Ĥ���s���g(sh��)�İl(f��)չ����
Ĥ���s���g(sh��)���о�ʼ��20���o(j��)60���������,��1963��������Sodell�������䌣����Ո�Ќ�Ĥ���s�ij����ɹ��M(j��n)���˽�B,��1967��1969�꣬F(xi��n)indley������,��Hendergcky�ښW��ͬ�r(sh��)�M(j��n)����ԇ�(y��n),��Findley�Lԇ�˶�NĤ���ϣ�Ȼ��Ĥͨ���s�dz�С,�������A(y��)��ֻҪ�ҵ����m��Ĥ����,���@�N���g(sh��)�Ǻ���ǰ;�ġ��M(j��n)��90����Ժ�Ĥ���s���о���u����,��������(sh��)߀��̎�ڌ�(sh��)�(y��n)�о��A��,��P. A Hogan�cSudjito���ڰĴ���������̫������������Դ�M(j��n)����ֱ�ӽ��|Ĥ���s����(sh��)�(y��n)�C��̫���Ĥ���s�ڼ��g(sh��)���ǿ��е�,�������M(j��n)�Ќ�(sh��)�H��(y��ng)��,���C(j��)���о����棬1995����_˹��Agashichcv��Sivakov�����|(zh��)���͟���ƽ�ⷽ��,�����]�ضȺ͝�ȘO�����ֱ�ӽ��|ʽĤ���s�Ĕ�(sh��)�W(xu��)ģ��,���������^�ڏ�(f��)�s���]�б��V�����ܡ�1998��,��Gryta�ȿ��]�ڜضȘO��Ӱ푵���r��ë��(x��)�ܠ���Ĥ�M���������}�M(j��n)�����о�,�����ó���һЩ��Փ����(j��)��
�҇���Ĥ���s���g(sh��)���о�ʼ��20���o(j��)80���,��1988��,����ӹ�ҾC����Ĥ���s�������P(gu��n)��Ĥ�^�̡��]�l(f��)�����|(zh��)ˮ��Һ��Ĥ���s,����Ĥ���^���l(f��)�����l(f��)���յ�Ĥ�^�̵İl(f��)չ,���C(j��)���͑�(y��ng)�õ���r��1991�������µ�ʹ�ñ��������о����ṩ�Ŀ�0.3μm,��Ĥ��80μm�ľ��ķ���ϩ��Ĥ��������ˮ��Һ�M(j��n)�����s��s,���Y(ji��)���l(f��)�F(xi��n)�@һ�����ǿ��еģ����ó��Y(ji��)Փ��Ĥ���s�����ڟ��������|(zh��)ˮ��Һ�ĝ�s,�����ܺܺõذl(f��)�]ԓ�^�̵͜؝�s�ă�(y��u)��,���C(j��)���о����棬1999�꣬��{�����M(j��n)����Ĥ���s���|(zh��)�ď�(qi��ng)���о�,������˂��|(zh��)ͨ�����ӵĸ���,��
20���o(j��)80������_ʼ���P(gu��n)�ښ�϶ʽĤ���s���о���(b��o)����������Փ�͌�(sh��)�(y��n)�о����^��,���M���cֱ�ӽ��|ʽĤ���s���,����϶ʽĤ���sͨ���ͣ����������Ч�������߶����ܺ���,����sˮ�c���Y(ji��)ˮ���_,�������������������ȡ����ˮ�ͺ��]�l(f��)�����|(zh��)�r(sh��),������ֱ�ӽ��|ʽĤ���s�o���ȔM�ă�(y��u)��,����˚�϶ʽĤ���sԽ��Խ�ܵ��˂�����A��1989��,��Gostod����PTFEĤ,�����Ҵ�ˮ��Һ�錍(sh��)�(y��n)��ϵ�������ד]�l(f��)���|(zh��)ˮ��Һ�Ŀ՚�϶Ĥ���s�����о�,������÷��x���ӵĸ������ʾ�]�l(f��)�����|(zh��)���ἃ�̶�,������̽���˓]�l(f��)�����|(zh��)ˮ��ҺĤ���s��Ҏ(gu��)�ɡ�2000��,��鐽���Ȍ���϶ʽĤ���s���f�^���M(j��n)���о�,�������y��Ĥ�ɂ�(c��)���w�Ĝضȡ���������Һ��Ȍ�Ĥͨ����Ӱ�,��������Փ�������˂���,�����|(zh��)�^�̣������˿����A(y��)�yĤ���sͨ���Ĕ�(sh��)�W(xu��)ģ��,����(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���cģ���A(y��)�y�Ǻ��^��,��2002�꣬���҂��Ȳ���ģ�MӋ(j��)��͌�(sh��)�(y��n)�ķ�����ֱ�ӽ��|ʽĤ���s��DCMD���͚�϶ʽĤ���s��AGMD���^���M(j��n)���˱��^�о�,��ģ�MӋ(j��)�㼰��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)��������AGMD�еĚ�϶��(g��u)�����^�̵���Ҫ����,��ʹ�ÿ�Ĥ�ز��h(yu��n)С��Ĥ�ɂ�(c��)���w���w�ز�,����AGMD���S��϶��ȵ�����Ĥͨ�����½��ģ��S��϶��ȵ�����,���½��ٶ������p��,�������AGMD��Ĥͨ�����p�ٚ�϶�������Ч�ֶ�֮һ,��
Ĥ���s���g(sh��)��Ҫ�ķ�չ������Ҫ�����ׂ����棺
(1)���Ʒ��x���ܺ�,���r(ji��)�������Ĥ��Ŀǰ֮����Ĥ���s�c�������x���g(sh��)����^����������(qi��ng)��һ������Ҫ��ԭ��������Ĥ���s��Ĥ�ɱ��^��,��������Ҫ���Ƴ��������÷��x���ܶ��҃r(ji��)�������Ĥ���m��(y��ng)Ĥ���s�İl(f��)չ,��
(2)���ƙC(j��)��ģ�͡��C(j��)��ģ�����M(j��n)���^�̃�(y��u)�����O(sh��)Ӌ(j��)Ӌ(j��)�����Փָ��(d��o),���mȻ�S���о����ѽ�(j��ng)�IJ�ͬ�ǶȌ�Ĥ���s�ęC(j��)���M(j��n)�����о�,�����Դ���������ȱ�ݣ��б�Ҫ�����M(j��n)һ������,��
(3)��ߟ���������,��Ĥ���s�Ǿ�����׃�ġ���Ҫ���ğ������^��,������������������һ����Ҫ���g(sh��)��(j��ng)��(j��)ָ��(bi��o),��Ĥ���s�в��ɱ���ش�����������(d��o)��ɵğ����pʧ����Μp���@���֟����pʧ,����ֵ���о�����Ҫ�n�},��
(4)�l(f��)�]�����͜�Óˮ�ă�(y��u)�ݣ��_չ��(y��ng)���о�,���о��������c(di��n)��(y��ng)���ǟ��������|(zh��)ˮ��Һ�ĝ�s,�����⣬Ĥ���s�^�̺��κ��O(sh��)�似�g(sh��)Ҫ�ߵ����c(di��n),�����m����СҎ(gu��)ģ���}ˮ����,���@��ƫ�h(yu��n)�^(q��)��Ұ�����I(y��)�ˆT��Q���ˮ���}������Ҫ���x��
(5)�������^�̵ĽY(ji��)��,��Ĥ���s���c�������x�^����Y(ji��)��,������߷��xЧ���練��(y��ng)�c���s�ļ��ɡ��B���l(f��)�cĤ���s�ĽY(ji��)��,��
(6)�ӏ�(qi��ng)���p��Ĥ���s���о�,�����ķNĤ���s��ʽ�У��p��Ĥ���s��ͨ�������^��,�����Ҳ����^����Ĥ���דp��,������(c��)������Ҳ�^�������NС��
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
