3���get�ɷN���VĤ���_ϴ������
�ڃ�ˮ̎���I(l��ng)����,Ŀǰ�^���õ��lj���ʽ�≺���VĤ�ͽ��](m��i)ʽ�≺���VĤ,�����](m��i)ʽĤϵ�y(t��ng)��Ĥ�M����Ĥ��ֱ�ӽ��뵽��Ҫ̎����ˮ��,���ñû�����ķ�ʽ��(sh��)�F(xi��n)ؓ(f��)����ˮ���,������ʽĤϵ�y(t��ng)��̎��ˮ��(j��ng)�^(gu��)�üӉ���,ͨ�^(gu��)��·����Ĥ�M����(n��i),�ډ����(q��)��(d��ng)���^(gu��)Ĥ��
��������ˮ̎����,���ó��VĤ̎�����g(sh��)�п������L(zh��ng)��څ��(sh��),������,�������(xi��ng)Ŀ���ý��](m��i)ʽ������,���½��(xi��ng)Ŀ�Љ���ʽ���౻����,����(gu��)�����°l(f��)չڅ��(sh��)��������ʽ���V�ѽ�(j��ng)��uȡ�����](m��i)ʽ���ɞ��ԁ�(l��i)ˮ̎����������ʽ,��
��(n��i)��ʽ���VĤ
���V,��һ�N�������x��ʽ���V��ֱ���s0.01 μm,����Ҫ�r�ػ���,����������x(ch��ng),����(x��)��,������,�����ЙC(j��)���ӣ��a(ch��n)ˮ�ǝ�����,��Ĥ�z��һ�N�п��w�S,���w�S�������S��ף���̎����ˮ�ă�(n��i)�������w�S��,���a(ch��n)ˮ���ⲿ�ռ�,�����r�ص��w���ۼ��ڃ�(n��i)�ڣ�Ȼ��ͨ�^(gu��)��ϴȥ��,����ϴʹ�ú��ȳ��Vˮ,��Ĥ�w�S�M�b���������b�ښ���(n��i),���M��Ĥ�M��,��Ĥ�w�S�Ĕ�(sh��)�����L(zh��ng)�Ⱥ̓�(n��i)��?j��ng)Q���^(gu��)�V��e,��
����Ĥ�z���ѻ��ߙz��,�����](m��i)ʽ���Vϵ�y(t��ng)��Ҫ��Ĥ�M��Ĥ�����w�������ٲ��Ҕ���Ĥ�z,����(d��o)�ºĕr(sh��)�L(zh��ng),��Ӱ푴�����Ҫ�^���˹�,������ʽ���Vϵ�y(t��ng)�H����Qij��(g��)Ĥ��,���w�eС��Ӱ�Ĥ�z��(sh��)����,����(du��)�\(y��n)��Ӱ�С,��
��(n��i)��ʽ���VĤ���_ϴ�\(y��n)�����̣�
1. ͣ��ˮ��P1(ֹͣ�^(gu��)�V,�_(k��i)ʼ���_ϴ)
2. �P(gu��n)�]�a(ch��n)ˮ�yV3
3. �P(gu��n)�]��ˮ�yV2
4. �P(gu��n)�]�M(j��n)ˮ�yV1
5. ���_(k��i)��ˮ�yV5
6. ���_(k��i)��ϴˮ�yV4
7. ����(d��ng)�_ϴˮ��P2
8. ���_(k��i)�����yV6
9. ����(d��ng)������P3
10. ����(d��ng)�������cӋ(j��)����P4(�_ϴ90��)
11. ͣ�������cӋ(j��)����P4
12. ͣ������P3
13. �P(gu��n)�]�����yV6
14. ͣ�_ϴˮ��P2
15. �P(gu��n)�]��ϴˮ�yV4
16. �P(gu��n)�]��ˮ�yV5 (���_ϴ��ɣ��_(k��i)ʼ�^(gu��)�V)
17. ���_(k��i)�M(j��n)ˮ�yV1
18. ���_(k��i)��ˮ�yV2
19 ���_(k��i)�a(ch��n)ˮ�yV3
20. ����(d��ng)��ˮ��P1
���](m��i)ʽ���VĤ
ˮ�����_ϴ��ͨ�^(gu��)����ˮ����������Ĥ���Ϸ���Ĥ�׃�(n��i)����Ⱦ����ϴ,���@������Ⱦ����yͨ�^(gu��)��ϴ��(l��i)���,���ʷ��_ϴЧ���ĺÉČ��O���Ӱ푳��VĤ�\(y��n)�е�Ч����
һ�㷴�_ϴ�ķ�ʽ��ˮϴ,����,��ˮͬ�r(sh��)ϴ����ˮϴ�ٚ�ϴ��,��ˮ����ϴ�Ǟ���ȥ��Ĥ�׃�(n��i)����Ⱦ��,����ϴ�Ǟ���ȥ��Ĥ��ӵ���Ⱦ�ʹ��M��U(ku��)ɢ,����ˮ��ͬ�r(sh��)��ϴ�r(sh��),��Ĥ��(n��i)�a(ch��n)����Һ��������������Ϯa(ch��n)�������ݶ���ɏ�(f��)�s�����\(y��n)��(d��ng)��(hu��)Ӱ푂��|(zh��)Ч��,��Ҳ��Ӱ���Ĥ�׃�(n��i)��Ⱦ���D(zhu��n)��������,����˷�ϴ�r(sh��)�x����ˮ����ϴ�ٚ�ˮͬ�r(sh��)��ϴ�ķ�ϴ��ʽЧ���^��,��
���](m��i)ʽ���VĤ���_ϴ�\(y��n)�����̣�
1. �P(gu��n)�^(gu��)�V��
2. �P(gu��n)��ˮ�y
3. �P(gu��n)�M(j��n)ˮ�y
4. �_(k��i)�M(j��n)���y
5. �_(k��i)���L(f��ng)�C(j��)
6. �_(k��i)���_ϴ�y
7. �_(k��i)����Ӌ(j��)����
8. �_(k��i)���_ϴ��
9. �P(gu��n)���L(f��ng)�C(j��)
10. �P(gu��n)�M(j��n)���y
11. �P(gu��n)���_ϴ��
12. �P(gu��n)����Ӌ(j��)����
13. �P(gu��n)���_ϴ�y
14. �_(k��i)��ˮ�y
15. �_(k��i)�M(j��n)ˮ�y�����m(x��)һ�Εr(sh��)�g���M(j��n)�����_)
16. �P(gu��n)��ˮ�y�����ſ�Һλ���P(gu��n)�y ��
17. (��ˮ���](m��i)Ĥ�M����)�_(k��i)��ˮ�y
18. �_(k��i)�^(gu��)�V��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”