�̰��h�����V�����S

�ȷ���(����)�V�����S���I(y��)���a���՚≺�s�C�Vо,��ȼ��݆�C�Vо,�������C�Vо,�����ͿՉ�վ�Vо,��������{�Vо�����m�C�Vо,�����m�C�Vо,�����m���Vо�����m���Vо,�����m�C�V,���ۉm���՞Vо���ܵ����m�Vо,��ˮ̎���^�V��,�������L�w�S�Vо����ˮ���x�Vо,����ȼ��Vо,�����p�@�Vо�����и�Ч�^�V����,���V����ϵ�У����Y��˹�R˹������˹���၆����˹���Z��Ұ������ʮ⏶��˿��ر����S�￵��˹�֠��ֵ����ɴ���F(xi��n)��С��ס��������������ȡ�

һ.�m���C������:
       Ӣ�����m.������˹.��ʢ.���հ�.����.���x.���Z.�P�_.������.����.����..����,����,���.���_.����.��߅.�r��.�ȸ��N���a�M���ݗU���s�C.
��.�M�ډ��s�C���w��Ч�^�V��о���a��ϵ��(�����Ӛ�վ�O��Vо)
       ����Hankison�¿�ϵ��.����Hankison�f��ϵ��,Ӣ��Domnick hunter��˾ϵ��.����UItrufilter��˾ϵ��,�����Hiross��˾ϵ�� .�‡�Zender��˾ϵ��.�ձ�SMC��˾ϵ��.�����BEA��˾ϵ��.���Atlas-Copco��˾ϵ��,��
��.�������m�Vо(���b)ʹ����:
     �ퟟ���a������ԭ��,�������m.
      ��ˎ���a������ԭ��.�������m.
      ��Դ,ˮ��.����.�Cе,���������a������ԭ��.���A���m.
      ����M����̖�_�����A.�_����Ȫ.�����Z��.���R��ʿ�_.�����Z��2000��.�����߸�{��,Ӣ����·�_.
���®aƷ:
(һ)�����҃����C�����^�Vо
(��)����̼�w�S�Vо
(��)ϴ܇��ѭ�h(hu��n)ˮ����ȫ�מVо
(��)��Ӿ��ѭ�h(hu��n)ˮ�����^�Vȫ�מVо
(��)�U�������O����מVо
(��)�ۿڴ����Cе�����ϴ��ˮ���x�Vо
���S�O��aƷ:����C.������.���^�V��,Һ�w�^�V��.�V�͙C�����NҺ�w���w�Ԅӷ��_(��)ϴ�^�V�b��.

����������������
���S�O��aƷ ����C,��������,�����^�V����Һ�w�^�V��,���V�͙C�����NҺ�w���w�Ԅӷ��_������ϴ�^�V�b��,��
����и��I(y��)�ṩ���N�Vо���V��,���^�V�O��,��
�塢����β�����O��,��͸ƽ�Cβ����͞Vо�N���͟�����,������ˮ����ˮ���x�������ӟ�������C,�������҃����C,�����N�Cе�O��U������^�V������ˮ���͚�,��Һ�w���^�V��,�����|�����C���Ԅӷ��_������ϴ�^�V��,��������ˮ�^�V��,�������^�V����ʳƷ����ϣ��ò��P��^�V��,������ȼ����ˮ���x��,���۽Y����
��,���������ϣ�ľ�I(y��),�����⡢����,�����Ƅ��ИI(y��)�ķۉm������,��늻𻨣����и�șC���^�V�Vо,������ʳƷ�����^�V��,�����P�΢���^�V�������N���w,��Һ�w,���ۉm�Ȝyԇ�x���������O��Vо,��
��,���՚�Vо��
���ʽ�^�Vо����Ч,����Ч,����Ч�V��,��
�V��ʽ�Vо���^�V���ȏ�0.5um��100um
�����w�S�Vо 
��Ҫ�I(y��)�գ� ��Ҫ���a����Һ���Vо���R�¿�Һ���Vо,�����m�Vо,�������^�V����������˹�ͷ֞Vо �Cе�O��  ���m�O�� ���̙Cе