�߉��}�_��늵��x���w�����P(gu��n)�O(sh��)��
1. ���x���wȡ���|(zh��)�V�x ���p�lCCP����ھ��\�ࣩ
�`���ȸ�,���O��(w��n)����3���^�V�ĘO�U���}�_�x��Ӌ(j��)��(sh��)�z�y��,��7��(g��)��(sh��)�����Ą�(d��ng)�B(t��i)����,����������,�����i�b�ÿ��ṩ�^�����o(h��)���������x���^���е��x������,���|(zh��)���ֲ������������|(zh��)���ֲ�,��
![]() |
2.�����ܵ��x���w���V�y��ϵ�y(t��ng)SP2500i
�O(sh��)����ԙz�y��������t��İl(f��)����V����Ҫ����У�������500 mm���pݔ�����V�x��ɫ�x,�����K���,�����V���ñ��й���`����CCD������,����Ҋ�����t���늱����ܼ��丽�ٹ��߉��Դ���։���,���z�y���w������(y��ng)��ݔ���cݔ����·,�,������ù�늱�����ݔ�����õ��ߵķֱ���,��Ҳ������CCDݔ��,�����Եõ�������Ȳ��ҿ���˲�r(sh��)�����^���Ĺ��V�����M(j��n)��ȡ�ӣ�������̖����(d��ng)�������`��,���O(sh��)��������ڴ�≺�c�͚≺���x���w�������Ե��о�,���ɼ�����̖�Ĺ��V��Ҳ�������ھ���(x��)���V�Ĝy��,������ӵ��D(zhu��n)��(d��ng)���V,���@�������≺��������x���w�еijɷּ����������о��Լ����x���w�ضȹ��V�y�����Ƿdz�����ġ�
![]() |
3.���x���w�����\��ϵ�y(t��ng)
Plasma-master���Ԍ����N�����ʽ�ĵ��x���w�M(j��n)�Еr(sh��)�g,�����g���q�Ĺ�W(xu��)�����\��,��߀�����M(j��n)�п��g���q�İl(f��)����V��OES���������T��(d��o)�ɹ⣨LIF�����V�ͼ���ɢ����V�\��,��
![]() |
��Ҫ����(sh��)�����g���q�ʞ�0.2mm,���r(sh��)�g���q��5ns, ���V�W(xu��)���L���� 200~1100nm, ���Ⲩ�L���跶��220nm~650nm, ̽�y�`����10ppb
4.��(qi��ng)���}�_������b�ã���������ڣ�
![]() |
��һ�N�����������b�ã����ܮa(ch��n)�����}�_,��������,����(qi��ng)������������ڽ���,���댧(d��o)�w���ϱ������,�����揊(qi��ng)�����Ͻ�,����ϴ�������۸�,�����ٴ��ȡ�

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”