��̫���늳���ˮ̎��
һ,�� ��̫���늳����a(ch��n)���ڸ��g��ϴ,��ȥ�貣����ʯӢ����ϴ�ȹ�ˇ�^�����ʹ��KOH��IPA,���t��,��HF��HCl,��H2SO4�Ȼ��W(xu��)ˎƷ,������(y��ng)�Įa(ch��n)����IPA��UҺ��ˮ�ͺ����UҺ��ˮ�����t��ˮ��,��
��,�� ��̫���늳ص���Ҫ���a(ch��n)�������£���ϴ����ϴ����ҪĿ����ȥ����Ƭ�ϵ�����ƽq���辧̫���늳ص��ƽq��ˇ�Ǽ����t���HNO3,��HF,��H2SO4�ď�(qi��ng)��������Һ���и���Ƭ�ϵ�����������ڹ�Ƭ���γɜp������(g��u),��
�U(ku��)ɢ���הU(ku��)ɢ���ڹ�Ƭ��ӓ��뼃�s�|(zh��)ԭ�ӵ��^��,��
���g��ȥPSG������HF��Һ��(du��)��Ƭ߅���M(j��n)�и��g,��ȥ����Ƭ߅����PN�Y(ji��),��ȥPSG�nj�(du��)���g���Ƭ�ϵ��貣���Ú�������ϴ�ķ����M(j��n)�������
���x�ӻ��W(xu��)������e(PECVD)��PECVD��ʹ�Á��ڹ�Ƭ�ϳ��e���������,��
�z�W(w��ng)ӡˢ����ͨ�^�z�W(w��ng)ӡˢ�C(j��)���y�{���X�{�Ȍ�(d��o)늲���ӡˢ�ڹ�Ƭ��,��
�����Ծ��w��̫���늳���ˮ̎�����,����B����“��������+��A�к�+��������̎����ˇ”,��
̫���늳���һ�N��(du��)����푑�(y��ng)���܌������D(zhu��n)�Q��������������ܮa(ch��n)�����Ч��(y��ng)�IJ������S��N,���磺?ji��n)ξ���,���ྦྷ�衢�Ǿ���,���黯�,������~��,���ξ��衢�ྦྷ��̫���늳�,���y(t��ng)�Q�龧�w��̫���늳�,�������İl(f��)�ԭ��������ͬ��
���w��̫�늳ص����a(ch��n)�^�̴��¿ɷ֞��傀(g��)���E�����ἃ�^��;�������^��;����Ƭ�^��;����늳��^��;�ݷ��b�^��,��
1���港�g��������늳�֮ǰҪ���M(j��n)�й�Ƭ�ı����(zh��n)��,��������Ƭ�Ļ��W(xu��)��ϴ��Ƭ�ı��港�g��ͨ�^���W(xu��)��ϴȥ�������ڹ�Ƭ�ϵĸ��N�s�|(zh��),��ͨ�^���港�g��ȥ��Ƭ������и�p��,���@���m���ƽY(ji��)Ҫ��Ĺ���档
2�ƽq��?ji��n)ξ�����ƽq��ˇ�ljA�ƽq,�����Ú������c(���)��Һ��(du��)�ξ���Ƭ�M(j��n)�и����Ը��g���Ƃ�q;�ྦྷ����ƽq��ˇ�����ƽq,��ͨ�^�����t��͚���ᣬ�����t��ď�(qi��ng)�����Ԍ��и���Ƭ�ϵ��������,����(d��o)�¹�Ƭ����a(ch��n)�����θ��g��,���Ķ�ʹ��Ƭ���挦(du��)�⾀����������(qi��ng)�����ͱ��淴����,���_(d��)���ڹ�Ƭ���γɜp���C(j��)��(g��u)��Ŀ��,��
3ȥ�貣��(PSG)��ȥ߅��P-N�Y(ji��)��һ���nj���Ƭ����ϡጵ�HF�У���ȥ���貣��,���c��ͬ�r(sh��),��ȥ���U(ku��)ɢ�^���й�Ƭ��߅�����γɵĔU(ku��)ɢ�ӣ�������늳���ؓ(f��)�O��·,��
����ˮ�к����y�������ƾ��Ҷ����ȸ߷����ЙC(j��)�ۺ���,��һ�����̎�����^�Lͣ���r(sh��)�g���܌��ЙC(j��)��ȥ�������,���O(sh��)Ӌ(j��)���M(j��n)�Ѕ����A(y��)̎����,���څ������Ľ�����ʹ�ۺ���̼朔��ѳ�С���ӵĴ���������x�ӵ�,��ͬ�r(sh��)�ֽⲿ���ЙC(j��)��,��������ˮ�е��ЙC(j��)�ﺬ����
��,������̎������������ʽ�������ല����(y��ng)��(UASB),������+����+ȱ��+����̎����ˇ�� �������෨,��“UASB—��������—����—ABR—���|����—�⸡—����V��—�B�m(x��)ɰ�^�V”�༉(j��)��������M��̎����ˇ��,��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”