��̫���늳���ˮ̎��
һ�� ��̫���늳����a(ch��n)���ڸ��g��ϴ,��ȥ�貣����ʯӢ����ϴ�ȹ�ˇ�^�����ʹ��KOH,��IPA���t��,��HF��HCl,��H2SO4�Ȼ��W(xu��)ˎƷ,������(y��ng)�Įa(ch��n)����IPA��UҺ��ˮ�ͺ����UҺ��ˮ�����t��ˮ�ȡ�
��,�� ��̫���늳ص���Ҫ���a(ch��n)�������£���ϴ����ϴ����ҪĿ����ȥ����Ƭ�ϵ�����,���ƽq���辧̫���늳ص��ƽq��ˇ�Ǽ����t���HNO3��HF,��H2SO4�ď���������Һ���и���Ƭ�ϵ��������,���ڹ�Ƭ���γɜp������(g��u)��
�Uɢ���הUɢ���ڹ�Ƭ��ӓ��뼃�s�|(zh��)ԭ�ӵ��^��,��
���g,��ȥPSG������HF��Һ����Ƭ߅���M�и��g��ȥ����Ƭ߅����PN�Y(ji��),��ȥPSG�nj����g���Ƭ�ϵ��貣���Ú�������ϴ�ķ����M�����,��
���x�ӻ��W(xu��)������e(PECVD)��PECVD��ʹ�Á��ڹ�Ƭ�ϳ��e��������ϡ�
�z�W(w��ng)ӡˢ����ͨ�^�z�W(w��ng)ӡˢ�C���y�{���X�{�Ȍ�(d��o)늲���ӡˢ�ڹ�Ƭ��,��
��,���Ծ��w��̫���늳���ˮ̎���������B����“��������+��A�к�+��������̎����ˇ”,��
̫���늳���һ�N������푑�(y��ng)���܌������D(zhu��n)�Q�����������,���ܮa(ch��n)�����Ч��(y��ng)�IJ������S��N���磺�ξ���,���ྦྷ��,���Ǿ��衢�黯�,������~��,���ξ��衢�ྦྷ��̫���늳�,���y(t��ng)�Q�龧�w��̫���늳�,�������İl(f��)�ԭ��������ͬ��
���w��̫�늳ص����a(ch��n)�^�̴��¿ɷ֞��傀���E�����ἃ�^��;�������^��;����Ƭ�^��;����늳��^��;�ݷ��b�^��,��
1���港�g��������늳�֮ǰҪ���M�й�Ƭ�ı����(zh��n)��,��������Ƭ�Ļ��W(xu��)��ϴ��Ƭ�ı��港�g��ͨ�^���W(xu��)��ϴȥ�������ڹ�Ƭ�ϵĸ��N�s�|(zh��),��ͨ�^���港�g��ȥ��Ƭ������и�p��,���@���m���ƽY(ji��)Ҫ��Ĺ���档
2�ƽq���ξ�����ƽq��ˇ�ljA�ƽq,�����Ú������c(���)��Һ���ξ���Ƭ�M�и����Ը��g���Ƃ�q;�ྦྷ����ƽq��ˇ�����ƽq,��ͨ�^�����t��͚���ᣬ�����t��ď������Ԍ��и���Ƭ�ϵ��������,����(d��o)�¹�Ƭ����a(ch��n)�����θ��g��,���Ķ�ʹ��Ƭ���挦�⾀���������������ͱ��淴���ʣ��_(d��)���ڹ�Ƭ���γɜp���C��(g��u)��Ŀ��,��
3ȥ�貣��(PSG)��ȥ߅��P-N�Y(ji��)��һ���nj���Ƭ����ϡጵ�HF��,����ȥ���貣�����c��ͬ�r,��ȥ���Uɢ�^���й�Ƭ��߅�����γɵĔUɢ��,��������늳���ؓ(f��)�O��·��
����ˮ�к����y�������ƾ��Ҷ����ȸ߷����ЙC�ۺ���,��һ�����̎�����^�Lͣ���r�g���܌��ЙC��ȥ��,����ˣ��O(sh��)Ӌ���M�Ѕ����A(y��)̎����,���څ������Ľ�����ʹ�ۺ���̼朔��ѳ�С���ӵĴ��,���������x�ӵȣ�ͬ�r�ֽⲿ���ЙC��,��������ˮ�е��ЙC�ﺬ��,��
�ġ�����̎������������ʽ�������ല����(y��ng)��(UASB),������+����+ȱ��+����̎����ˇ,�� �������෨��“UASB—��������—����—ABR—���|����—�⸡—����V��—�B�m(x��)ɰ�^�V”�༉��������M��̎����ˇ��,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”