�u���o(w��)����ձü��g(sh��)�F(xi��n)���c�l(f��)չڅ��(sh��)
�u���ĸ����ஔ(d��ng)���h(yu��n),��20���o(j��)�������Ͼ��ѽ�(j��ng)���˜u�����g(sh��)�Č���,�������ڮ�(d��ng)�r(sh��)���g(sh��)ˮƽ�����ƣ��u���C(j��)��(g��u)���첻����(l��i),���u���ĸ���Ҳ�ͱ�������,��1973��u���C(j��)��(g��u)�����������������һ�_(t��i)ģ�͙C(j��)��(g��u)��ʹ�@�(xi��ng)���g(sh��)��(sh��)�H��(y��ng)�óɞ����,���u���C(j��)��(g��u)�Ŀɿ��Ը�,���\(y��n)��ƽ��(w��n)�������O��,����(ji��)ʡ��Դ�ȝ����;�(y��u)��(sh��)�R�������˱����ИI(y��)����ҕ����������,�������ИI(y��)�I(l��ng)������A��Ѹ�ٱ�Ͷ�빤�I(y��)����(y��ng)��,��Trance,��Hitachi��Copland��������˾�Ĝu�����s�C(j��)���g(sh��)�c�a(ch��n)Ʒ���I(l��ng)������u�����g(sh��)��(sh��)�û����˳�,������(d��ng)�������,�����{(di��o)���T���ИI(y��)�ļ��g(sh��)�M(j��n)���ͮa(ch��n)Ʒ�ĸ���?li��n)Q����
����u�����g(sh��)�ѽ�(j��ng)�ɳ��ڵđ�(y��ng)���ډ��s�C(j��)�ИI(y��)�ƏV����ձ�����I(y��),����(sh��)�F(xi��n)��ȫ�o(w��)��,���\(y��n)�и�ƽ��(w��n)����������,�����ӹ�(ji��)ʡ��Դ�Ĝu���坍��ի@�ü��g(sh��)�Č�(sh��)�û�,���˂���(y��ng)�Üu�������cԭ��������ˌ�(du��)��Ց�(y��ng)�Ãx���O(sh��)��ͭh(hu��n)���](m��i)����Ⱦ�����ҳ���,������,���ܺĵ�ָ��(bi��o)����(y��u)����ͨ�ͱõĆμ�(j��),���p��(j��)�u���o(w��)����ձ�ϵ�Юa(ch��n)Ʒ��
�ς�(g��)���o(j��)90�����,�����������_(t��i)�u����ձ������Ј�(ch��ng),���u�����g(sh��)�ɴ��_ʼ����һ�N������ի@�ü��g(sh��)�����緶����(n��i)���ƏV��(y��ng)�á���Ŀǰ��ֹ,�������Ϝu����ձõ����a(ch��n)�S�Ҽ���������(gu��),���ձ��͚W�ޣ����ձ���Anest1wata,������(gu��)��Varian,����(gu��)��Bush�Ȟ�������a(ch��n)Ʒ��������0.25L/S-1OL/Sϵ�Юa(ch��n)Ʒ,����Щ15L/S����������Įa(ch��n)ƷҲ��ԇ�(y��n)�A��,��
1���u���o(w��)����ձ�(0-Ifreescrollvacuumpump)�����c(di��n)�c��(y��ng)���I(l��ng)��
�坍����խh(hu��n)��һֱ�ǿƌW(xu��)�Һ���I(y��)�����������խh(hu��n)��,�����܉�(chu��ng)����խh(hu��n)���_ʼ,���˂���ԇ�D���ò�ͬ�ֶ��_(d��)���坍��յ�Ч�����r(sh��)������,���坍��ի@���O(sh��)���ѽ�(j��ng)�l(f��)չ��������,����ِ�á�צʽ��,���u�����Լ���Ĥ�õȶ�N�a(ch��n)Ʒ,���ڬF(xi��n)�еğo(w��)����ձî�(d��ng)�У��u���o(w��)����ձ��c�����Nğo(w��)����ձ���Ⱦ����\(y��n)��ƽ��(w��n),��������,����(ji��)ʡ��Դ�������p,���w�eС�����c(di��n)���ѽ�(j��ng)���V����(y��ng)�õ������ƌW(xu��)�о��c���a(ch��n)�I(l��ng)�ٰ댧(d��o)�w�ИI(y��)——��Ĥ�Ƃ��O(sh��)��,���댧(d��o)�w�������b�O(sh��)�䣻�����ұ���ИI(y��)——��ՠt,���{�ײ����Ƃ��O(sh��)��,����ՙz�y(c��)�O(sh��)�䣻�ۿƌW(xu��)�x���ИI(y��)——ͬ��ݗ�������,������@�R,�������y(c��)ԇ�x�������t(y��)���O(sh��)��——���ƃx��,�����C(j��),����������Ʒ�ИI(y��)——�����ἃ��ˎƷ�Ƃ�,���ް��b�ИI(y��)——ʳƷ,��ˎƷ,��������Ʒ�Ȱ��b�O(sh��)�䡣
2,���u���o(w��)����ձù���ԭ��,�����g(sh��)ָ��(bi��o)�Լ��c��ͨ�ͱõČ�(du��)��
�u���o(w��)����ձõĜu���P����һ��(g��)һ���cһ��(g��)ƽ����ӵ�һ��(g��)��ׂ�(g��)�u�_�������γ�һ��(g��)�u���ͱP��Y(ji��)��(g��u)��һ��(g��)�o�u���P�cһ��(g��)��(d��ng)�u���P�M�ɵ�һ��(du��)�u���P����(g��u)���˜u���o(w��)����յĻ������C(j��)��(g��u),���������p��(j��)�u���o(w��)����ձ���,���Ѓɂ�(g��)����?q��)��?y��ng)�Ĺ̶��u���P��һ��(g��)λ�ڃɂ�(g��)�u���P֮�g���D(zhu��n)��(d��ng)�u���P,����(d��ng),���o�u���P����(du��)�\(y��n)��(d��ng)�γ��ݷe����׃�������������ǻʹ���w�ij������롢�Ś���ų�,������Ś�ѭ�h(hu��n),��
3,���u���o(w��)����ձõă�(y��u)�c(di��n)�����ܽo�Ñ���Q�Ć�(w��n)�}
3.1�u���o(w��)����ձ����܃�(y��u)Խ
�u����ձõ���Ҫ��(y��u)�c(di��n)���g϶��,��й©�٣������^�ߵĉ��s��,�����^����ª��������(n��i)�з�(w��n)���ij���,���������������������ډ��sǻ�ݷe��׃�����B�m(x��)��,������(q��)��(d��ng)Ť��׃��С,������׃��С�����(d��ng)����,���ɿ��Ը�,���@��������͵ĸ�ʽ��ձ������߂�ġ�
3.2�u���o(w��)����ձý�Q����Ⱦ�c���(d��ng)�Ȼ��A(ch��),�����Ԇ�(w��n)�}
������ͨ��Ƭ�ͱõ�©��,������������Ⱦ,�����ܺ��Լ����(d��ng)�Ȇ�(w��n)�}�o�Ñ���ɲ���Ӱ�,����������Ʒ�ИI(y��)�c�댧(d��o)�w�ИI(y��)����������Ⱦ�c��ˇϵ�y(t��ng)�����y�}������Ĥ�O(sh��)����Ĥ��ˇ��,����20~40Pa��l�����Ĥ�r(sh��),�������(y��ng)����ͨ��Ƭ�C(j��)е��ձ�����ǰ��(j��)��ձÌ���(du��)�Ĥ��ˇ�O(sh��)�������Ⱦ��Ӱ푳�Ĥ��,���댧(d��o)�w��Ƭ���칤ˇ��(d��ng)��ʹ���ͱ��cʹ�øɱ����,����Ʒ�ʴ���509l��^�ԵIJ�࣬�����ų������F������(du��)�h(hu��n)��Ҳ����Ⱦ,�,��ƌW(xu��)�x���ИI(y��)�������ڷ���ԇ�x���ИI(y��),�������ͱÌ�(du��)�y(c��)ԇ�Y(ji��)������ɲ���Ӱ푡�����ͬ��ݗ��������ϲɺ��Üu���o(w��)����ձ�����ǰ��(j��)��ձõ�����Ҳ�ஔ(d��ng)���@,������u���o(w��)����ձ����Ƴ�����ͨ�ͱõ�©�ͽo�Ñ�(l��i)�ĭh(hu��n)����Ⱦ�c����,��
3.3�u���o(w��)����ձ�ʹϵ�y(t��ng)�����c�\(y��n)�гɱ�����
���ֹ��ͨ��Ƭ����ձÌ�(du��)���ϵ�y(t��ng)�ķ�����Ⱦ����Ҫ�ڳ��ϵ�y(t��ng)�м����岶�@�ͷ���,��ϵ�y(t��ng)�\(y��n)���^(gu��)�̮�(d��ng)��߀��Ҫ������ϴ����,���е���Ҫ���ڸ��Q��ձ��͡����Üu���o(w��)����ձõ�һ����Ҫ������֮��͙C(j��)��(g��u),���ڶ�����Ҫ�Q��ձ���,���������(d��ng)��С���\(y��n)�и�ƽ��(w��n),�������ܺĽ���,�������������p������ͻ�����ͱ�ʹ�÷���������,��������(y��u)�c(di��n)ʹ�u���o(w��)����ձóɞ���ͨ��Ƭ����ձõĸ���?li��n)Q���a(ch��n)Ʒ,��
4���Y(ji��)���Z(y��)
��(gu��)��(n��i)�댧(d��o)�w,����ӹ��I(y��)����������칤ˇ��(d��ng)�кͿƌW(xu��)�о��c�����y(c��)ԇ�ИI(y��)������Ҫ�o(w��)����Ⱦ���坍��խh(hu��n)��,�������坍��ի@���O(sh��)���������á������,��צʽ��,���u�����Լ���Ĥ�õ�Ŀǰ���](m��i)���γɿɿ����M(j��n)��������(gu��)�a(ch��n)�a(ch��n)Ʒ���M(j��n)�ڜu���o(w��)����ձ�����һ�N���Ї�(gu��)��ʽͶ���Ј�(ch��ng)�����^(gu��)3����®a(ch��n)Ʒ,�����ڱ���ǰ���ăr(ji��)��,���Ј�(ch��ng)���_�غ��Ñ����J(r��n)�R(sh��)�̶ȵ�ԭ�](m��i)���γ�����ѭ�h(hu��n),���@��,��һ���������е��Ј�(ch��ng)������һ����ăr(ji��)���c���g(sh��)�p���濴�](m��i)�к��m�a(ch��n)Ʒ,������˘O����Ј�(ch��ng)ȱ��,��
���o(w��)�Ɇ�(w��n)�r(ji��)���m�С����ܿɿ��Ĝu���o(w��)����ձÌ��ɞ��m���Ї�(gu��)�Ј�(ch��ng)Ҫ��a(ch��n)Ʒ������,�������l(f��)չ�o(w��)���o(w��)����ձÄ�(sh��)�ڱ���,�����Ʒ����Ї�(gu��)�Ј�(ch��ng)Ҫ��Ĝu��������o(w��)����ձ�ϵ�Юa(ch��n)Ʒ����z�y(c��)���g(sh��)�ֶ�Ҳ�ɞ��Ї�(gu��)��ի@���ИI(y��)�M(j��n)һ���l(f��)չ��һ��(g��)���C(j��)��
���Q�҇�(gu��)�ƌW(xu��)�о����²���,���댧(d��o)�w���ИI(y��)�l(f��)չ���R�ļ��g(sh��)�ֶδ��ڵĻ��A(ch��),�����Ԇ�(w��n)�}�������(l��i)�ѽ�(j��ng)�����ИI(y��)��(n��i)�������(gu��)��(n��i)��B�u���o(w��)����ձü��g(sh��)����l(f��)չ�F(xi��n)���(gu��)��u���o(w��)����ձ����a(ch��n)�S���c���팦(du��)�Ї�(gu��)�Ј�(ch��ng)���_�l(f��)ʹ�����Ї�(gu��)�Ј�(ch��ng)���N�����������L(zh��ng),����(gu��)��(n��i)����ИI(y��)���P(gu��n)��I(y��)Ҳ�_չ�˻��A(ch��),����(y��ng)���о���СҎ(gu��)ģԇ�Ɯu���o(w��)����ձ����a(ch��n)�Ȳ�ͬ�A�ε�̽����ֻ�����ڼ��g(sh��)���A(ch��),������(l��)�C(j��)��,���аl(f��)�ֶΡ��Y��Ͷ�������,���аl(f��)�����M(j��n)չ���Ƿdz,��졣
�a(ch��n)Ʒ�|(zh��)��,����(w��n)���ɿ���,���Լ����g(sh��)�ƏV�c�Ј�(ch��ng)�_��Ҏ(gu��)����ԭ�t,���ֶε�Ҳ�dž�(w��n)�},����˜u���o(w��)����ձ�ϵ�Юa(ch��n)Ʒ��һ���a(ch��n)�I(y��)�����g(sh��)�аl(f��)�c�Ј�(ch��ng)�_�l(f��)����I(y��)��횽�Q�ăɴ�(w��n)�}���S���аl(f��)�ֶ�,���Y��Ͷ��,���Ј�(ch��ng)�_�؆�(w��n)�}�Ľ�Q���u���o(w��)����ձÌ���(hu��)���_�Ј�(ch��ng),���Ķ��������(g��)��ի@���ИI(y��)�ļ��g(sh��)ˮƽ,���ɹ��Ĝu���o(w��)����ձ�ϵ�Юa(ch��n)Ʒ�аl(f��)�c�Ј�(ch��ng)�_�l(f��)ģʽҲ�����҇�(gu��)�����坍��ի@���O(sh��)����������,����կ��,��צʽ�������Ĥ�õ��ṩ��Ч�Ľ��b��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”