�����ЏV˼�Ƽ�����˾
�V˼�Ƽ����F(tu��n)��һ�Ű����ꄓ(chu��ng)�����¼���,����һ�Ҍ��T�������ҏS�������O(sh��)Ӌ(j��),��ʩ�����y(c��)ԇ,���(y��n)�C�Լ��o(w��)�m�����P(gu��n)�x��,���O(sh��)�䡢ϵ�y(t��ng)���N��,�������ۺ����(w��)�ȵĿ��(gu��)�C���Լ��F(tu��n)��˾,����(j��ng)�^(gu��)����ʮ���(l��i)��(j��ng)�(y��n)����e�ۣ��V˼�Ƽ����F(tu��n)�ѳɞ�һ���ڝ������I(l��ng)���o늳��o��ƏV���渻�Ќ�(sh��)���ļ��F(tu��n)��˾,��һ�ž�һ��,�������F(tu��n)��˾���@��������(gu��)NEBB*�ĺ˜�(zh��n)���ɞ������ֹ���^(q��)Ψһ�ߴ��Y���CPT**�C(j��)��(g��u),��
�V˼�Ƽ����F(tu��n)֮���̼��N�ۘI(y��)��(w��)�鼰�|�ρ�,����ۡ��_(t��i)��,���Ї�(gu��)��ꑼ�ӡ�ȵȇ�(gu��)�Ҽ��^(q��),�����քe�ڷ����e���R��(l��i)����,��̩��(gu��),�����,���Ϻ����K��,������,���|ݸ�ȵ��O(sh��)�зֹ�˾���k��̎��
�V˼�Ƽ����F(tu��n)�����������o늳��o늮a(ch��n)Ʒ�����̣�һ����(gu��)SIMCO��˾�ĵ�һ������,������ߙn���o늵ذ�������һ���� ʿFORBO��˾�A�ϵ^(q��)������,��
*NEEB: national environmental balancing bureau
**CPT: clean room performance testing
l �I(y��)��(w��)����
² ���o늳��o늃x�����x��,���O(sh��)��,��ϵ�y(t��ng)
���������o늮a(ch��n)Ʒ����������(gu��)SIMCO��˾��һ������.
������
-: ���o��x���L(f��ng)�C(j��)
-: ���o��x���L(f��ng)��
-: ���o��x���L(f��ng)��
-: ���o��x���L(f��ng)��
-: ��������ʜy(c��)ԇ�x
-: ���w�o늉��y(c��)ԇ�x
-: �o늈�(ch��ng)늉��y(c��)ԇ�x,�ȵ�
² �o(w��)�m��,ˎ�S,�댧(d��o)�w�ИI(y��)���P(gu��n)�x���O(sh��)��ϵ�y(t��ng)
������
1),,A.T.I_����(gu��)ATI��Ч�^(gu��)�V���z©�x�O(sh��)��
2),Clean Fogger����(gu��)Applied Physics Inc ��˾�o(w��)�m�Ҍ��ß��F����
3),ADM_ ����shortridge Instruments Inc. �՚��f(w��n)�ñ� 850C-860C-870C-880C
4),PMS ����(gu��)particle measuring syytemINC. �՚�����Ӌ(j��)��(sh��)ٮ
² ���w & ��Ⱦ���P(gu��n)�z�y(c��)�x��
1),A.I.I Advanced Instuments Inc.���Ԛ��w�����������x
2),Tiger Opticd_Meeco ���Ԛ��w��ˮ�������x
3),Nupure ���Ԛ��w���黯�x & ������
² �h(hu��n)�� & �h(hu��n)�����P(gu��n)�x���O(sh��)��ϵ�y(t��ng)
1),-: �L(f��ng)�ٶȜضȝ�Ȝy(c��)ԇ�x ����(gu��)degreeC
2),����ָ��(sh��)�y(c��)���x ����(gu��)SDI ��ɫ��
3),: ����(gu��)��ʿ�D DFĤ duraflow
4),�w�������x