FFU�ǿ��ԆΪ���ģ�K�����bʹ�õČ������^�V���L(f��ng)��Ԫ,����FFU����Ŀ����������������_���������a(ch��n)��,��������,�����¹�,�������䡢�b��ʽ�����ҵȸ��NҪ��ĝ������g�;ֲ������O(sh��)��,��

�����f��

1,����(n��i)�ø�Ч�՚��^�V���͵�������(ji��)���L(f��ng)�C(j��)

2�����͸߶ȵ�,������Ч�ع�(ji��)ʡ���g(sh��)�A�Ӹ߶ȿ��g

3,�������p,�����Ը���(j��)���N�컨���O(sh��)Ӌ�ߴ��׃��FFU�ĽY(ji��)��(g��u)�ߴ�

4����(n��i)�ÔU(ku��)ɢ��,��������L(f��ng)���L(f��ng)��

5,�����������͹���

6,��ģ�K���O(sh��)Ӌ,��ƴ�b���ף���ͨ�^�������ϵ�y(t��ng)���F(xi��n)��Ⱥ����

���x����

1,��ULPA����Ч�^�V����99.9995%@0.1΢�ף�

2,��ȫ���P䓻��X���⚤

3���������O(sh��)Ӌ

4,�������ǘ�(bi��o)���ͳߴ����Ҫ��