���I(y��)�Ŀ��ٰl(f��)չʹˮ�h(hu��n)���ܵ�����Ⱦ�����(y��n)��,���ɴ���ɵ�ˮ�YԴ��ȱ�������(l��i)���R�ć�(y��n)�؆�(w��n)�},����ˮ����80%�ǹ��I(y��)�Uˮ,�������I(y��)�Uˮ�е���Ҫ�����ǹ��I(y��)��sˮ,�����I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮϵ�y(t��ng)�еĽY(ji��)��,�����g��΢���ﷱֳ���໥�P(gu��n)“(li��n)��,�����ǟo(w��)̎���ڵľC���Ԇ�(w��n)�},���۹���΢����ճ������������ٸ��g,�������g���ѭ�h(hu��n)��sϵ�y(t��ng)���γ��۹�,�������Ⱦ����Đ���ѭ�h(hu��n),�����g���΢�������a(ch��n)����������߀�����˹��I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮ����sЧ��,�������sϵ�y(t��ng)�еăx������·������ʹ�É����Ľ����Լ����ƾ��ȵĽ���,��Ҫ��Qѭ�h(hu��n)��sˮϵ�y(t��ng)�е��@һϵ�еĆ�(w��n)�},��Ĥ���x�^(gu��)�V���g(sh��)��Ŀǰ��ֹ�˂����յ��(ji��)�ܵķ��x�^(gu��)�V���g(sh��)�����ں�ˮ����,�����z�����Һ�ķ��x�͝�s,�����I(y��)�Uˮ���ؽ����x�ӵ�ȥ�������ˮ�ă���,�������|(zh��)��ø�ķ��x�ȷ��摪(y��ng)��,�������F(xi��n)���c���y(t��ng)���x�^(gu��)�V���g(sh��)��ͬ�ă�(y��u)��(sh��)��

һ,��Ĥ�^(gu��)�V��ʽ���VĤ�N�(l��i)

        Ĥ�^(gu��)�V���^(gu��)�V��ʽ����������ؓ(f��)���^(gu��)�V,��Ĥ�^(gu��)�V��ʹ�܄����^С�w������ӵ����|(zh��)��ͨ�^(gu��)һ���׏��ĞVĤ,����w�,���������|(zh��)�t����͸�^(gu��),�Ķ�ʹ���w�,���߷������|(zh��)Óˮ��Ó�}�͝�s,ʹ��(x��)��,�������x(ch��ng),����sϵ�y(t��ng)�еĸ��g������������_(d��)������������,�����������Ŀ��,�������x���|(zh��)�Ĵ�С,��Ĥ�^(gu��)�V���g(sh��)�֞�΢�V(MF)�����V(UF),�����B͸(RO)�ͼ{�V(NF)��,�ڹ��I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮϵ�y(t��ng)��,����x������΢�V(MF)���x,���׏��x��0.05—2.0΢��(μm)����,��ij�N�̶����v,���I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮ����;��Ŀ������sЧ����ϵ�y(t��ng)��ʹ�É����Լ����P(gu��n)�x���Ŀ��ƾ���,������Ҫ��sˮ�_(d��)������ˮ��(bi��o)��(zh��n),����,�^(gu��)�V��̎��Ч�ʼ�̎���ɱ��DZ�횿��]�ľC��ָ��(bi��o)��Ĥ�^(gu��)�V�����ɸ߷��Ӳ����Ƴ�,���w�S����,�������w�S��,��������������ϩ��������,���۱�ϩ��,���۱�ϩ,������ϩ��������ϩ,����ϩ��/����ϩ�����w,����̼���������ķ���ϩ,����ƫ����ϩ��,���VĤ�Ŀ׏���λ��΢��(μm)��ʾ,�׏�Ҏ(gu��)����Ҫ����0.025μm��5.0μm�������ȡ��VĤ�ĽM����ʽ��Ҫ��:ƽĤ,��ߡĤ,����Ĥ����ʽ���п��w�S,��������;�ɞ��Hˮ�Ժ���ˮ��,���Hˮ�Ե�,������w�S��Ĥ(CAM),�m����ˮ��Һ�е�΢���ͼ�(x��)���^(gu��)�V�������Ӿ�ȣ���ˮ�Ե�,����ķ���ϩĤ(PTFE),�m�����ЙC(j��)�܄�,����͉A���^(gu��)�V,����I(y��)�ڴ_���^(gu��)�VĤ�IJ��|(zh��)���^(gu��)�V��ʽ�r(sh��),Ҫ����(j��)��sѭ�h(hu��n)ˮ��ˮ�|(zh��)���Զ���,����ȡ�༉(j��)�^(gu��)�V,Ĥ�Ŀ׏��ɴ�С,�^(gu��)�V��e��С��������,���ڃɂ�(g��)�^(gu��)�V��(j��)֮�g��ȡ�ӿں������ų��ں�����_ϴ�b��,�����_(d��)��ϵ�y(t��ng)����������B(t��i)�µ������ŷš����Зl������r��,�O(sh��)��С�h(hu��n)����ϵ�y(t��ng)���]Ĥ�ă�ˮ�����_ϴϵ�y(t��ng),�������^�̕r(sh��)�g��(n��i)�_(d��)������^(gu��)�VЧ�ʵ�Ŀ��,��

��,��Ĥ�^(gu��)�V�ڹ��I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮ�еİl(f��)չڅ��(sh��)

        ���I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮ,����(�U)ˮ̎����΢�V��(y��ng)�õ�һ���Ј�(ch��ng),�S�����＼�g(sh��)�İl(f��)չ�Լ����＼�g(sh��)�cĤ���x�^(gu��)�V���g(sh��)��“(li��n)��,Ĥ�^(gu��)�V��΢�V���g(sh��)���@һ��(y��ng)���I(l��ng)����Ј�(ch��ng)ҲԽ��(l��i)Խ��,�����I(y��)ѭ�h(hu��n)��sˮ�^(gu��)�V���о������ǣ�(1)���r(ji��)�ԡ�ͨ�õ�Ĥ�M���,��F(xi��n)�е�Ĥ�M���ăr(ji��)��ƫ��,������Ĥ���g(sh��)��ѭ�h(hu��n)��sˮ����(�U)ˮ̎���I(l��ng)����ƏV��(y��ng)��,���޴�ĝ����Ј�(ch��ng)��Ҫ�е̓r(ji��)���Ĥ�M��,��(2)����Ⱦ������ϴ,���L(zh��ng)����Ĥ,����Ⱦ��΢�V�^(gu��)�VĤ��(y��ng)�������R����Ҫ��(w��n)�}��,ؽ����Q������Ⱦ��Ŀ��������͸߷��x�^(gu��)�VЧ�ʡ�Ͷ�Y��,��ʹ�óɱ���,����(y��ng)�ÏV�����l(f��)չ�����c(di��n)���о��m��(y��ng)�ڭh(hu��n)���ИI(y��)�ߏ�(qi��ng)��,���L(zh��ng)����,������Ⱦ����ͨ����Ĥ����,ʹĤ�^(gu��)�V���ϵĵȼ�(j��)����;���Ӽ�(x��)���͌�(zhu��n)�û�,���������Ƒ�(y��ng)���в�ͬ��Ĥ�^(gu��)�V���g(sh��)�ĽM�ϑ�(y��ng)��,�@�ӿ��԰l(f��)�]���Ե����c(di��n),ȡ�ø���ļ��g(sh��)�ͽ�(j��ng)��(j��)Ч��,��ͬ�r(sh��)̽ӑĤ�^(gu��)�V���g(sh��)�c��Ҏ(gu��)��ˮ̎�����g(sh��)“(li��n)��ʹ��,��߼�ˮ�Ƃ��Ќ�Ĥ�^(gu��)�V���g(sh��)�c�x�ӽ��Q����Ҏ(gu��)�^(gu��)�V���g(sh��)��Y(ji��)��,��ְl(f��)�]�������Եă�(y��u)��(sh��),ʹ̎��Ч���M(j��n)һ�����,�Ķ�ʹˮ̎���ɱ��M(j��n)һ���½�,�_(d��)�����a(ch��n)�ɱ���(j��ng)��(j��)���������\(y��n)��Ҏ(gu��)��,��

�Y(ji��)Փ��

        ˮ�YԴ�ć�(y��n)�����M(f��i)�ͭh(hu��n)����Ⱦ��(w��n)�}�ǭh(hu��n)�����o(h��)����I(y��)���m(x��)�l(f��)չؽ����Q��һ�(xi��ng)��Ҫ�n�},���P(gu��n)ϵ�����(l��i)�������c��I(y��)�Ŀɳ��m(x��)�l(f��)չ,����Qˮ�YԴ�ͭh(hu��n)����Ⱦ��(w��n)�},����Ҫ�Ї�(y��n)��ķ����wϵ��Ҏ(gu��)�����Ĺ����wϵ�͙C(j��)��,����һ��(g��)��Ҫ���ؾ���Ҫ�м��g(sh��)���M(j��n)����(j��ng)��(j��)������ˮ̎�����g(sh��)������,��
 

���P(gu��n)����