KRI ���������l�x��Դ RFICP220 �R����e�Ƃ�̼��Ĥ
��Դ�����|��I(y��)(�Ϻ�)����˾ ��x��8730 ���r�g��2021-01-20 16:17����ij�о�Ժ���ò��| KRI ���������l�x��Դ RFCIP220 �R����e�Ƃ�̼��Ĥ, ͬ�r���Ҝغ͟o�����r�ėl����, ̽���x���������ͳ��e�r�g��̼�{�ױ�Ĥ��Ĥ��Ӱ�.
���| KRI ���l�x��Դ RFICP220 ���g����(sh��):
|
�x��Դ��̖ |
RFICP220 |
|
Discharge |
RFICP ���l |
|
�x������ |
>800 mA |
|
�x�ӄ��� |
100-1200 V |
|
�ŘOֱ�� |
20 cm Φ |
|
�x���� |
�۽�, ƽ��, ɢ�� |
|
���� |
10-40 sccm |
|
ͨ�� |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, ���� |
|
���͉��� |
< 0.5m Torr |
|
�L�� |
30 cm |
|
ֱ�� |
41 cm |
|
��� |
LFN 2000 |
* ���x: ���z�к���; ��׃�L�ȵ�����
.jpg)
ԓ�R����e���ښ≺�� 1.33×10-4Pa ���r�לضȞ��Ҝؗl����,���� KRI ���������l�x��Դ RFCIP220 �R��ʯī, �ڟo���ӵĹ�(Si)�r���ϼӹ�̼�{�ױ�Ĥ.
ͨ�^�������V��̼�{�ױ�Ĥ�������|�ĽM���M���˷���; ���Ò�����R(SEM)��ԭ�����@�R(AFM)���@ʾ��Ĥ�ı���Y��; ���Y���@ʾ, ݗ�Օr�g�� ID/IG �ı�ֵ�Լ�̼�����Ĵ�С�����@����Ӱ�, ���Ҹ��x���������܉���M̼�����ĽY��. ͬ�r, �ڸ��������x�����³��e̼�{�ױ�Ĥ, �� Si ����l(f��)�F(xi��n)������D����̼�{�Y��: ѩ����, ���K��Ľ��Ǡ�.
KRI �x��Դ�Ī��ع��܌��F(xi��n)�˸��õ�����, �����Ŀɿ��Ժ��·f�IJ��Ϲ�ˇ. KRI �x��Դ�ѽ�(j��ng)�@��������ı�Ĥ�ͱ�������, ���@Щ�����ڲ�ʹ�� KRI �x��Դ���g����r���ǟo�����F(xi��n)��.
���,��ԓ�о��Ŀ�Ų��� KRI ���������l�x��Դ RFCIP220 �o���R����e��ˇ.
���|�ǵ� Pfeiffer ��ձ�, �z©�x, �|�V�x, ���Ӌ, ���� KRI �������x��Դ, ����HVA ����y�T, ���� inTEST �ߵ͜؛_���yԇ�C, ���� Ambrell �Б��ӟ��O�����ձ� NS �x���g�̙C���M��֪��Ʒ�Ƶ�ָ��������.
������Ҫ�Mһ�����˽�Ԕ����Ϣ��ӑՓ, Ո��������(li��n)�j��ʽ:
�Ϻ����|: �_���� �_�����|: ��Ůʿ
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
[email protected] [email protected]
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
���|�������, �����ؾ�!
