(gu��)���Լ��U(ku��)ɢ�ȹ���,��Ҫ��Ⱦ��������,���Ȼ���,��������������F��,��
(2)�A�ԏU��:��(l��i)Դ��ʹ�ð�ˮ,������Ŀ��g����,��Ҫ��Ⱦ���NH3��
(3)�ЙC(j��)�U��:��(l��i)Դ����ϴ,�����z,��ȥ�z,�����g���@Ӱ����ʹ���ЙC(j��)�܄���ϴ���^(gu��)��,��Ҫ�ɷݞ鮐����,������z���ЙC(j��)��,��
(4)���m�U��:��(l��i)Դ��CVD��ˇ�Ś�,��Ҫ��Ⱦ���ۉm(SiO2)��
(5)��ˇβ��:��(l��i)Դ�ڔU(ku��)ɢ,���x��ע���CVD�ȹ���ʹ�õ�������w,�����,�����顢����,��������(B2H6)��,�������ڹ�ˇ�з���(y��ng)������,�������β�����ʽ�ŷ�,��
(6)��o(w��)̎��U��:��(l��i)Դ�ڔU(ku��)ɢ�ȹ����еğ���ŷ�,ֱ�������⡣
3 �����·�Ĺ�ˇ�U��̎����ʽ,����(y��ng)�÷�������(sh��)��
�����·���a(ch��n)��(xi��n)һ����24С�r(sh��)�\(y��n)�е���ˮ��(xi��n),�U��̎��ϵ�y(t��ng)���O(sh��)Ӌ(j��)��(y��ng)��ȫ�ɿ�,���U��̎��ϵ�y(t��ng)������o�����ܲ���(d��ng)̫��,��t�p�t��(d��o)�¹�ˇ�O(sh��)��Ĉ�(b��o)��,�t��(d��o)��оƬ�Ĉ�(b��o)�U,ֻ������ȶ��ڙz�ޕr(sh��)���Կ��]�S��һ�����o�����O(sh��)Ӌ(j��)�r(sh��)��횿��]���L(f��ng)�C(j��)������,���L(f��ng)�C(j��)��׃�l�L(f��ng)�C(j��),�O(sh��)Ӌ(j��)��N+1��ʽ,������ij���S(FAB),���ԏU����O(sh��)Ӌ(j��)������900m3/min(�L(f��ng)�C(j��)����)*4(�_(t��i)��(sh��))=3600m3/min,���ڌ�(sh��)�H���O(sh��)Ӌ(j��)��,����O(sh��)Ӌ(j��)5�_(t��i)�L(f��ng)�C(j��),������4�_(t��i),���@��ƽ���\(y��n)�Еr(sh��),��5�_(t��i)׃�l�L(f��ng)�C(j��)ͨ�^(gu��)��������o������(j��)̎���L(f��ng)���Ԅ�(d��ng)�{(di��o)���L(f��ng)�C(j��)���l��,һ����һ�_(t��i)�L(f��ng)�C(j��)�й��ϕr(sh��),����ͨ�^(gu��)4�_(t��i)�L(f��ng)�C(j��)�����\(y��n)��,�_������o���ķ�(w��n)��������U��ϵ�y(t��ng)����������Ҳ���P(gu��n)�I,��횰�ȫ�ɿ�,�����ڵ���A�ԏU��Ĺ�����������ϩ(PVC),����A�ԏU��ijɷֱ��^��(f��)�s,�����·һЩ�¹ʱ���,PVC���ܝM(m��n)�����Ҫ��,��F(xi��n)�ڵļ����·��I(y��)�����õ���A�ԏU��Ĺ�������(n��i)�r���ķ���ϩ�IJ��P䓰�;��o(w��)̎��U��һ�������\䓰�IJ���;�ЙC(j��)�U��ͷۉm�U��һ����ò��P䓵IJ��ϡ�
3.1���ԏU��̎�����̼���(y��ng)�Ì�(sh��)��
�����·��ˇ�^(gu��)���Юa(ch��n)�������Ԛ��w,��(j��ng)�^(gu��)���Ś��������ڵ��o����,��(j��ng)�^(gu��)ϴ�������ŷſڵ��o����,��ȥ���������|(zh��)��,��(j��ng)̎���^(gu��)�Ě��w��(j��ng)�^(gu��)�Ś��L(f��ng)�C(j��)�ŷŵ������,��ϴ������ѭ�h(hu��n)��,��ѭ�h(hu��n)ˮ����Ӌ(j��)��pHӋ(j��),��ҺλӋ(j��)�ȱO(ji��n)��ϵ�y(t��ng),�Ú������c�����к͵Ļ��W(xu��)Ʒ,ͨ�^(gu��)�y(c��)��ѭ�h(hu��n)ˮ��pHֵ��(l��i)���ƚ������c��ע����_(k��i)�P(gu��n),����(j��ng)�^(gu��)�Ś�̎����̎��ˮ�����ŷ������S�ďUˮ̎��ϵ�y(t��ng)̎��,�_(d��)�����I(y��)�ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)���ŷš��D1ijFAB�����ԏU��̎�����̈D,���õĶ༉(j��)���Ϸ�ʽ,ͨ�^(gu��)ѭ�h(hu��n)�Ì�NaOH��Һ�Ӊ��������ć��������F���,������NaOH��Һ�͏U���е��������|(zh��)���кͷ���(y��ng),�Ķ��_(d��)������̎��Ŀ��,��Ҫ�r(sh��),��������NaClO�M(j��n)��ѭ�h(hu��n)ˮ����̎��,��̎���b���е����Ͽ��Է�ɢ������ˮ��,���ӽ��|��eʹ�������|(zh��)�cNaOH��ֽ��|,���ȥ��Ч��,�˷N̎���b��̎��Ч�ʸ�,����С�ұ��^��(w��n)��,�����ԏU��̎��ϵ�y(t��ng)���H2SO4��HNO3��ȷքe��20mg/Nm3,���ڝ�ȶ���1mg/Nm3;HF��HCl��ڝ�ȷքe��22.4ppm��12.3ppm,���ڝ�ȷքe��1.12ppm��0.62ppm,̎��Ч�ʿ��_(d��)95%,�������ڴ�������,�L(f��ng)�C(j��)�O(sh��)Ӌ(j��)��̎���b�ú�,�@���L(f��ng)�C(j��)���S���c���g�ԏU����^,���ױ����g,���ҿ��Դ_��̎���b���B��̎������������(d��o)��©�L(f��ng),��
![]() |
�D1ijFAB�����ԏU��̎�����̈D
3.2�A�ԏU��̎����ʽ
��ˇ�^(gu��)���Юa(ch��n)���ĉA�ԏU��̎�����̺����ԏU��������(l��i)�ơ����^(gu��)���������������к��õĻ��W(xu��)Ʒ,�������·���a(ch��n)��������(hu��)�a(ch��n)������������UҺ,һ��A�ԏU���õ����������a(ch��n)���ŷŵďU��������ԭ��,�@�ӿ��Խ��͉A�ԏU��̎���ɱ�,��
3.3�ЙC(j��)�U��̎�����̼���(y��ng)�Ì�(sh��)��
�ЙC(j��)�U����Ҫ�����շ���������,���ٟ���,�������̎�����g(sh��)�����շ��������ЙC(j��)���wˮ���Ե�����,�����Ӵ������c���^(gu��)�������������,���ЙC(j��)�U���е��ЙC(j��)���wȥ��,���˷�������������������̎���ɱ�����,�����γɶ�����Ⱦ,�����շ�δ�õ��ձ鑪(y��ng)��,������̎��������������Ĵ��x����,����Ⱦ��ֽ�ɟo(w��)�����|(zh��),������̎�����\(y��n)���M(f��i)�õ�,������ȾС,��̎��?xi��ng)l����(y��n)�����m(x��)�r(sh��)�g�L(zh��ng),ռ����e��,�ʌ�(sh��)�H��(y��ng)���^��,���ٟ��������øߜطٟ��^(gu��)�̌��ЙC(j��)�U���D(zhu��n)�Q��CO2�cH2O,����(j��)�U��ķٟ��ضȿɷ֞�750��~850��ķٟ����c350��~450���|ý�ٻ����(l��i),���|ýʽ������|ý����,�ʺ��ٲ����@�N����,�������������ø߿�϶�ʡ��߱���e��������,���U���е��ЙC(j��)���w���ӷ��x,�������ЙC(j��)�U��,���m���ڼ����·�a(ch��n)�I(y��)���ЙC(j��)�U��̎���������������ͷٟ���,��
�D2��ijFAB���ЙC(j��)�U��̎�����̈D���ЙC(j��)�U��̎��ϵ�y(t��ng)�ɸߜ��D(zhu��n)݆�b�úͻ���̿�����b�Ø�(g��u)��,���ЙC(j��)�U��ͨ�^(gu��)�A(y��)�^(gu��)�V��,��ȥ�҉m�w��,���o(h��)���ε��O(sh��)��;ͨ�^(gu��)ԭ���w������,��ȥ�߷��c(di��n)�ЙC(j��)����һ�ͪMEA,���o(h��)�ߜ��D(zhu��n)݆�b�Ã�(n��i)��������;ͨ�^(gu��)�ӟ���,�ӟ���������ЙC(j��)�U����30������,�@�ӿ�������ЙC(j��)��������;����ͨ�^(gu��)G-AC�^(gu��)�V��,�ٴ��^(gu��)�Vȥ���߷��c(di��n)�ЙC(j��)��U�����L(f��ng)�C(j��)���ЙC(j��)�U������ߜ��D(zhu��n)݆�b���M(j��n)������,���ߜ��D(zhu��n)݆�֞�ǰ�����,���b��һ��(g��)���D(zhu��n)�P(p��n),�D(zhu��n)�P(p��n)���b�м��|(zh��)����̿�^(gu��)�V��,���ЙC(j��)�U���^(gu��)�V����������������,��������D(zhu��n)�P(p��n)�D(zhu��n)����һ�҃�(n��i),ͨ��150�����ҵğ�՚��M(j��n)�н�����,����������(l��i)�ĝ�s���wͨ�^(gu��)�^(gu��)�V����������,���ӟ���,��G-AC�^(gu��)�V�����O(sh��)��,����s���w���L(f��ng)�C(j��)�����w������̿����Ͳ̎��,�������ŷ��ڴ����,������Ͳ�Ļ���̿ͨ�^(gu��)ˮ���⼰���s�՚��������Ͱ����?li��n)���?d��ng)����(l��i)��ɽ�����,���������ˮ���⽛(j��ng)������׃�ɝ�sҺ����,���������O(sh��)Ӌ(j��)���ЙC(j��)�U�⺬�����������ᶡ֬,����������,�����(l��i)��,�ЙC(j��)���w��Ȟ�65ppm,��(j��ng)�ߜ��D(zhu��n)݆�b��̎��,ƽ��ȥ���ʿ��_(d��)90%����,�ŷŵ�����е��ЙC(j��)���w���С��6.5ppm,��s���w���w�e�s��ԭ�U���1/15����,��Ȟ�ԭ�U���12~13������,����̼�����b��ƽ��ȥ���ʿ��_(d��)95%���ϡ���(sh��)�H��(sh��)��(j��)������Ǽ��鿂�N�ŷŝ�Ȟ�1.55~90mg/m3,�ŷ����ʞ�0.010~0.155kg/h,�����_(d��)������(y��ng)���ŷŘ�(bi��o)��(zh��n),���\(y��n)��̎��Ч������,��
![]() �D2ijFAB���ЙC(j��)�U��̎�����̈D |
��ʯ��s�D(zhu��n)݆�ٟ���Ҳ��Ŀǰ�������·��I(y��)���V�����õ��ЙC(j��)���w̎������,���ЙC(j��)�U���M(j��n)���ʯ�D(zhu��n)݆,�D(zhu��n)݆�ϵķ�ʯ�����ˏU���д��ЙC(j��)�ɷ�,��ʹ�U�����ЙC(j��)�ɷֵĺ�������ͽ��Ͷ��ɞ��^�Ƀ��Ŀ՚�,һ�����^�Ƀ��Ě��w�ŷ��������,����һ���ݚ��w�t�M(j��n)�������^(q��),��(j��ng)�����^(q��)��ďU��t���иߝ�ȵ��ЙC(j��)�ɷ�,�@�ӿɽ��ͺ��m(x��)̎������IJ����ɱ������÷�ʯ��s�D(zhu��n)݆�����L(f��ng)���͝�ȵďU���s��С�L(f��ng)���ߝ��,����ֱ��ʽ(ȼ?x��)��?�ٻ��ķ�ʽ,���ЙC(j��)�ɷ��D(zhu��n)����o(w��)����CO2��ˮ,���_(d��)��ȥ���ЙC(j��)���Ŀ��,����ʯ�D(zhu��n)݆��sȼ��ϵ�y(t��ng)�����c(di��n)�ǿ����M(j��n)�Є�(d��ng)�B(t��i)�����ͽ���,��������������͆�(w��n)�},�m��(d��ng)?sh��)��{(di��o)���D(zhu��n)݆���D(zhu��n)��,�����ض�,���L(f��ng)����,�ɵõ��ஔ(d��ng)���õ�Ч��,��(du��)���ЙC(j��)�ɷֵ�ȥ������90%����,��s����(sh��)���_(d��)5~20��
3.4���m�U��̎����ʽ
���m�U��ɲ��Î��^(gu��)�V�������^(gu��)�V���m����ϴ����,������ijFAB����������ϴ����,ͨ�^(gu��)pH����NaOH�ļ���,ʹ��ڵ�SiO2�ۉm��ȏ�40.0mg/Nm3̎���ɞ���ڝ�Ȟ�2.0mg/Nm3,ȥ��Ч�ʿ��_(d��)95%,��
3.5��ˇβ��̎����ʽ
�����·���a(ch��n)�^(gu��)����ʹ�õĹ��顢�����������w�����Ͼ���Σ�U(xi��n),���ж����W(xu��)Ʒ,�����a(ch��n)�b�õĹ�ˇ�Ś�����δ����(y��ng)�Ě��w,��������w�ƿ���Q�r(sh��)Ҳ�К��w�ų�,�Ұl(f��)������r(sh��),�п��ܴ����Ĺ�ˇ���w��й©���ų�,��횾ͽ��M(j��n)�а�ȫ̎����̎���ķ�����ˮϴʽ,����ʽ����ʽ,��ȼ��/�ӟ�ֽ�ʽ��������w��ȼ���C(j��)���:
SiH4+O2→SiO2+2H2O
2PH3+4O2→P2O5+3H2O
ȼ����a(ch��n)���ĸ��a(ch��n)��SiO2,��B2O3�ȿɳ���,ȼ���a(ch��n)����β��{�뺬�m�U������ԏU��,�M(j��n)��ϴ��������̎��,����1�鹤ˇβ��̎������,��
��1�鹤ˇβ��̎������
![]() |
4�Y(ji��)���Z(y��)
�����·����߿Ƽ��a(ch��n)�I(y��),��횼ӏ�(qi��ng)���(l��i)��Ⱦ��,�e�ǟo(w��)�εĹ��I(y��)�U����ŷſ���,�@��������ȵر������w����,�S�o(h��)���B(t��i)ƽ�⡣Ŀǰ��Щ�ط��h(hu��n)�����o(h��)���ѽ�(j��ng)�ƶ��ˡ��댧(d��o)�w�ИI(y��)��Ⱦ���ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)��,��ʹ�������·��I(y��)������ҕ��Ⱦ��������Ϳ���,��
�����īI(xi��n)
1.����µ�.����S���O(sh��)Ӌ(j��)�cʩ��,�Ї�(gu��)���W(xu��)���I(y��)������,2003
2.������.�]�l(f��)���ЙC(j��)�U��̎�����g(sh��)��(ji��n)��.�_(t��i)���h(hu��n)���a(ch��n)�I(y��),2003.10.20
3.�،W(xu��)�Y.�����·���a(ch��n)�ЏU�����Ⱦ������.�����c���{(di��o)���g(sh��),2006(1)19-22

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”